质量流量计&质量流量控制器

型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）
• 高压型号，160-320 psia（MCQ系列）
• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
• 配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCS系列）

MC系列气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

气体喷射控制pH值

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈，实时更改流量设定值，保持气体质量流量控制器最佳过程工艺条件。

自定义气体混合系统

艾里卡特的质量流量控制器非常适用于构建自定义气体混合系统；在这种类型应用中，可充分发挥气体质量流量控制器固有的灵活性和适应性。

高温质量流量控制

艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分，且不会使控制器电子器件超出其设计温度。

型号变体

• 标准配置型号，最高160 psia（MC系列）
• 高压应用型号：160-320 psia（MCQ系列）

阀门选项

您可以为您的MCW系列低压损气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCW系列—选配小型比例控制阀，适用于2 slpm及以下量程
• MCPW系列—选配最大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCHW系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCRW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于5 slpm及以上流量

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

快速泄漏测试

对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时，将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式，使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时，还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法，仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。

型号变体

• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 标准配置型号，适用于高达160 psia的环境（MC系列）
• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）

阀门选项

您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCQ系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCQS系列）

MCQ系列高压气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCQS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

型号变体

• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
• 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

• 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

• MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
• MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 集成式电位计控制
• 高精度或自定义校准

反应溅射气体流量控制

以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度，良好的分辨率保证了适当的原子释放，气动截止阀确保无流量时的正向切断。

升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。

结构选项

• 通讯协议（0-5 Vdc模拟通讯，RS-232、RS-485、Modbus-RTU）
• 工艺连接件（NPT或SAE）
• 多气体校准（空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮）
• 单种气体校准（氦气、氢气）

OEM气体分析仪的流量控制

确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。

自动化气体混合

采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。