Overview
质量流量控制器和质量流量计使过程控制和校准过程更加高效。Alicat提供了多种方法来定制您的气体流量计或控制器,以用于低压,高压或腐蚀性应用。 标准功能包括实时读数,快速的阀门响应和多种气体校准。 大多数型号均可定制,流速高达5000 slpm或低至2.5 sµlm / 0.0025 sccm。
CODA科里奥利质量流量计和控制器
Open in new window使用 CODA 科里奥利质量流量计和控制器在极端条件下进行高精度测量和控制。 CODA 仪表与各种液体和气体(包括许多腐蚀性物质)兼容,即使在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速的工况时,也能为您提供高精确度测量和控制。
高精度科里奥利质量流量计
CODA KM 系列科里奥利质量流量计,即使流体成分发生变化或未知时,压力高达 4,000 PSIA (275 bar) 时也能测量气体或液体流量,精度可达读数的 ±0.2%。
高精度科里奥利质量流量控制器
CODA KC 系列科里奥利质量流量控制器,即使流体成分发生变化或未知时,压力高达 4,000 PSIA (275 bar) 时也能测量气体或液体流量,精度可达读数的 ±0.2%。
资源
科里奥利质量流量计
CODA KMO 系列科里奥利质量流量计,专为大批量 OEM 流程量身定制,精度为读数的 ±0.6%。
科里奥利质量流量控制器
CODA KCO 系列科里奥利质量流量控制器,专为大批量 OEM 流程量身定制,精度为读数的 ±0.6%。
资源
气体质量流量控制器
Open in new window艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的最高性能:
- 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
- 4 ms响应时间
- 无需预热
- 四个过程变量
- 内置的显示
- 工业协议
- 压力补偿
- 温度补偿
- 宽动态流量范围
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器,其型号众多,可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高(145-305 psig),请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试,也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件,MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部,使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。
对于真用应用,MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。
BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列,专门设计用于OEM应用和大量订单环境。
为满足生物反应器市场的需求,Alicat发布了世界上首款专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。
气体喷射控制pH值(MC系列气体质量流量控制器)
在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需求。
快速泄漏测试(MCW系列气体质量流量控制器)
将“Whisper”质量流量控制器设置为压力控制模式,使其在同一设备中兼具压力控制器和质量流量计的功能。
反应溅射气体流量控制(MCV系列气体质量流量控制器)
精确控制真空室内反应气体的分压,其气动截止阀能确保无流量时的正向切断。
OEM气体分析仪流量控制(BASIS系列气体质量流量控制器)
体积小、即时准备控制、双向通讯等特点使得BASIS系列产品可被轻松整合到终端用户产品内。
气体质量流量计
Open in new window艾里卡特Alicat气体质量流量计是极其灵活的仪表,量程跨度极宽,可用于多种气体。可利用一台紧凑型设备测量质量流量、体积流量。压力和温度,这台设备将成为您实验室的明星。
基于压力的质量流量计的最高性能:
- 0.6%的阅读精度在大多数气体质量流量计。
- 4毫秒响应时间。
- 没有热身。
- 四个流程变量。
- 内置的显示
- 工业协议。
- 压力补偿。
- 温度补偿。
- 宽动态流量范围。
*详见产品说明书*
M系列气体质量流量计适合许多流量测量应用环境,型号多样,可以测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高(145-305 psig),请选择MQ系列高压气体质量流量计。
MW系列低压损气体质量流量计适用于低压损应用环境,也能缩短50scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
上述每一系列质量流量计均采用蓄电池供电的便携式配置:MB系列便携式气体质量流量计适用于典型应用环境。
MBQ系列便携式高压气体质量流量计适用于高压(145-305 psig)管线。
MWB系列便携式低压损气体质量流量计适用于低压损应用环境。
过滤器性能测试(M系列气体质量流量计)
利用质量流量计和压力控制器,通过流量与压损对比曲线图,确定过滤器性能。
生物反应器输出监测和记录(MW系列气体质量流量计)
量化生物反应器质量流量,而且不会诱发背压。
快速泄漏测试(M系列气体质量流量计)
泄漏测试中,测量泄漏速率,响应速度仅5ms。
气相色谱仪内部流量检定(MB系列气体质量流量计)
检查主路流量和旁通流量,维持最佳GC性能。
空气采样罐校准(MWB系列气体质量流量计)
低压损,可实现非侵入式体积流量校准。
便携式气体流量计
Open in new window艾里卡特Alicat便携式气体流量计可快速、轻松完成系统检查、校准和审核。所有便携式流量仪表具有实验室级别的精度,能提供动态读数,一秒钟可更新1000次。
- 0.6%的阅读精度在大多数流量仪表
- 4 ms响应时间
- 无需预热
- 四个过程变量
- 内置的显示
- 工业协议
- 压力补偿
- 温度补偿
- 宽动态流量范围
FP-25大气采样流量校准仪不受天气影响,专门设计用于室外大气颗粒物(PM)采样仪校准。
MB系列便携式气体质量流量计适合多种流量测量应用型号多样,可以测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流量。
若工况压力较高(145-305 psig),请选择MBQ系列便携式高压气体质量流量计。
MWB系列便携式低压损气体质量流量计适用于低压损应用环境,也能缩短50scccm或更低流量条件下的气动响应时间。
PCU系列便携式气体流量校准仪是便携式移动型标定仪,结合了三种流量计,可用量程跨度极宽。当单个流量计的量程不足以满足您的校准需求时,请选择PCU系列产品。
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多向气体质量流量控制器
Open in new window艾里卡特Alicat多向气体质量流量控制器能完成两台或者三台设备的工作量。
当您需要控制两个方向的流量时,请选择全球第一台双向质量流量控制器—艾里卡特MCD系列双向气体质量流量控制器。这款多功能仪表能将流量控制到封闭容器内,接着再控制另一方向的流量,以排空上述容器。或者,您可从一个方向利用真空环境控制您的过程流量,接着从另一方向施加正压,以彻底清洗管线。
MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器可将我们的低压损Whisper技术运用到两个方向,如呼吸模拟应用。
若只希望控制一个方向的流量,但又需要切换流量源头或下游目的地,请选择MCT系列换流型气体质量流量控制器。上游或下游或上下游可设置双向阀,协助您高效管理流动过程。
双向流量控制器自动化泄漏测试(MCD系列多向气体质量流量控制器)
监控流量的同时,为被测试设备加压,测试结束时,释放压力。
泄压阀测试和性能验证(MCD系列多向气体质量流量控制器)
保持流量恒定,对泄压阀加压,然后实施流量换向,重置测试。
呼吸设备双向流量压力性能对比测试(MCDW系列多向气体质量流量控制器)
按照与呼吸频率相符的流速,双向控制进出呼吸设备的流量,模拟人类呼吸。
远程空气采样和校准双向流量控制(MCDW系列多向气体质量流量控制器)
从一个方向利用真空泵完成大气采样,接着从另一方向利用正压定期校准气体分析仪。
液体流量控制器和流量计
Open in new window艾里卡特Alicat液体流量控制器和流量计可准确完成水或甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、标准异辛烷或庚烷等其它液体的流量测量并对其进行稳定控制。所有液体流量仪表均配备放液螺钉,方便拆除集气袋。
LC系列液体流量控制器特点如下:采用高速比例控制阀进行控制或分配应用。
对于没有控制阀的液体流量测量作业,请选择L系列液体流量计,实时测量流量、压力和温度。
LB系列便携式液体流量计加装了可充电电池,方便检验实验室外部的液体流量。
微流体直接流量控制(LC系列液体流量控制器)
直接将流量控制低至0.01 ccm(10 µlm),无需对液体顶空实施压力控制。
液体产品分配(LC系列液体流量控制器)
分配各种流速的液体产品,并对剂量进行精确控制。
液体流量特性测试(L系列液体流量计)
确定泵送流水流量或者医用导管盐水流量的特性。
冷却系统泄漏检测(LB系列液体流量计)
冷却系统泄漏测试过程中,对流速进行量化。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MC系列气体质量流量控制器
MC系列气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,抑制压力波动
性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
阀门选项
您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCS系列)
MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
气体喷射控制pH值
在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈,实时更改流量设定值,保持气体质量流量控制器最佳过程工艺条件。
高温质量流量控制
艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分,且不会使控制器电子器件超出其设计温度。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCW系列低压损气体质量流量控制器
MCW系列低压损气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,保证系统影响最小
Whisper系列低压损气体质量流量控制器,适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID调节功能,确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
阀门选项
您可以为您的MCW系列低压损气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCW系列—选配小型比例控制阀,适用于2 slpm及以下量程
