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MS-系列：耐腐蚀质量流量计

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MS-系列：耐腐蚀质量流量计

MS 系列耐腐蚀质量流量计可测量 130 多种气体的质量流量和体积流量，包括 32 种腐蚀性气体。

规格、功能和自定义选项

规格

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM

完整规格表

MS系列标准规格

量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM (10,000 SLPM for H2)
测量范围： 1% – 100% F.S.
精度：读数的0.8% 和 0.2% F.S.
可选高精度：读数的0.4% 和 0.2% F.S.
重复性：±0.2% F.S.
响应时间：<10 毫秒
工作温度：–10°C 至 +60°C
工作压力：160 PSIA (11 barA)

质量流量计操作手册→

功能和附件

功能

同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。
从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
自定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
标配流量累加器和警报器

探索设备功能 →

附件

FlowVision 软件（下载）

电源、电缆和附件单独出售→

组成和性能选项

通信：模拟、RS–232、RS–485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
过程连接：NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO
显示屏：背光单色屏或TFT彩屏，一体化集成或面板单独安装
接液材质：316L不锈钢&FFKM；根据需要 FKM 或 EPDM
校准：标准或高精度；自定义校准点

进一步定制→

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