气体质量流量控制器
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的最高性能：
- 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
- 4 ms响应时间
- 无需预热
- 四个过程变量
- 内置的显示
- 工业协议
- 压力补偿
- 温度补偿
- 宽动态流量范围
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。
若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。
对于真用应用，MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。
BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，专门设计用于OEM应用和大量订单环境。
为满足生物反应器市场的需求，Alicat发布了世界上首款专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。
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MC系列气体质量流量控制器
响应式气体流量控制，抑制压力波动
性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门，适用于非腐蚀性气体。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门，适用于非腐蚀性气体。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制，适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量，适用于腐蚀性气体。
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体，将两个阀门并排成对，用作一个阀门，实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体，采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
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MCW系列低压损气体质量流量控制器
响应式气体流量控制，保证系统影响最小
Whisper系列低压损气体质量流量控制器，适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响，实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数，为您定制阀门和PID调节功能，确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
艾里卡特MCW系列低压损气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低压损气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门，适用于非腐蚀性气体。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低压损气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门，适用于非腐蚀性气体。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低压损气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制，适用于非腐蚀性气体。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
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MCQ系列高压气体质量流量控制器
响应式气体流量控制，适用于高压应用
MCQ系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 psia）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCQ系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
艾里卡特MCQ系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
艾里卡特MCHQ系列高压气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门，适用于非腐蚀性气体。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
艾里卡特MCRQ系列高压气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门，可选用各种孔径，实现对较大流量的控制，适用于非腐蚀性气体。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量，适用于腐蚀性气体。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高压气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量，适用于腐蚀性气体。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
艾里卡特MCHQS系列高压气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体，将两个阀门并排成对，用作一个阀门，实现对高压应用的更强大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
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MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于腐蚀性气体。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
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BASIS系列OEM气体质量流量控制器
OEM应用中的基础流量控制
对于大数额订单，BASIS系列OEM气体质量流量控制器，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
- 可靠。BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
- 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期。
- 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