- MCPW系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCHW系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCRW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于5 slpm及以上流量
艾里卡特MCW系列低压损气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低压损气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低压损气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低压损气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
快速泄漏测试
对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时,将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式,使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时,还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法,仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCQ系列高压气体质量流量控制器
MCQ系列高压气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,适用于高压应用
MCQ系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320 psia)的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能够快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCQ系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms
- 无需预热时间
包装清单
- MCQ系列高压气体质量流量控制器(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
阀门选项
您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCQ系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCQS系列)
MCQ系列高压气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCQS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MCQ系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
艾里卡特MCHQ系列高压气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
艾里卡特MCRQ系列高压气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
艾里卡特MCHQS系列高压气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度:-10°C至+60°C
- 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
型号变体
- 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
- 阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
- 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
另有:
- 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
阀门选项
您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
- MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀
腐蚀性气体(MCES和MCVS系列)
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCES和MCVS系列)可供选择。在该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- BASIS系列OEM气体质量流量控制器
BASIS系列OEM气体质量流量控制器
OEM应用中的基础流量控制
对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
- 可靠。BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
- 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
- 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
- 可重复性:0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
- 预热时间:70ms,达到完整精度
工作条件
- 兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
- 工作温度:0°C至+50°C
- 最大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)
结构选项
- 通讯协议(0-5 Vdc模拟通讯,RS-232、RS-485、Modbus-RTU)
- 工艺连接件(NPT或SAE)
- 多气体校准(空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮)
- 单种气体校准(氦气、氢气)
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
OEM气体分析仪的流量控制
确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。
自动化气体混合
采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- M系列气体质量流量计
M系列气体质量流量计
实时完成高精度多元流量测量
M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度,可用流量量程跨度宽,内置多种气体校准,使得这款流量计成为您实验室的明星设备。
- 准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 使用简单。只要您打开流量计,流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 连接。艾里卡特M系列气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(M系列)或者100:1(MS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
腐蚀性气体(MS系列)
M系列气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特M系列气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
M-0.5SCCM-D
M-1SCCM-D
M-2SCCM-D
M-5SCCM-D
M-10SCCM-D
M-20SCCM-D
M-50SCCM-D
M-100SCCM-D
M-200SCCM-D
M-500SCCM-D
M-1SLPM-D
M-2SLPM-D
M-5SLPM-D
M-10SLPM-D
M-20SLPM-D
M-50SLPM-D
M-100SLPM-D
M-250SLPM-D
M-500SLPM-D
M-1000SLPM-D
M-1500SLPM-D
M-2000SLPM-D
M-3000SLPM-D
M-5000SLPM-D
艾里卡特MS系列气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MS-0.5SCCM-D
MS-1SCCM-D
MS-2SCCM-D
MS-5SCCM-D
MS-10SCCM-D
MS-20SCCM-D
MS-50SCCM-D
MS-100SCCM-D
MS-200SCCM-D
MS-500SCCM-D
MS-1SLPM-D
MS-2SLPM-D
MS-5SLPM-D
MS-10SLPM-D
MS-20SLPM-D
MS-50SLPM-D
MS-100SLPM-D
MS-250SLPM-D
MS-500SLPM-D
MS-1000SLPM-D
MS-1500SLPM-D
MS-2000SLPM-D
MS-3000SLPM-D
MS-5000SLPM-D
快速泄漏测试
精确测量目标设备的压力,采用配有远程传感端口的艾里卡特PC3系列压力控制器控制目标设备的压力,以判断是否泄漏。该方案消除了质量流量计以5ms响应速度测量泄漏率过程中产生的压损。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- MW系列低压损气体质量流量计
MW系列低压损气体质量流量计
高精度多元流量测量(系统影响小)
Whisper系列低压损气体质量流量计非常适用于测量质量流量和体积流量的仪表。低压损将保证系统影响最小,实现接近大气压力或者几乎没有系统压力条件下的流量测量。这款流量计流量量程跨度极宽且内置多种气体校准,因此可工作较长时间。
- 准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 使用简单。只要您打开流量计,流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
生物反应器输出监测和记录
需要将生物反应器内所加气体的质量与已经除去气体的质量进行比较,有助于完成甲烷生产或氢化工艺等应用。若大气条件下发生除气,艾里卡特气体质量流量计极低的压损在量化除气质量时不会诱发背压。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- MQ系列高压气体质量流量计
MQ系列高压气体质量流量计
高压应用实时多元流量测量
这款多功能MQ系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。
- 准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/50th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 使用简单。只要您打开气体质量流量计,气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
