气体质量流量控制器
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的最高性能：
- 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
- 4 ms响应时间
- 无需预热
- 四个过程变量
- 内置的显示
- 工业协议
- 压力补偿
- 温度补偿
- 宽动态流量范围
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。
对于真用应用，MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。
BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，专门设计用于OEM应用和大量订单环境。
为满足生物反应器市场的需求，Alicat发布了世界上首款专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。
model
MC系列气体质量流量控制器
响应式气体流量控制，抑制压力波动
性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。
MC-0.5SCCM-D
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MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
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MC-50SCCM-D
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艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门，适用于非腐蚀性气体。
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MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门，适用于非腐蚀性气体。
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MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制，适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
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艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量，适用于腐蚀性气体。
MCS-0.5SCCM-D
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MCS-2SCCM-D
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艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体，将两个阀门并排成对，用作一个阀门，实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体，采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
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MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
