质量流量计&质量流量控制器

气体质量流量控制器

艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。

基于压力的质量流量仪表的最高性能:

  • 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
  • 4 ms响应时间
  • 无需预热
  • 四个过程变量
  • 内置的显示
  • 工业协议
  • 压力补偿
  • 温度补偿
  • 宽动态流量范围

*详细规格见产品说明书*

MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器,其型号众多,可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。

若管线压力较高(145-305 psig),请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器

MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试,也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。

若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件,MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部,使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。

对于真用应用,MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。

BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列,专门设计用于OEM应用和大量订单环境。

为满足生物反应器市场的需求,Alicat发布了世界上首款专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器

气体喷射控制pH值(MC系列气体质量流量控制器

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需求。

快速泄漏测试(MCW系列气体质量流量控制器

将“Whisper”质量流量控制器设置为压力控制模式,使其在同一设备中兼具压力控制器和质量流量计的功能。

反应溅射气体流量控制(MCV系列气体质量流量控制器

精确控制真空室内反应气体的分压,其气动截止阀能确保无流量时的正向切断。

OEM气体分析仪流量控制(BASIS系列气体质量流量控制器

体积小、即时准备控制、双向通讯等特点使得BASIS系列产品可被轻松整合到终端用户产品内。

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