包装清单
- MQ系列高压气体质量流量计(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
腐蚀性气体(MQS系列)
MQ系列高压气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MQ系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MQ-10SCCM-D
MQ-20SCCM-D
MQ-50SCCM-D
MQ-100SCCM-D
MQ-200SCCM-D
MQ-500SCCM-D
MQ-1SLPM-D
MQ-2SLPM-D
MQ-5SLPM-D
MQ-10SLPM-D
MQ-20SLPM-D
MQ-50SLPM-D
MQ-100SLPM-D
MQ-250SLPM-D
MQ-500SLPM-D
MQ-1000SLPM-D
MQ-1500SLPM-D
MQ-2000SLPM-D
MQ-3000SLPM-D
MQ-5000SLPM-D
艾里卡特MQS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MQS-10SCCM-D
MQS-20SCCM-D
MQS-50SCCM-D
MQS-100SCCM-D
MQS-200SCCM-D
MQS-500SCCM-D
MQS-1SLPM-D
MQS-2SLPM-D
MQS-5SLPM-D
MQS-10SLPM-D
MQS-20SLPM-D
MQS-50SLPM-D
MQS-100SLPM-D
MQS-250SLPM-D
MQS-500SLPM-D
MQS-1000SLPM-D
MQS-1500SLPM-D
MQS-2000SLPM-D
MQS-3000SLPM-D
MQS-5000SLPM-D
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- MB系列便携式气体质量流量计
MB系列便携式气体质量流量计
随时随地完成实验室级别的流量检定
为检定或校准而停止运行过程是非常不幸但是又很必要的事情。艾里卡特MB系列便携式气体质量流量计使得这一程序变得更加简单,因为它缩短了停工时间和过程中断时间。这款仪表流量量程跨度较宽,能提供多种气体的瞬间实时读数,令您快速停止,又快速启动。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MB系列便携式气体质量流量计,便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MB系列便携式气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MB系列)或者100:1(MBS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
腐蚀性气体(MS系列)
MB系列便携式气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MBS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MB系列便携式气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MB-0.5SCCM-D
MB-1SCCM-D
MB-2SCCM-D
MB-5SCCM-D
MB-10SCCM-D
MB-20SCCM-D
MB-50SCCM-D
MB-100SCCM-D
MB-200SCCM-D
MB-500SCCM-D
MB-1SLPM-D
MB-2SLPM-D
MB-5SLPM-D
MB-10SLPM-D
MB-20SLPM-D
MB-50SLPM-D
MB-100SLPM-D
MB-250SLPM-D
MB-500SLPM-D
MB-1000SLPM-D
MB-1500SLPM-D
MB-2000SLPM-D
MB-3000SLPM-D
MB-5000SLPM-D
艾里卡特MBS系列便携式气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MBS-0.5SCCM-D
MBS-1SCCM-D
MBS-2SCCM-D
MBS-5SCCM-D
MBS-10SCCM-D
MBS-20SCCM-D
MBS-50SCCM-D
MBS-100SCCM-D
MBS-200SCCM-D
MBS-500SCCM-D
MBS-1SLPM-D
MBS-2SLPM-D
MBS-5SLPM-D
MBS-10SLPM-D
MBS-20SLPM-D
MBS-50SLPM-D
MBS-100SLPM-D
MBS-250SLPM-D
MBS-500SLPM-D
MBS-1000SLPM-D
MBS-1500SLPM-D
MBS-2000SLPM-D
MBS-3000SLPM-D
MBS-5000SLPM-D
气相色谱仪内部流量检定(MB系列)
MB系列便携式气体质量流量计实时检定流动过程是否正常。同时显示流量和压力读数,提高检定效率。准确、可重复的测量结果高于外部检定人员的报告标准。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- MWB系列便携式低压损气体质量流量计
MWB系列便携式低压损气体质量流量计
随时随地完成流量测量(对系统影响极小)
Whisper系列便携式低压损气体质量流量计是非常适用于校准质量流量和体积流量的仪表。低压损将保证对系统影响最小,实现接近大气压力或者几乎没有系统压力条件下的流量测量。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MWB设备,该设备便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MWB系列便携式低压损气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
艾里卡特MWB系列便携式低压损气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MWB-0.5SCCM-D
MWB-1SCCM-D
MWB-2SCCM-D
MWB-5SCCM-D
MWB-10SCCM-D
MWB-20SCCM-D
MWB-50SCCM-D
MWB-100SCCM-D
MWB-200SCCM-D
MWB-500SCCM-D
MWB-1SLPM-D
MWB-2SLPM-D
MWB-5SLPM-D
MWB-10SLPM-D
MWB-20SLPM-D
MWB-40SLPM-D
MWB-50SLPM-D
MWB-100SLPM-D
MWB-250SLPM-D
MWB-500SLPM-D
MWB-1000SLPM-D
空气采样罐校准
气体质量流量计无需电脑便可对大量程范围内多种气体进行快速校准。NIST可溯源性及高精度的选项使得便携式质量流量计成为移动型标定设备。MWB系列便携式低压损气体质量流量计可实现非侵入式体积流量校准。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量计
- MBQ系列便携式高压气体质量流量计
MBQ系列便携式高压气体质量流量计
随时随地完成高压应用流量检定
这款多功能MBQ系列便携式高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够瞬间提供多种气体的实时读数,从而缩短停机时间和过程中断时间。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/50th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MBQ系列便携式高压气体质量流量计,便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MBQ系列便携式高压气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
包装清单
- MBQ系列便携式高压气体质量流量计(已充满电)
- 微型USB充电线缆和AC壁装式适配接头
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
腐蚀性气体(MBQS系列)
MBQ系列便携式高压气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MBQS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MBQ系列便携式高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MBQ-10SCCM-D
MBQ-20SCCM-D
MBQ-50SCCM-D
MBQ-100SCCM-D
MBQ-200SCCM-D
MBQ-500SCCM-D
MBQ-1SLPM-D
MBQ-2SLPM-D
MBQ-5SLPM-D
MBQ-10SLPM-D
MBQ-20SLPM-D
MBQ-50SLPM-D
MBQ-100SLPM-D
MBQ-250SLPM-D
MBQ-500SLPM-D
MBQ-1000SLPM-D
MBQ-1500SLPM-D
MBQ-2000SLPM-D
MBQ-3000SLPM-D
MBQ-5000SLPM-D
艾里卡特MBQS系列便携式高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MBQS-10SCCM-D
MBQS-20SCCM-D
MBQS-50SCCM-D
MBQS-100SCCM-D
MBQS-200SCCM-D
MBQS-500SCCM-D
MBQS-1SLPM-D
MBQS-2SLPM-D
MBQS-5SLPM-D
MBQS-10SLPM-D
MBQS-20SLPM-D
MBQS-50SLPM-D
MBQS-100SLPM-D
MBQS-250SLPM-D
MBQS-500SLPM-D
MBQS-1000SLPM-D
MBQS-1500SLPM-D
MBQS-2000SLPM-D
MBQS-3000SLPM-D
MBQS-5000SLPM-D
- 质量流量计&质量流量控制器
- 便携式气体流量计
- FP-25大气采样流量校准仪
FP-25大气采样流量校准仪
任何天气条件下均可准确完成空气流量校准
在便携式气体流量计中,仅一台仪表便能以实验室级别的精度检定流量、压力和温度,且不会出现故障。艾里卡特的FP-25和FP-25T(带蓝牙)大气采样流量校准仪可校准您桌上的每一台小容量颗粒物大气采样仪。各种天气条件下的精度和耐用性均可确保持续不断地显示读数,不受风力、温度或湿度的影响。
- 读数精准。无论处于什么气候条件,您都不用怀疑流量测量的结果!FP-25大气采样流量校准仪灵敏的外置温度探针以及湿度传感器在实时监测流量、压力、温度的同时能随时为您查看天气状况,并以每5秒钟测量5000次的速度中输出稳定的平均值。
- 操作方便、快速。配有蓝牙连接(仅FP-25BT),减少跑上跑下记录数据。业内独有的直通式PM10/PM2.5进口接头,可与任何小容量大气采样仪快速相连,也可通过随附的表面密封倒钩接头与大气采样仪连接。快速的温度平衡让您立刻开始流量校准。
- 结构耐用。无论从屋顶掉落,或是检验完毕后开始下雨,都不影响流量校准的继续进行。这款校准仪结构紧凑,可放置在您的外套口袋中随身携带,全铝的材质更使其坚韧有余,可在任何恶劣的气候环境下工作,并享有业内独一无二的终身质保服务!
