质量流量计&质量流量控制器

型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）
• 高压型号，160-320 psia（MCQ系列）
• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
• 配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCS系列）

MC系列气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

气体喷射控制pH值

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈，实时更改流量设定值，保持气体质量流量控制器最佳过程工艺条件。

自定义气体混合系统

艾里卡特的质量流量控制器非常适用于构建自定义气体混合系统；在这种类型应用中，可充分发挥气体质量流量控制器固有的灵活性和适应性。

高温质量流量控制

艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分，且不会使控制器电子器件超出其设计温度。

型号变体

• 标准配置型号，最高160 psia（MC系列）
• 高压应用型号：160-320 psia（MCQ系列）

阀门选项

您可以为您的MCW系列低压损气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCW系列—选配小型比例控制阀，适用于2 slpm及以下量程
• MCPW系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCHW系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCRW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于5 slpm及以上流量

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

快速泄漏测试

对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时，将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式，使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时，还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法，仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。

型号变体

• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 标准配置型号，适用于高达160 psia的环境（MC系列）
• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）

阀门选项

您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCQ系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCQS系列）

MCQ系列高压气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCQS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

型号变体

• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
• 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
• MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

反应溅射气体流量控制

以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度，良好的分辨率保证了适当的原子释放，气动截止阀确保无流量时的正向切断。

升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。

结构选项

• 通讯协议（0-5 Vdc模拟通讯，RS-232、RS-485、Modbus-RTU）
• 工艺连接件（NPT或SAE）
• 多气体校准（空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮）
• 单种气体校准（氦气、氢气）

OEM气体分析仪的流量控制

确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。

自动化气体混合

采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。

型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MW系列）
• 高压型号，160-320 psia（MQ系列）
• 腐蚀性气体型号（MS系列，见下文）
• 配有可充电电池的便携式型号（MB系列）

腐蚀性气体（MS系列）

M系列气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

过滤器性能测试

利用压力控制器使过滤器维持一定差压，通过流量与压损对比曲线图，确定过滤器性能。气体质量流量计显示的流量读数即为克服压损所需要的流量。

快速泄漏测试

精确测量目标设备的压力，采用配有远程传感端口的艾里卡特PC3系列压力控制器控制目标设备的压力，以判断是否泄漏。该方案消除了质量流量计以5ms响应速度测量泄漏率过程中产生的压损。

型号变体

• 标准配置型号，最高160 psia（M系列）
• 高压应用型号，160-320 psia（MQ系列）

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

生物反应器输出监测和记录

需要将生物反应器内所加气体的质量与已经除去气体的质量进行比较，有助于完成甲烷生产或氢化工艺等应用。若大气条件下发生除气，艾里卡特气体质量流量计极低的压损在量化除气质量时不会诱发背压。

型号变体

• 腐蚀性气体型号（MQS系列，见下文）
• 配有可充电电池的便携式型号（MBQ系列）

另有：

• 标准配置型号，最高160 psia（M系列）
• 低压损型号，最多60 psia（MW系列）

腐蚀性气体（MQS系列）

MQ系列高压气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 自定义校准

型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MWB系列）
• 高压型号，160-320 psia（MBQ系列）
• 腐蚀性气体型号（MBS系列，见下文）

腐蚀性气体（MS系列）

MB系列便携式气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MBS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

气相色谱仪内部流量检定（MB系列）

MB系列便携式气体质量流量计实时检定流动过程是否正常。同时显示流量和压力读数，提高检定效率。准确、可重复的测量结果高于外部检定人员的报告标准。

型号变体

• 标准配置型号，最高160 psia（MB系列）
• 高压应用型号，160-320 psia（MBQ系列）

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485）
• 显示屏（单色或彩色）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

空气采样罐校准

气体质量流量计无需电脑便可对大量程范围内多种气体进行快速校准。NIST可溯源性及高精度的选项使得便携式质量流量计成为移动型标定设备。MWB系列便携式低压损气体质量流量计可实现非侵入式体积流量校准。

型号变体

• 腐蚀性气体专用型号（MBQS系列，见下文）

另有：

• 标准配置型号，最高160 psia（MB系列）
• 低压损型号，最多60 psia（MWB系列）

腐蚀性气体（MBQS系列）

MBQ系列便携式高压气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MBQS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（RS-232、RS-485）
• 显示屏（单色或彩色）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MCDW系列）
• 腐蚀性气体型号（MCDS系列，见下文）

阀门选项

您可以为您的MCD系列双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门，确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCD系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCPD系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCRD系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCDS系列）

MCD标准系列仪表中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCDS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

双向流量控制器自动化泄漏测试

将MCD系列双向气体质量流量控制器设置为控制绝对压力，意味着您拥有一台具有基本泄漏检测系统的设备。一旦达到测试压力，正流量表示存在泄漏。测试开始时，利用另一个阀门确保不会超过目标压力；测试结束时，释放压力。

