气体质量流量控制器
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的最高性能:
- 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
- 4 ms响应时间
- 无需预热
- 四个过程变量
- 内置的显示
- 工业协议
- 压力补偿
- 温度补偿
- 宽动态流量范围
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器,其型号众多,可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高(145-305 psig),请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试,也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件,MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部,使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。
对于真用应用,MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。
BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列,专门设计用于OEM应用和大量订单环境。
为满足生物反应器市场的需求,Alicat发布了世界上首款专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。
气体喷射控制pH值(MC系列气体质量流量控制器)
在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需求。
快速泄漏测试(MCW系列气体质量流量控制器)
将“Whisper”质量流量控制器设置为压力控制模式,使其在同一设备中兼具压力控制器和质量流量计的功能。
反应溅射气体流量控制(MCV系列气体质量流量控制器)
精确控制真空室内反应气体的分压,其气动截止阀能确保无流量时的正向切断。
OEM气体分析仪流量控制(BASIS系列气体质量流量控制器)
体积小、即时准备控制、双向通讯等特点使得BASIS系列产品可被轻松整合到终端用户产品内。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MC系列气体质量流量控制器
MC系列气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,抑制压力波动
性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
阀门选项
您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCS系列)
MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
气体喷射控制pH值
在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈,实时更改流量设定值,保持气体质量流量控制器最佳过程工艺条件。
高温质量流量控制
艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分,且不会使控制器电子器件超出其设计温度。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCW系列低压损气体质量流量控制器
MCW系列低压损气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,保证系统影响最小
Whisper系列低压损气体质量流量控制器,适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID调节功能,确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
阀门选项
您可以为您的MCW系列低压损气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCW系列—选配小型比例控制阀,适用于2 slpm及以下量程
- MCPW系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
- MCHW系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCRW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于5 slpm及以上流量
艾里卡特MCW系列低压损气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低压损气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低压损气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低压损气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
快速泄漏测试
对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时,将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式,使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时,还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法,仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCQ系列高压气体质量流量控制器
MCQ系列高压气体质量流量控制器
响应式气体流量控制,适用于高压应用
MCQ系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320 psia)的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能够快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCQ系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms
- 无需预热时间
包装清单
- MCQ系列高压气体质量流量控制器(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
阀门选项
您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCQ系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
- MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
- MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量
腐蚀性气体(MCQS系列)
MCQ系列高压气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCQS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。
艾里卡特MCQ系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
艾里卡特MCHQ系列高压气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
艾里卡特MCRQ系列高压气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
艾里卡特MCHQS系列高压气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:最大0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度:-10°C至+60°C
- 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
型号变体
- 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
- 阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
- 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
另有:
- 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
阀门选项
您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。
- MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
- MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀
腐蚀性气体(MCES和MCVS系列)
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCES和MCVS系列)可供选择。在该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。
艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。
- 质量流量计&质量流量控制器
- 气体质量流量控制器
- BASIS系列OEM气体质量流量控制器
BASIS系列OEM气体质量流量控制器
OEM应用中的基础流量控制
对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
- 可靠。BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
- 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
- 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。
性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
- 可重复性:0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
- 预热时间:70ms,达到完整精度
工作条件
- 兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
- 工作温度:0°C至+50°C
- 最大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)
结构选项
- 通讯协议(0-5 Vdc模拟通讯,RS-232、RS-485、Modbus-RTU)
- 工艺连接件(NPT或SAE)
- 多气体校准(空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮)
- 单种气体校准(氦气、氢气)
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
OEM气体分析仪的流量控制
确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。
自动化气体混合
采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。