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 流量量程:0.125-25.000 lpm/slpm
- 流量校准精度(NIST可溯源):+/-1%读数
- 大气压力校准精度(NIST可溯源):+/- 1 mmHg
- 温度校准精度(NIST可溯源):+/- 0.2 ºC
- 压损:16.7 lpm条件下0.10 psi;25.0 lpm条件下0.16 psi
- 标准流量读数响应时间常数:5ms(在极低的流量条件下可能长达10ms)
- 标准温度和湿度平衡时间:5分钟以内
工作条件
- 兼容气体:仅空气
- 工作温度:-30°C至+60°C
- 大气压力:475-825 mmHg
- 最大内部压力(静态):45 psig(60 psia)
- 最大差压(进口至出口):15 psid
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
Met One BAM 1020/1022 FEM采样仪流量校准
方法1:直接模式
直接模式即将艾里卡特FP-25直接接入大气采样仪下管中,从而无限接近于大气采样仪实际工况。艾里卡特FP-25的超低压损,相对于大气采样仪而言,几乎可被视为无形。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25校准仪进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到BAM采样仪下管上,并将PM10进口置于FP-25校准仪顶部,保持PM2.5分离器(若有)原位不动,将FP-25校准仪置于PM2.5分离器与PM10进口之间。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准BAM 1020/BAM 1022的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
方法2:标准模式
标准模式即采用软管倒钩接头与硅管,将FP-25校准仪与任意一台大气采样仪相连接。对于该设置,FRM及FEM采样仪将使用其自身的流量校准用适配接头。
- 将倒钩接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表主体部分。
- 再将硅软管接于倒钩接头。
- 将硅软管的另一端与BAM流量校准用适配接头的倒钩相连。
- 将流量校准用适配接头置于BAM采样仪下管顶部,或者如有PM2.5分离器,则置于分离器顶部。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准BAM 1020/BAM 1022的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
外部泄漏检测时的压力监测
直通设置(直接模式)也可被用于泄漏检查过程中的压力监测。泄漏检查过程中,监测您所选工艺设备内部压力时,可以参考绝压或表压。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到BAM采样仪下管上。
- 将泄漏检测用适配接头连接到FP-25的PM进口适配接头上。
- 在FP-25校准仪上选择绝压或表压,即可在泄漏检测过程中同时监测采样仪压力。
Partisol/Thermo Scientific PM10 FRM采样仪流量校准
方法1:直接模式
直接模式即将艾里卡特FP-25直接接入大气采样仪下管中,从而无限接近于大气采样仪实际工况。艾里卡特FP-25的超低压损,相对于大气采样仪而言,几乎可被视为无形。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25校准仪进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到Partisol下管上,并将PM10进口置于FP-25校准仪顶部。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准Partisol的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
方法2:标准模式
标准模式即采用软管倒钩接头与硅管,将FP-25校准仪与任意一台大气采样仪相连接。对于该设置,FRM及FEM采样仪将使用其自身的流量校准用适配接头。
- 将倒钩接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 再将硅软管接于倒钩接头。
- 将硅软管的另一端与Partisol流量校准用适配接头的倒钩相连。
- 将流量校准用适配接头置于Partisol下管顶部。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准Partisol的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
外部泄漏检测时的压力监测
直通设置(直接模式)也可被用于泄漏检查过程中的压力监测。泄漏检查过程中,监测您所选工艺设备内部压力时,可以参考绝压或表压。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到Partisol采样仪下管上。
- 将泄漏检测用适配接头连接到FP-25的PM进口适配接头上。
- 在FP-25校准仪上选择绝压或表压,即可在泄漏检测过程中同时监测采样仪压力。
Thermo 2025i PM10/PM2.5 FRM采样仪流量校准
方法1:直接模式
直接模式即将艾里卡特FP-25直接接入大气采样仪下管中,从而无限接近于大气采样仪实际工况。艾里卡特FP-25的超低压损,相对于大气采样仪而言,几乎可被视为无形。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25校准仪进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪的表主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到2025i下管上,并将PM10进口置于FP-25校准仪顶部。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准2025i的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
方法2:标准模式
标准模式即采用软管倒钩接头与硅管,将FP-25校准仪与任意一台大气采样仪相连接。对于该设置,FRM及FEM采样仪将使用其自身的流量校准用适配接头。
- 将倒钩接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 再将硅软管接于倒钩接头。
- 将硅软管的另一端与2025i流量校准用适配接头的倒钩相连。
- 将流量校准用适配接头置于2025i下管顶部。
- 将FP-25校准仪外置温度探针插入采样仪的防护屏内。
- 校准2025i的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零
外部泄漏检测时的压力监测
直通设置(直接模式)也可被用于泄漏检查过程中的压力监测。在泄漏检查过程中监测您所选工艺设备内部压力时,可参考绝压或表压。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将FP-25校准仪连接到2025i采样仪下管上。
- 将泄漏检测用适配接头连接到FP-25的PM进口适配接头上。
- 在FP-25校准仪上选择绝压或表压,即可在泄漏检测过程中同时监测采样仪压力。
URG-3000含碳气体采样仪流量校准
方法1:直接模式
直接模式即将艾里卡特FP-25直接接入大气采样仪下管中,从而无限接近于大气采样仪实际工况。艾里卡特FP-25的超低压损,相对于大气采样仪而言,几乎可被视为无形。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将FP-25校准仪与URG下管异径管相连,并将该组件置于URG-3000下管顶部。
- URG-3000温度传感器位于其C盒组件底部。将FP-25校准仪外置温度探针置于前述位置附近。
- 校准URG的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
方法2:标准模式
标准模式即采用软管倒钩接头与硅管,将FP-25校准仪与任意一台大气采样仪相连接。对于该设置,FRM及FEM采样仪将使用其自身的流量校准用适配接头。
- 将倒钩接头与FP-25校准仪出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 再将硅软管接于倒钩接头。
- 将硅软管的另一端与URG流量校准用适配接头的倒钩相连。
- 将流量校准用适配接头与URG下管异径管相连并将该组件置于URG-3000下管顶部。
- URG-3000温度传感器位于其C盒组件底部。将FP-25校准仪外置温度探针置于前述位置附近。
- 校准URG的流量前,先将艾里卡特FP-25校准仪调零。
外部泄漏检测时的压力监测
直通设置(直接模式)也可被用于泄漏检查过程中的压力监测。泄漏检查过程中,监测您所选工艺设备内部压力时,可以参考绝压或表压。
- 将直接模式用采样仪下管适配接头与FP-25出口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将直接模式用PM进口适配接头与FP-25进口连接并拧紧,直至其表面密封件抵紧流量仪表的主体部分。
- 将FP-25与URG下管异径管相连并将该组件置于URG-3000下管顶部。
- 将URG泄漏检测用适配接头连接到FP-25的PM进口适配接头上。