泄压阀测试和性能验证

MCD系列双向气体质量流量控制器在记录系统内的绝对压力时保持流量恒定，对泄压阀加压。泄压阀打开后，显示负流量设定值，以降低压力，为反向流量条件下的测试做好准备

型号变体

• 标准配置型号，最高160 psia（MCD系列）

阀门选项

您可为您的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门，确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCDW系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• MCRDW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
•  集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

呼吸设备双向流量压力性能对比测试

按照与呼吸频率相符的流速，双向控制进出呼吸设备的流量，模拟人类呼吸。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器还可在施加极小压力的情况下缓慢“呼吸”。

远程空气采样和校准双向流量控制

从一个方向利用真空泵完成大气采样，接着从另一个方向利用正压定期校准气体分析仪；对于前述所有操作，均无需断开系统任何部分。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器产品允许在16.7lpm标准流量下完成体积流量采样。这使得在无人介入的情况下也能完成远程空气监测站的操作和校准。

型号变体

• 切换阀位于上游的型号（MCT）
• 切换阀位于下游的型号（加法器码中带DS的MCT）
• 切换阀位于上游和下游的型号（MCT4）
• 腐蚀性气体专用型号（MCTS系列，见下文）

阀门选项

您可为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCT系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCPT系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCRT系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCTS系列）

MCT标准系列仪表中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCTS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准

装瓶过程持续运行

MCT系列换流型气体质量流量控制器上游配置型号可用于持续运行气瓶送气过程系统。瓶压低于规定阈值时，只需将输入切换至另一流线及其装满的气瓶。当该气瓶为过程系统送气时，您可将第一条流线上的空气瓶替换为另一个装满的气瓶。

分析仪多气源校准

通过在进口处换流，实现对用于测量大气污染物浓度的气体分析仪的校准。三个已校准的独立气瓶和温室气体混合物由MCT系列换流型气体质量流量控制器的三个进气阀控制。出口侧的另一个比例阀用于控制各流线流量（分析仪有需要时）。

单个气源为多个分析过程系统送气

MCT系列换流型气体质量流量控制器下游配置型号可用于从单个气源处为两个完全独立的分析过程系统送气。您可对大气进行采样，轮流将其送至两个独立的分析仪。或者，您可从同一个氮气瓶为两个独立的过程系统（各系统均配有完全成比例的流量控制器）送气。

阀门选项

• LC系列—选配小型比例控制阀，适用于3 ccm至500 ccm的量程
• 具有PCA名称的LC系列—选配高性能比例控制阀，适用于2 ccm及以下的流量量程
• LCR系列—选配大型Rolamite比例阀，用于500 ccm以上流量

腐蚀性液体（LCS系列）

LC标准系列仪表中，还有适用于某些腐蚀性液体的“S”系列配置（即LCS系列）可供选择。在该基本配置中，我们将弹性体材料升级为FFKM。某些需要腐蚀性液体需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可同时将满量程为500 ccm或更小流量控制器的阀门（PCA型）和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 自定义校准

微流体的直接流量控制

LC系列液体流量控制器直接控制低至0.01 ccm（10 µlm）的流量，无需对流体顶空实施压力控制。采用快动阀确保即使温度或压力出现变化时流量也能保持在设定值。

液体产品分配

LC系列液体流量控制器利用可选装的精密分配程序包，在大范围流量量程内，分配液体产品。极快的阀门响应，能适应不断变化的流量需求和极短的分配期限要求。分配各种流速的液体产品，并对剂量进行精确控制。根据PLC或PC的数字反馈，进行实时更改，保持最佳过程工艺条件。

型号变体

• 配有可充电电池的便携式型号（LB系列）
• 腐蚀性液体专用型号（LS系列，见下文）

腐蚀性液体

L标准系列仪表中，还有适用于腐蚀性液体的“S”系列配置（即LS系列）可供选择。在该配置中，我们将流量仪表的主体部分升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 自定义校准

液体流量特性测试

L系列液体流量计可用于确定泵水流量的特性或者医用导管盐水流量的特性。可选装的流量累加器可轻松量化测试过程中已流过的总液体量。

型号变体

• 没有电池的标准液体流量计（L系列）
• 腐蚀性液体专用型号（LBS系列，见下文）

腐蚀性液体（LBS系列）

LB标准系列仪表中，还有适用于腐蚀性液体的“S”系列配置（即LBS系列）可供选择。在该配置中，我们将流量仪表的主体部分升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（RS-232、RS-485）
• 显示屏（单色或彩色）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 自定义校准

冷却系统泄漏检查

对厂内任何地方的冷却系统进行泄漏测试时，LB系列便携式液体流量计可快速量化其间的水流量，可显示管线流量、压力和温度等多元读数，无需与电脑连接。