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MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器

Whisper™ MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器 可以在可用系统压力非常小时(压降低至 0.07 PSID)时控制两个方向的质量流量、体积流量或气体压力。
  • 多功能且准确。 对 98 多种气体(包括自定义混合物)进行双向流量或压力的实时控制,精度可达 NIST 可追溯的读数的 ±0.75% 或满量程的 ±0.1%。
  • 快速控制,多变量数据。 通电后立即实现毫秒响应时间,以控制质量流量、体积流量或压力,并以您选择的工程单位显示瞬时流量、压力和温度读数。
  • 轻松集成。 定制过程端口和电气连接器,以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus(RTU 和 TCP/IP)或串行通信,以便轻松集成到您的工业过程中。
购买时附带的配件

设备规格和定制选项

快速规格
MCDW 系列性能(大多数产品)
  • 量程范围: 0.5 SCCM 至 5000 SLPM
  • 控制范围: 满量程的0.05% – 100%
  • 标准精度校准,NIST 可溯源:读数的 ±0.75% 或满量程的 ±0.1%(以较大者为准)
  • 可选高精度校准,NIST 可溯源:读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%(以较大者为准)
  • 重复性: ±(读数的 0.2% + 满量程的 0.02%)
  • 响应时间:低至 30 ms
  • 预热时间: <1秒
MCDW 系列操作条件
  • 兼容气体: 98 种预装可选气体校准可使用COMPOSER™定义其他混合物
  • 工作温度: –10°C 至 +60°C
  • 满量程工作压力: 60 PSIA
  • 耐压: 80 PSIA
  • 用户可选择的参考条件(默认):  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
设备范围和完整规格

器件定制范围为 0.5 SCCM 满量程 500 SLPM 满量程,可控范围为满量程的 0.05% 至 100%

如需全面的设备指南,请阅读质量流量控制器操作手册

设备特点
每台设备均附带
  • 多参数过程测量:同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
  • 用户可更改测量单位:从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
  • 气体选择: 从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。
  • Gas Select Composer™: 使用我们的Gas Select Composer  固件定义最多 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
  • 带集成触摸板的单色背光 LCD: 使用背光显示屏轻松读取测量值,并通过用户友好的集成触摸板控制配置。
  • 用户可调节的设定点斜坡和限制:可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢,并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。
  • (STP) 条件: 快速 更改参考条件, 无需重新校准。
  • 阀门开合:利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。
购买时要求 | 免费
  • 可选的集成累加器和批量控制:每 1 毫秒累加一次质量流量,以便精确跟踪一段时间内的总流量,并使用批量控制来分配精确的体积。
购买时要求 | 附加费用
  • 可选的集成电位计控制:使用集成电位计,只需旋转旋钮即可调整设定点。
设备定制选项
构建和性能选项
  • 通信协议:模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET
  • 显示屏单色或彩色背光;集成或面板安装
  • 过程连接 NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩、VCR 或 VCO 配件
  • 密封圈: Viton、FFKM、EPDM、硅胶
  • 校准:高精度;自定义校准点
阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制,以确保在您预期的过程条件下获得理想性能。

  • MCDW:小型比例控制阀,适用于 20 SLPM 及以下的流量范围
  • MCRDW:几乎无摩擦的大型 Rolamite 比例阀,适用于 50 SLPM 及以上的流量

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥最大性能。

可选配件
配件 | 分开售卖
  • 过程端口配件和过滤器
  • 电源
  • 通讯电缆及转换电缆
  • BB3 和 BB9 多点接线盒

性能

  • 可用量程:0.5 SCCM to 5000 SLPM
  • 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
  • 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
  • 重复性:0.2%满量程
  • 响应时间:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 内部压力(静态):45 psig(60 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

包装清单

型号变体

  • 标准配置型号,最高160 psia(MCD系列

阀门选项

您可为您的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持理想性能。

  • MCDW系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • MCRDW系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 密封圈材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体

MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D

艾里卡特MCRDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体

MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D

呼吸设备双向流量压力性能对比测试

按照与呼吸频率相符的流速,双向控制进出呼吸设备的流量,模拟人类呼吸。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器还可在施加极小压力的情况下缓慢“呼吸”。

远程空气采样和校准双向流量控制

从一个方向利用真空泵完成大气采样,接着从另一个方向利用正压定期校准气体分析仪;对于前述所有操作,均无需断开系统任何部分。低压损的MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器产品允许在16.7lpm标准流量下完成体积流量采样。这使得在无人介入的情况下也能完成远程空气监测站的操作和校准。

 

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