- 在FP-25校准仪上选择绝压或表压,即可在泄漏检测过程中同时监测采样仪压力。
FP-25(FP-25套件,含配件和硬质便携箱)FP25
FP-25BT(FP-25套件,带蓝牙天线)FP25BT
FP25T
配件
FP-PROBE(备用外部温度探针)
FP-DMA1(备用的直接模式用进口适配接头,带表面密封件)
FP-DMA2(备用的直接模式用出口适配接头,带表面密封件)
FP-BARB(备用的倒钩适配接头,带表面密封件)
FP-TUBE(倒钩接头用的备用软管)
FP-BTA(备用的蓝牙天线,只能与FP-25BT兼容)
PVPS5USBU(备用的微型USB线缆和壁装式适配接头)
SCASE(备用的硬质便携箱,含定制的泡沫插件,适用于FP-25和FP-25BT)
PM大气采样仪校准
采用FP-25或者FP-25BT大气采样流量校准仪校准以下采样仪和分析仪的流量、压力和温度读数。
- PM10和PM2.5 FRM采样仪(16.7 lpm)–Mesa Labs PQ系列、Met One E-FRM、Thermo Scientific Partisol 2000/2025(i)和Dichots、Tisch TE-Wilbur
- PM10和PM2.5 FEM分析仪(16.7 lpm))–Environnement S.A. MP101M、Met One BAM-1020/1022和E-BAM、Thermo Scientific BAM 5014i、SHARP 5030i和TEOM 1400(a/ab)/1405 以及 Dichots, Teledyne T640
- IMPROVE网络PM采样仪(22.8 lpm)
- 小流量PM采样仪(1-5lpm)–Ecotech MircoVol 和Protinus、Grimm EDM、Met One E-Sampler
- 含碳气体采样仪(22.0 lpm)–URG-3000(N)
- 含碳气体采样仪(6.7 lpm)–Met One SASS和SuperSASS
- 炭黑分析仪(1-5 lpm)–Magee Aethalometer、Met One BC-1050
利用FP-25大气采样流量校准仪,只是艾里卡特简化空气监测所用的方法之一。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 便携式气体流量计
- PCU系列便携式气体流量校准仪
PCU系列便携式气体流量校准仪
动态量程跨度极宽的便携式流量校准仪
当单台流量计无法满足您所有的校准需求时,在便携式气体流量计中,请考虑使用PCU系列便携式气体流量校准仪。艾里卡特的PCU系列便携式气体流量校准仪是二级校准标定仪,将三台量程不同(最大1500 slpm)的高精度流量计以及累加器集成到一个耐用的工业箱内,方便携带。PCU系列便携式气体流量校准仪可采用两个9伏的蓄电池或者随附AC线缆供电,还配有艾里卡特Flow Vision SC™软件。
- 多功能。配有简单的推动连接接头或可选配压力接头,综合可调比高达1,000,000:1(例如1 sccm – 1000 slpm)的量程,可快速校准多台仪表。
- 准确。实时测量并完成流量累加,具有NIST可溯源精度(0.4%读数+0.2%满量程),适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 耐用。PCU系列便携式气体流量校准仪将流量计集成到一个耐用型硬质箱子内,且能抵抗坠落带来的影响。
PCU系列便携式气体流量校准仪还有我们的Whisper系列低压损配置型号(即PCUW系列)以及可用于腐蚀性气体的316L配置型号(即PCUS系列)。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:
选择任意三台量程不超过1500 slpm(PCU和PCUS)或者250 slpm(PCUW)的流量计
所有流量计均配有流量累加器
- 可调比:高达1,000,000:1(3台仪表综合可调比)
- 校准精度高(NIST可溯源)(PCU标准精度):±0.4%读数+0.2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
包装清单
- PCU系列便携式气体流量校准仪(内部安装多达三台高精度质量流量计)
- 各流量计显示屏下方安装的推动连接接头
- USB A-B线缆(用于与电脑连接)
- 双头9针D-sub模拟接口串行线缆(用于与多点式集线盒相连接)
- 通用电源
- Flow Vision SC软件
- 各台流量计的NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
型号变体
- 低压损型号(PCUW系列)
- 腐蚀性气体型号(PCUS系列,见下文)
腐蚀性气体(PCUS系列)
PCU标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的S系列配置(即PCUS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表的主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
以下零件编号仅是PCU系列组合的一些示例。量程高达1500 slpm的任意三台流量计均可被纳入标准型PCU内。艾里卡特PCU系列便携式气体流量校准仪适用于非腐蚀性气体。
PCU-0.5SCCM-10SCCM-1SLPM
PCU-10SCCM-500SCCM-20SLPM
PCU-100SCCM-2SLPM-20SLPM
PCU-100SCCM-10SLPM-100SLPM
PCU-100SCCM-50SLPM-500SLPM
PCU-10SLPM-50SLPM-1500SLPM
以下零件编号仅是PCU系列组合的一些示例。量程高达1500 slpm的任意三台流量计均可被纳入PCUS内。艾里卡特PCUS系列便携式气体流量校准仪适用于腐蚀性气体。
PCUS-0.5SCCM-10SCCM-1SLPM
PCUS-10SCCM-500SCCM-20SLPM
PCUS-100SCCM-2SLPM-20SLPM
PCUS-100SCCM-10SLPM-100SLPM
PCUS-100SCCM-50SLPM-500SLPM
PCUS-10SLPM-50SLPM-1500SLPM
以下零件编号仅是PCU系列组合的一些示例。量程高达250 slpm的任意三台流量计均可被纳入PCUW内。艾里卡特PCUW系列便携式气体流量校准仪适用于非腐蚀性气体。
PCUW-0.5SCCM-10SCCM-1SLPM
PCUW-10SCCM-500SCCM-20SLPM
PCUW-100SCCM-2SLPM-20SLPM
PCUW-100SCCM-10SLPM-100SLPM
PCUW-100SCCM-50SLPM-250SLPM
PCUW-10SLPM-50SLPM-250SLPM
多流量仪表的校准
PCU系列便携式气体流量校准仪在一个案例中结合了三个免费范围的电池供电流量计,每个流量计都带有累加器和NIST可追踪的初级流量标准的高精度校准。由于有三个重叠的测量范围,PCU系列便携式气体流量校准仪能够将总量程缩小到100万到1,使其成为一个极其通用的仪器。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 便携式气体流量计
- MB系列便携式气体质量流量计
MB系列便携式气体质量流量计
随时随地完成实验室级别的流量检定
为检定或校准而停止运行过程是非常不幸但是又很必要的事情。艾里卡特MB系列便携式气体质量流量计使得这一程序变得更加简单,因为它缩短了停工时间和过程中断时间。这款仪表流量量程跨度较宽,能提供多种气体的瞬间实时读数,令您快速停止,又快速启动。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MB系列便携式气体质量流量计,便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MB系列便携式气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MB系列)或者100:1(MBS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
腐蚀性气体(MS系列)
MB系列便携式气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MBS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MB系列便携式气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MB-0.5SCCM-D
MB-1SCCM-D
MB-2SCCM-D
MB-5SCCM-D
MB-10SCCM-D
MB-20SCCM-D
MB-50SCCM-D
MB-100SCCM-D
MB-200SCCM-D
MB-500SCCM-D
MB-1SLPM-D
MB-2SLPM-D
MB-5SLPM-D
MB-10SLPM-D
MB-20SLPM-D
MB-50SLPM-D
MB-100SLPM-D
MB-250SLPM-D
MB-500SLPM-D
MB-1000SLPM-D
MB-1500SLPM-D
MB-2000SLPM-D
MB-3000SLPM-D
MB-5000SLPM-D
艾里卡特MBS系列便携式气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MBS-0.5SCCM-D
MBS-1SCCM-D
MBS-2SCCM-D
MBS-5SCCM-D
MBS-10SCCM-D
MBS-20SCCM-D
MBS-50SCCM-D
MBS-100SCCM-D
MBS-200SCCM-D
MBS-500SCCM-D
