质量流量计&质量流量控制器

气体质量流量控制器

气体质量流量控制器必须快速准确,以建立稳定的流量。我们的质量流量控制器比其他任何控制器更快地达到它们的设定值,这使得它们能够在影响下游流程之前抑制管线压力的波动。定制的阀门选项和工厂PID调优,确保您的MFC将在您的具体应用程序中表现良好。

MC系列是我们的标准质量流量控制器,其模型可以测量高达5000 slpm或0.0025 sccm的流量。选择一个MCQ当您的线路压力高(145-305 psig)。MCW系列适用于低压降应用、泄漏测试以及在流量为50 scccm或更低时降低气动响应时间。

如果您需要替换现有的热质量流量控制器,MCE系列将阀门内塞,使其工艺连接符合半标准长度。对于真空应用,MCV在MCE形状因子上增加了一个气动驱动的截止阀。

基础是Alicat的生产线紧凑的质量流量控制器设计OEM应用和大批量订单。

 

pH控制气体喷射(MC)

在大流量范围内控制质量流量,并进行快速调整,以适应不断变化的流量要求。

Even Faster Leak Testing (MCW)

A “Whisper” mass flow controller that is set to control for pressure serves the functions of both a pressure controller and a mass flow meter in one device.

Gas Flow Control for Reactive Sputtering (MCV)

Precisely control the partial pressures of reactive gases in the vacuum chamber, and maintain tight shut-off under no-flow conditions with the pneumatic valve.

Flow Control for OEM Gas Analyzers (BASIS)

Small size, instant control readiness and dual communications make BASIS easy to build into end user products.

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