质量流量计&质量流量控制器

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MCD系列双向气体质量流量控制器

全球最全能的气体流量控制器

多向气体质量流量控制器中,艾里卡特MCD系列是世界上第一台双向气体质量流量控制器。这款仪器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,然后排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。

  • 多功能。利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。(下载右侧信息图,了解流量图表。)在所有情况下,均可完成多元测量(包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量);此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCD系列双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

性能

  • 可用量程:最大-5000至+5000 slpm;最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
  • 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCD系列)或130种(MCDS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

包装清单

型号变体

  • 低压损型号,最多60 psia(MCDW系列
  • 腐蚀性气体型号(MCDS系列,见下文)

阀门选项

您可以为您的MCD系列双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持最佳性能。

  • MCD系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCPD系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCRD系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCDS系列)

MCD标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCDS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

艾里卡特MCD系列双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体

MCD-0.5SCCM-D
MCD-1SCCM-D
MCD-2SCCM-D
MCD-5SCCM-D
MCD-10SCCM-D
MCD-20SCCM-D
MCD-50SCCM-D
MCD-100SCCM-D
MCD-200SCCM-D
MCD-500SCCM-D
MCD-1SLPM-D
MCD-2SLPM-D
MCD-5SLPM-D
MCD-10SLPM-D
MCD-20SLPM-D

艾里卡特MCPD系列双向气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体

MCPD-10SLPM-D
MCPD-20SLPM-D
MCPD-50SLPM-D
MCPD-100SLPM-D
MCPD-250SLPM-D

艾里卡特MCRD系列双向气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体

MCRD-50SLPM-D
MCRD-100SLPM-D
MCRD-250SLPM-D
MCRD-500SLPM-D
MCRD-1000SLPM-D
MCRD-1500SLPM-D
MCRD-2000SLPM-D-PAR
MCRD-3000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCDS系列双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体

MCDS-0.5SCCM-D
MCDS-1SCCM-D
MCDS-2SCCM-D
MCDS-5SCCM-D
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MCDS-10SLPM-D
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艾里卡特MCRDS系列双向气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。

MCRDS-50SLPM-D
MCRDS-100SLPM-D
MCRDS-250SLPM-D
MCRDS-500SLPM-D
MCRDS-1000SLPM-D
MCRDS-1500SLPM-D
MCRDS-2000SLPM-D-PAR
MCRDS-3000SLPM-D-PAR

双向流量控制器自动化泄漏测试

将MCD系列双向气体质量流量控制器设置为控制绝对压力,意味着您拥有一台具有基本泄漏检测系统的设备。一旦达到测试压力,正流量表示存在泄漏。测试开始时,利用另一个阀门确保不会超过目标压力;测试结束时,释放压力。

 

泄压阀测试和性能验证

MCD系列双向气体质量流量控制器在记录系统内的绝对压力时保持流量恒定,对泄压阀加压。泄压阀打开后,显示负流量设定值,以降低压力,为反向流量条件下的测试做好准备

 

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