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MCW系列低压损气体质量流量控制器

MCW系列低压损气体质量流量控制器 当可用的系统压力很少时,快速到达设定值,并保持对质量流量、体积流量或压力的稳定控制,压降低至0.07psid。

是为处理 微小入口压力 或者很大的背压。这些装置具有更大的流动体和独特的层流片,使得 压降 低于10倍 标准装置 .低压损系列是利用一个更敏感的压力传感器,可控制微小压力值。

10天快速交付

FastTrack 快速交付计划可以 在10个工作天内交付 .产品包括:

  • 量程范围: 2SCCM至2SLPM
  • 阀门: 标准阀门。请咨询应用工程师以确定是否需要专用阀门.
  • 校准:  标准或高精度
  • 显示屏: 背光单色或彩色;无显示屏
  • 通信协议: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU
  • 过程连接: MD8, locking industrial, DB9M, DB15
  • 配件: 电源线

设备规格和定制选项

快速规格
MW系列性能(大多数产品)
  • 量程范围: 0.5-1000 SLPM
  • 控制范围: 0.5% – 100% 满量程
  • 标准精度: ±0.75%读数或 ±0.1% 满量程 ,以较大者为准
  • 可选高精度: ±0.6%读数或+0.1% 满量程 ,以较大者为准
  • 重复性: ±(0.2% 读数+ 0.02% 满量程)
  • 响应时间: 低至30毫秒
  • 预热时间:< 1s
MW系列操作条件
  • 兼容气体:  98个预载可选择气体校准 ;可定义为  作曲家
  • 工作温度: –10°C to +60°C
  • 工作压力: 60 PSIA
  • 压降(与范围有关):  低至0.07pid
  • 差压:< 15 PSID
  • 爆破压力: 80 PSIA
  • STP参考条件(默认值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)
设备范围和完整规格

量程范围  0.5 SCCM  到 1000 SLPM, 可控制范围 0.5%至100% .

综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .

设备特征
包括每个装置
  • 多参数测量 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
  • 测量单位: 可选择压力测量单位, 工程单位列表。
  • 可选择性:  从我们的98+预载可跟踪气体校准中选择您的工艺气体。  气体列表 .
  • 混合气体选择:  定义20种自定义气体混合物,最多可使用5种成分气体 Composer ™
  • 背光显示屏:  使用  背光显示器 和控制配置与方便用户的集成触摸板。
  • 用户可调节的设定点斜坡和限制:可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢,并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。
  • 用户可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改NTP条件 不需要再校准。
  • 阀门开合: 利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。
在购买时提出的要求(免费)
购买时提出的要求|额外费用
  • 可选集成电位器控制: 使用 集成电位计 用简单的旋钮转动调整SET点。
设备定制选项
构成选择
  • 通信协议:Analog、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET
  • 显示屏背光单色屏或TFT彩屏,一体化集成或面板单独安装
  • 过程连接 NPT、SAE、AN、BSPP/G、卡套接头、VCR 或 VCO 接头
  • 密封圈:  Viton、FFKM、EPDM、硅胶
  • 校准:自定义校准点
阀门选项和PID 调整

您的质量流控制器可以根据下列阀门选项之一进行定制,以确保在预期的流程条件下的卓越性能。

  • MCW: 小型比例控制阀,用于20 SLPM以下流量
  • MCPW: 小型比例控制阀具有最大的孔径(不具备耐腐蚀性配置)
  • MCHW: 锤头结构,将两个并排工作的小阀门配对为一个阀门
  • MCRW: 几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于5 slpm以上流量

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥卓越性能。

配件
包括购买
单独出售
  • 加工端口配件和过滤器
  • 电源
  • 通信电缆和转换电缆
  • BB3和BB9集线盒

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