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MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器 配备有气动关闭阀,可用于在真空应用中控制质量流量或98+气体压力。
  • 气动关闭阀。 配备了一个气动驱动,正关闭阀,以确保无泄漏通过。
  • 多功能,准确。 对98+气体和20种自定义气体混合物进行实时控制,可溯源精度 0.5%读数或0.1% F.S.。
  • 易于集成。  定制的流程端口和电气连接器,以及您选择的以太网/IP、以太网、DEVENET、PROFIBUS、ProFIN、MOBUS或串行通信,以方便地集成到您的工业流程中。

设备规格和定制选项

快速规格
MCV系列性能(大多数产品)
  • 量程: 0.5-20SLPM
  • 量程比: 0.01% – 100% of full scale
  • NIST可溯源精度: 0.6% 读数或+0.1% F.S. ,以两者中较大者为准
  • 可选的高精度: 0.5% 读数 或0.1% F.S. ,以较大者为准
  • 重复性: ±(0.1% of reading + 0.02% of full scale)
  • 响应时间: 快至30毫秒
  • 泄漏率: 1 x 10 -9 /秒
  • 预热时间: <1s
MCE/MCV系列操作条件
  • 兼容气体: 98+内置气体
  • 工作温度: –10°C to +60°C
  • 工作压力: 160 PSIA
  • 差压:  75 PSID
  • 压力: 175 PSIA
  • 用户选择参考条件(默认值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)
设备范围和完整规格

可定制  0.5 SCCM  到 20 SLPM 可控制的范围 0.01%至100% .

综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .

设备特征
包括每个装置
  • 多参数 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
  • 可使用的测量单位: 改变压力、流量或温度的测量单位 工程单位名单 .
  • 气体选择: 98+种内置气体,可现场自由切换而无需返厂校准。  气体清单 .
  • Composer™: 定义20种自定义气体混合物,最多可使用5种成分气体 Composer ™ 进行气体混合。
  • 背光显示屏:  使用 背光显示屏 和控制配置与集成触摸板。
  • 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制:配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程,设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。
  • 可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改STP条件 不需要再校准。
  • 阀门开合: 利用警报快速释放您的系统或停止所有流动所需。
标配功能(免费)
  • 标配流量累加器和批处理控制: 流量累加器 质量流每1M精确跟踪总流量随时间和使用批处理控制分配精确的体积。
购买时提出的要求|额外收费
  • 可选集成电位器控制: 使用 集成电位计 用简单的旋钮转动调整SET点。
设备定制选项
构建和性能选项
  • 通讯协议:Analog、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS, PROFINET
  • 显示器:背光单色或彩色; 集成或面板安装
  • 过程连接:压缩、VCR 或 VCO 接头
  • 接液材质:不锈钢;FKM、氧化铝陶瓷、黄铜、玻璃、黄金、热固化环氧树脂、热固化硅橡胶、聚酰胺、硅
  • 校准:高精度; 自定义校准点
阀门选项和PID调整

您的质量流控制器可以根据下列阀门选项之一进行定制,以确保在预期的流程条件下的更佳性能。

  • MV: 小型比例控制阀内部安装,加上位于下游的外部安装气动关闭阀

定制的PID阀门为您的工艺条件确保了卓越的性能.

可选配件
配件|分开销售
  • 加工端口配件和过滤器
  • 电源
  • 通信电缆和转换电缆
  • BB3和BB9多点集线盒

不是你要找的那个?

性能

  • 可用量程:0-20 slpm;0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

MCEMCV系列包装清单:

型号变体

  • 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
  • 阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
  • 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)

另有:

  • 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持更佳性能。

  • MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
  • MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体(MCESMCVS系列)

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCES和MCVS系列)可供选择。在该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,密封圈材料升级为FFKM。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件)
  • 密封圈材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
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MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体

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艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。

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艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量,适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。

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反应溅射气体流量控制

以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度,良好的分辨率保证了适当的原子释放,气动截止阀确保无流量时的正向切断。

 

我们艾里卡特简化真空镀膜,请即刻联系我们升级您老旧的热式质量流量控制器吧

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