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管线过滤器和滤芯

艾里卡特流量计和控制器要求气体保持干净且不含大于5-50微米的颗粒(这取决于仪表的流量量程)。我们管线内的烧结过滤器将防止大于上述规格的颗粒进入仪表测量头。

我们针对质量流量仪表提出以下最大颗粒尺寸建议:

  • 0-1 sccm或更小流量量程:最大5微米(5 μm)
  • 0-2 sccm与0-500 sccm之间流量量程:最大20微米(20 μm)
  • 0-1 slpm或更大流量流程:最大50微米(50 μm)

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

管线过滤器

我们的管线过滤器可被直接旋入质量流量计或质量流量控制器的进口螺纹工艺连接件内。我们根据质量流量仪表的端口大小和满量程提出过滤器使用建议。

滤芯在#10-32 UNF中不可以动:

  • #10-32 UNF,0-1 sccm或更小:510053(5微米)
  • #10-32 UNF,0-2 sccm至0-50 sccm:510054(20微米)

NPT工艺连接件用过滤器配有用户可接触的滤芯。这种滤芯可单独购买,方便替换。

  • 1/8″ NPT,0-100 sccm至0-20 slpm:ILF-1/8-20(20微米)
  • 1/4″ NPT,0-50 slpm至0-100 slpm: ILF-1/4-40(40微米)
  • 1/2″ NPT,0-250 slpm:ILF-1/2-40(40微米)
  • 3/4″ NPT,0-500 slpm至0-2000 slpm:ILF-3/4-40 (40微米)

烧结滤芯

这种烧结滤芯可替换我们ILF过滤器配备的滤芯。各滤芯替换件都应包含全新的O形垫圈。可用滤芯尺寸如下:

  • 1/8″ NPT(ILF-1/8-20):ILFE20(20微米)
  • 1/4″ NPT(ILF-1/4-40):ILFE40(40微米)
  • 1/2″ NPT(ILF-1/2-40):ILFE40L(40微米)
  • 3/4″ NPT(ILF-3/4-40):ILFE40L(40微米)

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