质量流量计&质量流量控制器

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M系列气体质量流量计

实时完成高精度多元流量测量

M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度,可用流量量程跨度宽,内置多种气体校准,使得这款流量计成为您实验室的明星设备。

  • 准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
  • 使用简单。只要您打开流量计,流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
  • 连接。艾里卡特M系列气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(M系列)或者100:1(MS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:5-10ms
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MB系列)或130(MBS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 最大差压(进口至出口):75 psid
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

包装清单

型号变体

  • 低压损型号,最多60 psia(MW系列
  • 高压型号,160-320 psia(MQ系列
  • 腐蚀性气体型号(MS系列,见下文)
  • 配有可充电电池的便携式型号(MB系列

腐蚀性气体(MS系列)

M系列气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

艾里卡特M系列气体质量流量计适用于非腐蚀性气体

M-0.5SCCM-D

M-1SCCM-D

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M-5SCCM-D

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艾里卡特MS系列气体质量流量计适用于腐蚀性气体

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MS-3000SLPM-D

MS-5000SLPM-D

过滤器性能测试

利用压力控制器使过滤器维持一定差压,通过流量与压损对比曲线图,确定过滤器性能。气体质量流量计显示的流量读数即为克服压损所需要的流量。

 

快速泄漏测试

精确测量目标设备的压力,采用配有远程传感端口的艾里卡特PC3系列压力控制器控制目标设备的压力,以判断是否泄漏。该方案消除了质量流量计以5ms响应速度测量泄漏率过程中产生的压损。

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