质量流量计&质量流量控制器

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BASIS系列OEM气体质量流量控制器

OEM应用中的基础流量控制

对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。

  • 可靠。BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
  • 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
  • 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

性能

  • 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
  • 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
  • 可重复性:0.5%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
  • 预热时间:70ms,达到完整精度

工作条件

  • 兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
  • 工作温度:0°C至+50°C
  • 最大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)

包装清单

配件(需另行订购)

结构选项

  • 通讯协议(0-5 Vdc模拟通讯,RS-232、RS-485、Modbus-RTU)
  • 工艺连接件(NPT或SAE)
  • 多气体校准(空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮)
  • 单种气体校准(氦气、氢气)

BC-C0100 (1-100 sccm)

BC-C1000 (10-1000 sccm)

BC-L0020 (0.2-20 slpm)

BC-L0050 (0.5-50 slpm)

OEM气体分析仪的流量控制

确保OEM分析仪器中精密流量测量。快速的阀门响应及高精度保证了传输到分析仪传感器的气体流量的可重复性和稳定性。外形灵巧、瞬时响应、数字模拟双重通讯使得BASIS系列OEM气体质量流量控制器可轻易集成于终端设备。

 

自动化气体混合

采用可瞬时进行精密测量的BASIS系列OEM气体质量流量控制器进行配气。迅速反馈到PLC或PC的模拟及数字信号允许用户实时调整流量设定值以达到预设混合比例。

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