MCS-系列：耐腐蚀气体质量流量控制器

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MCS 系列耐腐蚀气体质量流量控制器可快速达到设定值并保持对 128 多种气体（包括 32 种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量或压力的稳定控制。

腐蚀性气体兼容。与 32 种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。
用途广泛且准确。对 128 种以上的气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）。
快速控制，多变量数据。通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数。
易于集成。定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

购买时附带的配件

FlowVision 软件（免费下载）

规格

MCS 系列性能

MCS 系列工作条件

设备范围和完整规格

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范围为满量程的 1% 到 100%。

如需全面的设备指南，请阅读质量流量控制器操作手册。

设备特点

每个设备包含

多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
气体可选性：从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体。
Gas Select COMPOSER™：使用我们的 Gas Select Composer™ 固件定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
带集成触摸板的单色背光 LCD：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。
用户可调节的设定值斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的速度或速度，可配置的设定值限制可保护过程免受无意的设定值更改。
用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。
阀门关闭覆盖和阀门打开覆盖：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

可选的购买时的要求 |免费

购买时的要求 |需另外付费

设备自定义选项

组成和性能选项

通讯协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS
显示屏：背光单色或彩色；集成或面板安装
过程连接：NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR 或 VCO 接头
接液材质：316L/303/430FR不锈钢； FFKM 标准、FKM 或 EPDM（根据需要用于某些气体）
校准：高精度；自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。