MBS-1SLPM-D
MBS-2SLPM-D
MBS-5SLPM-D
MBS-10SLPM-D
MBS-20SLPM-D
MBS-50SLPM-D
MBS-100SLPM-D
MBS-250SLPM-D
MBS-500SLPM-D
MBS-1000SLPM-D
MBS-1500SLPM-D
MBS-2000SLPM-D
MBS-3000SLPM-D
MBS-5000SLPM-D
气相色谱仪内部流量检定(MB系列)
MB系列便携式气体质量流量计实时检定流动过程是否正常。同时显示流量和压力读数,提高检定效率。准确、可重复的测量结果高于外部检定人员的报告标准。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 便携式气体流量计
- MWB系列便携式低压损气体质量流量计
MWB系列便携式低压损气体质量流量计
随时随地完成流量测量(对系统影响极小)
Whisper系列便携式低压损气体质量流量计是非常适用于校准质量流量和体积流量的仪表。低压损将保证对系统影响最小,实现接近大气压力或者几乎没有系统压力条件下的流量测量。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MWB设备,该设备便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MWB系列便携式低压损气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
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性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
艾里卡特MWB系列便携式低压损气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MWB-0.5SCCM-D
MWB-1SCCM-D
MWB-2SCCM-D
MWB-5SCCM-D
MWB-10SCCM-D
MWB-20SCCM-D
MWB-50SCCM-D
MWB-100SCCM-D
MWB-200SCCM-D
MWB-500SCCM-D
MWB-1SLPM-D
MWB-2SLPM-D
MWB-5SLPM-D
MWB-10SLPM-D
MWB-20SLPM-D
MWB-40SLPM-D
MWB-50SLPM-D
MWB-100SLPM-D
MWB-250SLPM-D
MWB-500SLPM-D
MWB-1000SLPM-D
空气采样罐校准
气体质量流量计无需电脑便可对大量程范围内多种气体进行快速校准。NIST可溯源性及高精度的选项使得便携式质量流量计成为移动型标定设备。MWB系列便携式低压损气体质量流量计可实现非侵入式体积流量校准。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 便携式气体流量计
- MBQ系列便携式高压气体质量流量计
MBQ系列便携式高压气体质量流量计
随时随地完成高压应用流量检定
这款多功能MBQ系列便携式高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够瞬间提供多种气体的实时读数,从而缩短停机时间和过程中断时间。
- 准确。流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/50th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 高效。只要您打开MBQ系列便携式高压气体质量流量计,便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 耐用。MBQ系列便携式高压气体质量流量计专为方便携带而设计,而且能够抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
包装清单
- MBQ系列便携式高压气体质量流量计(已充满电)
- 微型USB充电线缆和AC壁装式适配接头
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
腐蚀性气体(MBQS系列)
MBQ系列便携式高压气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MBQS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MBQ系列便携式高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
MBQ-10SCCM-D
MBQ-20SCCM-D
MBQ-50SCCM-D
MBQ-100SCCM-D
MBQ-200SCCM-D
MBQ-500SCCM-D
MBQ-1SLPM-D
MBQ-2SLPM-D
MBQ-5SLPM-D
MBQ-10SLPM-D
MBQ-20SLPM-D
MBQ-50SLPM-D
MBQ-100SLPM-D
MBQ-250SLPM-D
MBQ-500SLPM-D
MBQ-1000SLPM-D
MBQ-1500SLPM-D
MBQ-2000SLPM-D
MBQ-3000SLPM-D
MBQ-5000SLPM-D
艾里卡特MBQS系列便携式高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
MBQS-10SCCM-D
MBQS-20SCCM-D
MBQS-50SCCM-D
MBQS-100SCCM-D
MBQS-200SCCM-D
MBQS-500SCCM-D
MBQS-1SLPM-D
MBQS-2SLPM-D
MBQS-5SLPM-D
MBQS-10SLPM-D
MBQS-20SLPM-D
MBQS-50SLPM-D
MBQS-100SLPM-D
MBQS-250SLPM-D
MBQS-500SLPM-D
MBQS-1000SLPM-D
MBQS-1500SLPM-D
MBQS-2000SLPM-D
MBQS-3000SLPM-D
MBQS-5000SLPM-D
- 质量流量计&质量流量控制器
- 多向气体质量流量控制器
- MCD系列双向气体质量流量控制器
MCD系列双向气体质量流量控制器
全球最全能的气体流量控制器
在多向气体质量流量控制器中,艾里卡特MCD系列是世界上第一台双向气体质量流量控制器。这款仪器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,然后排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。
- 多功能。利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。(下载右侧信息图,了解流量图表。)在所有情况下,均可完成多元测量(包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量);此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCD系列双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大-5000至+5000 slpm;最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
- 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
型号变体
- 低压损型号,最多60 psia(MCDW系列)
- 腐蚀性气体型号(MCDS系列,见下文)
阀门选项
您可以为您的MCD系列双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCD系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCPD系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCRD系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCDS系列)
MCD标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCDS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MCD系列双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCD-0.5SCCM-D
MCD-1SCCM-D
MCD-2SCCM-D
MCD-5SCCM-D
MCD-10SCCM-D
MCD-20SCCM-D
MCD-50SCCM-D
MCD-100SCCM-D
MCD-200SCCM-D
MCD-500SCCM-D
MCD-1SLPM-D
MCD-2SLPM-D
MCD-5SLPM-D
MCD-10SLPM-D
MCD-20SLPM-D
艾里卡特MCPD系列双向气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCPD-10SLPM-D
MCPD-20SLPM-D
MCPD-50SLPM-D
MCPD-100SLPM-D
MCPD-250SLPM-D
艾里卡特MCRD系列双向气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRD-50SLPM-D
MCRD-100SLPM-D
MCRD-250SLPM-D
MCRD-500SLPM-D
MCRD-1000SLPM-D
MCRD-1500SLPM-D
MCRD-2000SLPM-D-PAR
