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MC 系列:气体质量流量控制器

  • 流量范围: 0.5 SCCM和 5000 SLPM ( H2 氢气 10,000 SLPM
  • 多参数测量: 质量流量、体积流量、压力和温度
  • 多参数控制:质量流量、体积流量或压力
  • 内置98 + 种气体且可供用户自由切换,而无需返厂校准
  • 本地、模拟或数字控制,包括工业协议

MC 系列受到计量部门的喜爱、研究人员的珍视以及系统工程师的依赖 – MC 系列做得更多、更快。

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规格

性能(大多数范围)

  • 控制范围:0.01% – 100% F.S.
  • NIST 可追溯精度
    • 标准精度: ±0.6% 读数或 ±0.1% F.S.,以较大者为准
    • 高精度(可选) ±0.5% 读数或 ±0.1% F.S.,以较大者为准
  • 重复性:±(0.1% 读数+ 0.02% F.S.)
  • 控制响应时间:快至 30 ms
  • 预热时间:<1秒

规格表:

H2 0.5 – 5 SCCM 10 SCCM – 20 SLPM 50 – 5000 SLPM 10,000 SLPM

运行条件

  • 兼容气体:98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体
  • 工作温度:–10°C 至 +60°C
  • 满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)

所有 MC 系列规格

定制选项

您有独特的要求吗?这是我们的专长。

构建和性能选项

  • 通信协议:模拟(4-20 mA、0-10 Vdc、0-5 Vdc 或 1-5 Vdc)、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、现场总线、现场总线
  • 显示屏幕:背光单色或TFT彩色;集成或面板安装
  • 过程连接:NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR 或 VCO 接头
  • 密封圈:Viton、FFKM、EPDM、硅胶
  • 校准:标准、高精度;自定义校准点
  • 防护等级:IP40、IP66、IP67
  • 防爆等级:CSA Class 1 Div 2、ATEX Class 1 Zone 2

所有 MC 系列均包含

阀门选项

为您的独特工艺提供卓越性能

您的控制器可能采用以下阀门选项之一构建,以在预期过程条件下极大限度地提高性能。

  • MC:小型比例控制阀,适用于 20 SLPM 及以下的流量范围
  • 具有 PCA 名称的 MC:高性能比例控制阀,用于某些高压应用
  • MCP:具有最大孔口的小型比例控制阀(不适用于腐蚀性配置)
  • MCH:锤头配置,将两个并排工作的小阀门配对为一个阀门
  • MCR:几乎无摩擦的大型 Rolamite 比例阀,适用于 50 SLPM 及以上的流量

  • MCT:在两个不同流路之间轻松切换流量控制

Alicat MCT 系列流切换气体质量流量控制器照片

MCT:在两个不同流路之间轻松切换流量控制

定制PID 阀门调节可在您的过程条件下实现卓越性能。

所有定制选项

配件

包含在购买中

分开售卖

  • 过程端口配件和过滤器
  • 电源
  • 通讯电缆及转换电缆
  • BB3 和 BB9 多点接线盒

 

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