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MCD系列双向气体质量流量控制器

MCD系列双向气体质量流量控制器 可以控制质量流量,体积流量,或气体压力。双向同时测量流量,压力,温度。
  • 多功能,准确。  实时控制双向流动或压力,可追踪精度为:98+气体和20个定制混合物,精度0.5%读数或0.1%F.S.。
  • 快速,多参数。  在您选择的工程单元中,在启动后立即进行响应,以控制质量流量、体积流量或压力,并显示瞬时流量、压力和温度读数。
  • 兼容性高。  定制的流程端口和电气连接器,以及您选择的以太网/IP、以太网、DEVENET、PROFIBUS、ProFIN、MOBUS或串行通信,以方便地集成到您的工业流程中。
包括购买的配件

设备规格和定制选项

规格
MCD系列标准规格
  • 量程范围: 0.5SCCM  – 3000SLPM
  • 量程比: 0.01% 至 100%
  • 精度:0.6%读数或+0.1% F.S. ,以两者中较大者为准
  • 可选高精度: 0.5%读数或0.1% F.S. ,以较大者为准
  • 重复性: ±(0.1% 读数 + 0.02% F.S.)
  • 响应时间: 快至 30 ms
  • 预热时间: < 1s
  • 工作温度: –10°C to +60°C
  • 工作压力: 160 PSIA
规格表

综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .

设备特征
包括每个装置
  • 多参数 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
  • 可使用的测量单位: 改变压力、流量或温度的测量单位 工程单位名单 .
  • 气体选择: 98+种内置气体,可现场自由切换而无需返厂校准。  气体清单 .
  • Composer™: 定义20种自定义气体混合物,最多可使用5种成分气体 Composer ™ 进行气体混合。
  • 背光显示屏:  使用 背光显示屏 和控制配置与集成触摸板。
  • 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制:配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程,设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。
  • 可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改STP条件 不需要再校准。
  • 阀门开合: 利用警报快速释放您的系统或停止所有流动所需。
标配功能
  • 标配流量累加器和批处理控制: 流量累加器 质量流每1M精确跟踪总流量随时间和使用批处理控制分配精确的体积。
购买时提出的要求|额外费用
  • 可选集成电位器控制: 使用 集成电位计 用简单的旋钮转动调整SET点。
设备定制选项
组成和构成选择
  • 通信:模拟、RS–232、RS–485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
  • 过程连接:NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO
  • 显示屏:背光单色屏或TFT彩屏,一体化集成或面板单独安装
  • 接液材质:316L不锈钢&FFKM;根据需要 FKM 或 EPDM
  • 校准:标准或高精度;自定义校准点
阀门选项和PID 调整

您的质量流控制器可以根据下列阀门选项之一进行定制,以确保在预期的工况下的更佳性能。

  • MCD: 小比例控制阀,适用于流量范围20SLPM及以下
  • MCD with PCA designation会: 高性能控制阀,用于一些高压应用
  • MCPD: 小型比例控制阀(不适用于腐蚀性配置)
  • MCRD: 几乎无摩擦的大型罗拉米特比例阀,流量在50SLPM及以上

定制的PID 阀门确保能符合您的工艺条件.

可选配件
配饰|分开销售
  • 加工端口配件和过滤器
  • 电源
  • 通信电缆和转换电缆
  • BB3和BB9多点集线盒

 

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