MCRD-3000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCDS系列双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCDS-0.5SCCM-D
MCDS-1SCCM-D
MCDS-2SCCM-D
MCDS-5SCCM-D
MCDS-10SCCM-D
MCDS-20SCCM-D
MCDS-50SCCM-D
MCDS-100SCCM-D
MCDS-200SCCM-D
MCDS-500SCCM-D
MCDS-1SLPM-D
MCDS-2SLPM-D
MCDS-5SLPM-D
MCDS-10SLPM-D
MCDS-20SLPM-D
艾里卡特MCRDS系列双向气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。
MCRDS-50SLPM-D
MCRDS-100SLPM-D
MCRDS-250SLPM-D
MCRDS-500SLPM-D
MCRDS-1000SLPM-D
MCRDS-1500SLPM-D
MCRDS-2000SLPM-D-PAR
MCRDS-3000SLPM-D-PAR
双向流量控制器自动化泄漏测试
将MCD系列双向气体质量流量控制器设置为控制绝对压力,意味着您拥有一台具有基本泄漏检测系统的设备。一旦达到测试压力,正流量表示存在泄漏。测试开始时,利用另一个阀门确保不会超过目标压力;测试结束时,释放压力。
泄压阀测试和性能验证
MCD系列双向气体质量流量控制器在记录系统内的绝对压力时保持流量恒定,对泄压阀加压。泄压阀打开后,显示负流量设定值,以降低压力,为反向流量条件下的测试做好准备
- 质量流量计&质量流量控制器
- 多向气体质量流量控制器
- MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器
MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器
最全能的气体流量控制器(对系统影响极小)
在多向气体质量流量控制器中,Whisper系列双向质量流量控制器非常适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器在非常全能的MCD系列双向流量控制器基础上增加了低压损优点。
MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,接着排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。
- 多功能。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。(下载右侧信息图,了解流量图表。)在所有情况下,都可完成多元测量(包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量);此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大-5000至+5000 slpm;最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
- 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
型号变体
- 标准配置型号,最高160 psia(MCD系列)
阀门选项
您可为您的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCDW系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- MCRDW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D
艾里卡特MCRDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D
呼吸设备双向流量压力性能对比测试
按照与呼吸频率相符的流速,双向控制进出呼吸设备的流量,模拟人类呼吸。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器还可在施加极小压力的情况下缓慢“呼吸”。
远程空气采样和校准双向流量控制
从一个方向利用真空泵完成大气采样,接着从另一个方向利用正压定期校准气体分析仪;对于前述所有操作,均无需断开系统任何部分。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器产品允许在16.7lpm标准流量下完成体积流量采样。这使得在无人介入的情况下也能完成远程空气监测站的操作和校准。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 多向气体质量流量控制器
- MCT系列换流型气体质量流量控制器
MCT系列换流型气体质量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成换流
在多向气体质量流量控制器中,MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。
- 多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
型号变体
- 切换阀位于上游的型号(MCT)
- 切换阀位于下游的型号(加法器码中带DS的MCT)
- 切换阀位于上游和下游的型号(MCT4)
- 腐蚀性气体专用型号(MCTS系列,见下文)
阀门选项
您可为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCT系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCPT系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCRT系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCTS系列)
MCT标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCTS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MCT系列换流型气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCT-0.5SCCM-D
MCT-1SCCM-D
MCT-2SCCM-D
MCT-5SCCM-D
MCT-10SCCM-D
MCT-20SCCM-D
MCT-50SCCM-D
MCT-100SCCM-D
MCT-200SCCM-D
MCT-500SCCM-D
MCT-1SLPM-D
MCT-2SLPM-D
MCT-5SLPM-D
MCT-10SLPM-D
MCT-20SLPM-D
艾里卡特MCTS系列换流型气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCTS-0.5SCCM-D
MCTS-1SCCM-D
MCTS-2SCCM-D
MCTS-5SCCM-D
MCTS-10SCCM-D
MCTS-20SCCM-D
MCTS-50SCCM-D
MCTS-100SCCM-D
MCTS-200SCCM-D
MCTS-500SCCM-D
MCTS-1SLPM-D
MCTS-2SLPM-D
MCTS-5SLPM-D
MCTS-10SLPM-D
MCTS-20SLPM-D
装瓶过程持续运行
MCT系列换流型气体质量流量控制器上游配置型号可用于持续运行气瓶送气过程系统。瓶压低于规定阈值时,只需将输入切换至另一流线及其装满的气瓶。当该气瓶为过程系统送气时,您可将第一条流线上的空气瓶替换为另一个装满的气瓶。
分析仪多气源校准
通过在进口处换流,实现对用于测量大气污染物浓度的气体分析仪的校准。三个已校准的独立气瓶和温室气体混合物由MCT系列换流型气体质量流量控制器的三个进气阀控制。出口侧的另一个比例阀用于控制各流线流量(分析仪有需要时)。
单个气源为多个分析过程系统送气
MCT系列换流型气体质量流量控制器下游配置型号可用于从单个气源处为两个完全独立的分析过程系统送气。您可对大气进行采样,轮流将其送至两个独立的分析仪。或者,您可从同一个氮气瓶为两个独立的过程系统(各系统均配有完全成比例的流量控制器)送气。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 液体流量控制器和流量计
- LC系列液体流量控制器
LC系列液体流量控制器
快速的液体流量控制与分配
在液体流量控制器和流量计中,LC系列液体流量控制器可作出飞速的控制响应,控制高达10 lpm或者低至0.01 ccm的液体流量。可选装的精密分配程序包增加了流量累加器和控制固件,方便批量处理。
- 多功能。LC系列液体流量控制器具有NIST可溯源精度,或者能够同时控制压力并监测流量。可标定液体有水、甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、标准异辛烷和庚烷等。
- 使用简单。实时监测过程流量、压力和温度读数,或者设置新的分配批次——均可从液体控制器前显示屏完成。
- 连接。LC系列液体流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-10 lpm;最小0-0.5 ccm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
工作条件
- 默认标定液体:水
- 其它标定液体(必须在订购时提出):甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、异戊烷、噻吩、标准异辛烷、庚烷
