Cambridge CMOS Sensors 使用质量流量控制来表征和校准气体传感器
Cambridge CMOS Sensors（2016 年被ams收购）是传感器技术的行业领导者。他们获得专利的 CMOS MEMS 气体传感器采用微热板技术，为监测空气质量和有害气体提供更低的功耗和更快的响应时间。
挑战：测试 CMOS 传感器需要针对各种测试条件的快速流量控制流程
Cambridge CMOS Sensors 需要一个测试平台来表征和校准传感器，在此过程中，一氧化碳、乙醇或挥发性有机化合物 (VOC) 将被泵入每个传感器的测试室中。
由于 Cambridge CMOS Sensors 自己的传感器速度如此之快，因此需要一个质量流量控制系统，该系统也能快速响应以在测试室中产生不同的气体浓度。每个测试都需要不同浓度的气体，流速范围为 0.1 毫升/分钟到 500 毫升/分钟。快速的流量稳定对于收集瞬态数据和进行测试室的泄漏测试也是必要的。
解决方案：快速、灵活的质量流量控制系统，配有 2 个标准控制器、2 个防腐控制器和 1 个防腐仪表
Cambridge CMOS Sensors 的现场质量流量控制系统
质量流量控制系统，从前到后显示BB9配电箱、3个标准质量流量控制器、2个防腐控制器和1个防腐质量流量计
Premier Control Technologies 通过响应灵敏且灵活的 Alicat 质量流量控制系统来满足这些要求。设定点变化的50毫秒阀门响应时间确保快速达到测试气体浓度并在每次测试期间保持稳定。Alicat的机载多种气体校准和宽广的可控范围显着降低了搭建传感器测试平台的设备成本。每个 0.1-500 毫升/分钟的流量范围只需两个质量流量控制器（500 毫升/分钟和 10 毫升/分钟型号）即可覆盖，局部管道三通允许选择高或低流量。
选择了两对质量流量控制器：一对用于一氧化碳和乙醇的标准控制器，第二对 用于挥发性有机化合物的防腐控制器。这四个控制器与第五个控制器配对，用于稀释到清洁空气中，并配有防腐质量流量计，用于监测测试室的泄漏率。所有六种仪器均配备 Alicat 的Gas Select COMPOSER，可提供 98 多种气体和气体混合物的气体特性数据。这使得这些设备“面向未来”并准备好适应新气体的额外测试。
为流量控制系统供电并与其通信
这些仪器通过 Alicat 的BB9-USB 配电箱接收电源并进行通信，该配电箱可以通过单个 USB 连接和电源将多达九个质量流量或压力仪器连接到计算机。Cambridge CMOS Sensors 可以使用触摸板接口在本地操作控制器，这意味着他们能够完成初步测试，而无需通过计算机对单元进行编程。现在，他们的自动化测试平台已经就位，他们可以使用其专有的软件控制系统通过多点 RS-232 控制所有单元。
本文由艾里卡特英国经销商Premier Control Technologies提供。