MCV系列真空气体质量流量控制器
MCV系列真空气体质量流量控制器 配备气动关闭阀,可用于在真空应用中控制98+种气体的质量流量或压力。
- 气动关闭阀。 配备了一个气动驱动,正关闭阀,以确保无泄漏通过。
- 多功能,准确。 对98+气体和20种自定义气体混合物进行实时控制,可溯源精度达到0.5% 读数或0.1% 满量程。
- 易于集成。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。
设备规格和定制选项
快速规格
MCV系列性能(大多数产品适用)
- 量程范围: 0.5 SCCM – 20 SLPM
- 调节比: 0.01% – 100% 满量程
- 标准精度,NIST可溯源: ±0.6% 读数 或0.1% 满量程,以较大者为准
- 可选高精度,NIST可溯源: ±0.5 读数 或±0.1% 满量程,以较大者为准
- 重复性: ±(0.1% 读数+ 0.02% 满量程)
- 控制响应时间: 快至30毫秒
- 气动阀门泄漏率: 1 x 10-9 atm-cc/sec helium max
- 预热时间时间: <1 s
MCE/MCV系列操作条件
- 兼容气体: 98+预载可选择气体
- 工作温度: –10°C to +60°C
- 爆破压力: 160 PSIA
- 差压: ＜75 PSID
- 工作压力: 175 PSIA
- 用户选择参考条件(默认值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)
设备范围和完整规格
设备可定制 0.5 SCCM 到 20 SLPM ，控制范围 0.01%至100% .
综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .
设备特征
标配
- 多参数测控 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
- 测量单位: 改变压力、流量或温度的测量单位 工程单位列表 .
- 内置气体: 98+预载气体种类，可在仪表面板任意切换。 气体清单 .
- 混合气体: 20种用户可定义的气体混合物。每种混合物最多可以包含5种气体成分，单气体成分至少占比0.01%。
- 带集成触摸板的单色背光 LCD：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。
- 用户可调节的设定值斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的速度或速度，可配置的设定值限制可保护过程免受无意的设定值更改。
- 用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。
- 阀门关闭覆盖和阀门打开覆盖：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。
在购买时提出 |免费
- 集成累加器和批次控制：每 1 毫秒汇总一次质量流量，以便随着时间的推移精确跟踪总流量，并使用批次控制来分配精确的体积。
购买时提出|额外费用
- 可选的集成电位器控制：使用集成电位器只需转动旋钮即可调整设定点。
设备定制选项
组成和性能选项
- 通信协议: Analog, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU or TCP/IP, PROFIBUS, PROFINET
- 显示屏：背光单色或彩色；集成或面板安装
- 过程连接 : 压缩、VCR 或 VCO 接头
- 接液材料: 302, 303, 304, 316L, and 430FR stainless steel; FKM, alumina ceramic, brass, glass, gold, heat-cured epoxy, heat-cured silicone rubber, polyamide, silicon
- 校准: 高精度;自定义校准点
阀门选项和PID 调整
您的质量流控制器可以根据下列阀门选项进行定制,以确保在预期的流程条件下获得理想性能。
- MV: 小型比例控制阀内部安装,加上位于下游的外部安装气动关闭阀
可选配件
配件|分开销售
- 端口配件和过滤器
- 电源
- 通信电缆和转换电缆
- BB3和BB9多点集线盒
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产品类别：气体和液体质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
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