优化薄膜沉积装置,以达到最大吞吐量和薄膜质量

生产均匀涂料需要快速、精确的气体输送到真空涂层系统中.这在从人造金刚石生产到光电涂料的薄膜应用中至关重要。

Alicat有一系列定制解决方案,专门设计以升级现有的真空设置。

  • 没有热身时间。  在打开流量装置后,沉积循环可以立即开始。
  • 毫秒反应时间。 流量和压力控制器立即响应工艺条件的变化,最大化均匀性和最小化浪费。
  • 多气体兼容性。  一个单一的装置可以以高精度的方式流动沉积过程中所需的任何气体。
Alicat MCV gas mass flow controller for vacuum with integrated pneumatic shut-off valve

不随气体或工艺条件变化的全尺度流动

预先装上 98+ 气体校准。流量和压力装置 保持其所述流量范围和准确性规格 适用于标准工艺条件下的任何气体.

316L不锈钢和FFKM弹性体确保与腐蚀性气体和严酷元素的相容性。

您可以在场内切换气体,不需要停机或重新校准。

符合半标准的设计

多系列 和  McV系列 质量流控制器是用来替换遗留设备的.为了进一步确保易于集成,可提供各种数字和模拟仪器 通信协议 包括醚猫。

颜色、切割、清晰度和克拉:种植优质钻石

生产高质量的人造钻石需要精确控制氢和甲烷的流动以及腔内真空。
用化学气相沉积法生产人工种植的钻石

简化系统以降低成本和复杂性

设计一个新的喷溅系统?更换下游节流阀、真空表和使用单一上游控制模块的石化公司控制模块  压力控制器 集成电容膜片真空传感器。

Vacuum sputtering using Alicat MCV mass flow controllers
Alicat PC-Series single-valve pressure controller

直接由真空表控制的流量表

PC-EXTSEN压力控制器直接从真空表向Alicat压力控制器发送线性模拟信号。这样可以方便地进行系统升级,而不需要全面重新设计。

定制真空装置

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