- 工作温度:-10°C(未结冰)至+60°C
- 最大内部压力(静态):100 psig(115 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
阀门选项
- LC系列—选配小型比例控制阀,适用于3 ccm至500 ccm的量程
- 具有PCA名称的LC系列—选配高性能比例控制阀,适用于2 ccm及以下的流量量程
- LCR系列—选配大型Rolamite比例阀,用于500 ccm以上流量
腐蚀性液体(LCS系列)
LC标准系列仪表中,还有适用于某些腐蚀性液体的“S”系列配置(即LCS系列)可供选择。在该基本配置中,我们将弹性体材料升级为FFKM。某些需要腐蚀性液体需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为500 ccm或更小流量控制器的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。
艾里卡特LC系列液体流量控制器采用小型比例阀门控制较小液体流量。在2ccm或更小流量下运行的控制器将采用高性能阀门,确保对这类极小的流量实现最佳控制。
LC-0.5CCM-D-PCA11
LC-1CCM-D-PCA12
LC-2CCM-D-PCA13
LC-5CCM-D
LC-10CCM-D
LC-20CCM-D
LC-50CCM-D
LC-100CCM-D
LC-200CCM-D
LC-500CCM-D
艾里卡特LCR系列液体流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite比例阀,控制较高的液体流量。
LCR-1LPM-D
LCR-2LPM-D
LCR-5LPM-D
LCR-10SLPM-D
艾里卡特腐蚀性液体用LCS系列液体流量控制器采用小型比例阀控制较小液体流量。在2ccm或更小流量下运行的控制器将采用高性能PCA阀门,确保对这类极小的流量实现最佳控制。某些腐蚀性液体也可能要求PCA阀门具备316L材质流道。
LCS-0.5CCM-D-PCA11
LCS-1CCM-D-PCA12
LCS-2CCM-D-PCA13
LCS-5CCM-D (-PCA13)
LCS-10CCM-D (-PCA14)
LCS-20CCM-D (-PCA14)
LCS-50CCM-D
LCS-100CCM-D
LCS-200CCM-D (-PCA17)
LCS-500CCM-D (-PCA17)
艾里卡特腐蚀性液体专用LCRS系列液体流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,控制较高的液体流量。
LCRS-1LPM-D
LCRS-2LPM-D
LCRS-5LPM-D
LCRS-10SLPM-D
微流体的直接流量控制
LC系列液体流量控制器直接控制低至0.01 ccm(10 µlm)的流量,无需对流体顶空实施压力控制。采用快动阀确保即使温度或压力出现变化时流量也能保持在设定值。
液体产品分配
LC系列液体流量控制器利用可选装的精密分配程序包,在大范围流量量程内,分配液体产品。极快的阀门响应,能适应不断变化的流量需求和极短的分配期限要求。分配各种流速的液体产品,并对剂量进行精确控制。根据PLC或PC的数字反馈,进行实时更改,保持最佳过程工艺条件。
L系列液体流量计
实时完成多元液体流量测量
在液体流量控制器和流量计中,L系列液体流量计能同时对流量、管线压力和管线温度进行实时测量,并可选装累加器,追踪随时间变化的累积流量。
- 准确。水流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/50th的水。其它可标定液体有甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、标准异辛烷和庚烷等。
- 使用简单。一旦您打开流量计,流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 连接。L系列液体流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-10 lpm;最小0-0.5 ccm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:20ms
- 无需预热时间
工作条件
- 默认标定液体:水
- 其它标定液体(必须在订购时提出):甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、异戊烷、噻吩、标准异辛烷、庚烷
- 工作温度:-10°C(未结冰)至+60°C
- 最大内部压力(静态):100 psig(115 psia)
- 耐受压力:200 psig(215 psia)
型号变体
- 配有可充电电池的便携式型号(LB系列)
- 腐蚀性液体专用型号(LS系列,见下文)
腐蚀性液体
L标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性液体的“S”系列配置(即LS系列)可供选择。在该配置中,我们将流量仪表的主体部分升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特L系列液体流量计适用于非腐蚀性液体。
L-0.5CCM-D
L-1CCM-D
L-2CCM-D
L-5CCM-D
L-10CCM-D
L-20CCM-D
L-50CCM-D
L-100CCM-D
L-200CCM-D
L-500CCM-D
L-1LPM-D
L-2LPM-D
L-5LPM-D
L-10LPM-D
艾里卡特LS系列液体流量计适用于腐蚀性液体。
LS-0.5CCM-D
LS-1CCM-D
LS-2CCM-D
LS-5CCM-D
LS-10CCM-D
LS-20CCM-D
LS-50CCM-D
LS-100CCM-D
LS-200CCM-D
LS-500CCM-D
LS-1LPM-D
LS-2LPM-D
LS-5LPM-D
LS-10LPM-D
液体流量特性测试
L系列液体流量计可用于确定泵水流量的特性或者医用导管盐水流量的特性。可选装的流量累加器可轻松量化测试过程中已流过的总液体量。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 液体流量控制器和流量计
- LB系列便携式液体流量计
LB系列便携式液体流量计
随时实施多元液体流量测量
在液体流量控制器和流量计中,LB系列便携式液体流量计可缩短停机时间以及过程中断时间,简化检定和校准流程。这款产品能显示瞬间实时流量、管线压力和管线温度读数,令您快速停止和启动。同时这款产品可选装累加器,追踪随时间变化的累积流量。
- 准确。水流量校准具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/50th的水。其它可标定液体有甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、标准异辛烷和庚烷等。
- 使用简单。一旦您打开流量计,流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
- 连接。LB系列便携式液体流量计专为方便携带而设计,且能抵抗坠落带来的影响。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-10 lpm;最小0-0.5 ccm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:20ms
- 无需预热时间
工作条件
- 默认标定液体:水
- 其它标定液体(必须在订购时提出):甲醇、异丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、异戊烷、噻吩、标准异辛烷、庚烷
- 工作温度:-10°C(未结冰)至+60°C
- 最大内部压力(静态):100 psig(115 psia)
- 耐受压力:200 psig(215 psia)
包装清单
- LB系列便携式液体流量计(已充满电)
- 微型USB充电线缆和AC壁装式适配接头
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
型号变体
- 没有电池的标准液体流量计(L系列)
- 腐蚀性液体专用型号(LBS系列,见下文)
腐蚀性液体(LBS系列)
LB标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性液体的“S”系列配置(即LBS系列)可供选择。在该配置中,我们将流量仪表的主体部分升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特LB系列便携式液体流量计适用于非腐蚀性液体。
LB-0.5CCM-D
LB-1CCM-D
LB-2CCM-D
LB-5CCM-D
LB-10CCM-D
LB-20CCM-D
LB-50CCM-D
LB-100CCM-D
LB-200CCM-D
LB-500CCM-D
LB-1LPM-D
LB-2LPM-D
LB-5LPM-D
LB-10LPM-D
艾里卡特LBS系列便携式液体流量计适用于腐蚀性液体。
LBS-0.5CCM-D
LBS-1CCM-D
LBS-2CCM-D
LBS-5CCM-D
LBS-10CCM-D
LBS-20CCM-D
LBS-50CCM-D
LBS-100CCM-D
LBS-200CCM-D
LBS-500CCM-D
LBS-1LPM-D
LBS-2LPM-D
LBS-5LPM-D
LBS-10LPM-D
冷却系统泄漏检查
对厂内任何地方的冷却系统进行泄漏测试时,LB系列便携式液体流量计可快速量化其间的水流量,可显示管线流量、压力和温度等多元读数,无需与电脑连接。