实验室合成钻石

借助超低流量质量流量控制器MFC,实现更稳定、可重复的钻石生产

Alicat 提供高稳定性与高重复性,这使工程师能够确信,他们独特的工艺配方和工艺流程已经得到了精准的执行。Alicat的MFC能够对低流量真空应用提供精确的质量流量控制,无需使用混合气体,从而以更低的成本生产出更优质的钻石。

产品指南

Alicat 培育钻石专用产品

用于培育钻石 CVD 工艺的质量流量与压力控制器


• 通过精确平衡碳、氢、氧的比例来控制生长速率。可在数千批次中重复再现成功的工艺配方。

质量流量计和控制器配备气体选择功能,可在甲烷、氩、氧气(或其他95种气体)之间切换,且不影响准确性。

专为 CVD 工艺设计的压力控制器配备有快速动作比例控制阀,可快速响应并维持腔室内压力的稳定。

应用与使用场景

使用化学气相沉积法生产实验室培育钻石

三十多年来,Alicat 一直与 CVD 设备制造商和系统集成商合作,生产高质量的实验室培育钻石。不同类型的 CVD 法(例如MPCVD等)需要不同比例的氢气、甲烷和载气进行混合,来高效培育钻石。

了解制造商如何使用Alicat的精密仪器来改进每个CVD工艺

MPCVD 质量流量控制器

流量控制器

一个流量控制器可用于在较宽的流速范围内,控制氢气、氧气、甲烷或任何其他富含碳的气体的输送。

实验室合成钻石 气体流量控制

具备流量和压力调节功能的CVD人造钻石制造设备

要采用任何 CVD 方法生产高品质的培育钻石,制造商都依赖 Alicat 的设备来确保氢气、甲烷及各种载气和辅助气体的精确气体配比。

了解如何利用 Alicat 的质量流量与压力仪表,提升用于培育钻石的燃烧火焰辅助法、热丝辅助热解法及等离子体增强 CVD 工艺。

激光等离子体 CVD法帮助制造培育钻石

等离子体增强 CVD (PECVD)是目前制备培育钻石最主流的技术。而激光等离子体 CVD(LPCVD) 则是一种较为冷门的方法,该工艺自20世纪90i安代开始被使用,其在常压及正压条件下运行,理论上具有比其他工艺更快的金刚石生长速率。

Alicat 仪表可帮助您设计更优的激光等离子体 CVD 系统,从而提升钻石的培育效率。

产品

层流差压质量流量计与质量流量控制器

精确平衡碳、氢、氧的比例。在电离过程中,Alicat 控制器能够自动补偿温度与压力的变化。

压力控制器与压力计

通过快速动作比例控制阀,对 CVD 工艺过程中的系统压力进行稳定控制,快速响应以维持腔室内压力稳定。

适用于负压/真空流量系统的质量流量控制器

配备气动截断阀的真空质量流量控制器,可在低至满量程 0.01% 的流量下实现精确控制,维持稳定的腔室压力。

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