质量流量计&质量流量控制器

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MC系列气体质量流量控制器

响应式气体流量控制,抑制压力波动

性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的MFC构建IP66等级防护。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)

包装清单

型号变体

  • 低压损型号,最多60 psia(MCW系列
  • 高压型号,160-320 psia(MCQ系列
  • 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列
  • 配备气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列
  • 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

  • MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
  • MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCS系列)

MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D

艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用最大孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体

MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D

MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D

艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体

MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体

MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
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MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D

艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。

MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D

艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。

MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR

气体喷射控制pH

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈,实时更改流量设定值,保持气体质量流量控制器最佳过程工艺条件。

 

自定义气体混合系统

艾里卡特的质量流量控制器非常适用于构建自定义气体混合系统;在这种类型应用中,可充分发挥气体质量流量控制器固有的灵活性和适应性。

 

高温质量流量控制

艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分,且不会使控制器电子器件超出其设计温度。

 

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