50毫秒内实现稳定控制

稳定的流量取决于控制器的响应速度与精度。艾里卡特质量流量控制器响应速度极快,实时探测并抑制管路压力波动以维持稳定的流量,有效地为用户节省时间及运营成本。
产品手册 规格参数 操作手册价格咨询


 

岂止于快

  • 50-100毫秒控制响应(消除上游压力波动造成的影响)
  • 允许用户自行调节PID以获得最完美的速度和稳定性
  • 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
  • 同一台设备可控制质量流量、体积流量或绝对压力
  • 瞬间启动、无需预热:1秒内即可开始流量控制
  • 专利层流压差技术
艾里卡特质量流量控制器气体编辑器界面

上图为选配背光彩色显示屏设备的气体编辑器界面


 

MC 标准质量流量控制器

艾里卡特MC标准质量流量控制器

全球控制响应最快、最稳定的质量流量控制器,可测量并控制低至2.5微升的流量,依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到最佳工作效果。
MC 规格参数


MCR 大流量质量流量控制器

艾里卡特MCR大流量质量流量控制器

快速、精确地控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特R系列阀门为全球独一无二、接近零摩擦的滚轴阀门,精密控制大流量气体,独特的孔板模式可根据不同的应用要求量身定制阀门滚轴。
MCR 规格参数


MCW/MCRW “Whisper” 低压损质量流量控制器

艾里卡特MCRW大流量低压损质量流量控制器

最大限度减小压损对系统的干扰,满量程压损最低仅为4mbar(0.06 psid)。艾里卡特Whisper低压损系列质量流量控制器可控制压力接近大气压的气体流量,是航空航天、环境气体分析等应用的完美选择,最大量程:0-500 slpm。
MCW 规格参数 点击这里访问低压损系列


MCS/MCRS 耐腐蚀质量流量控制器

艾里卡特MCS耐腐蚀质量流量控制器

采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体, “主要参数”栏目下方可查看设备预置腐蚀性气体列表,量程范围:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm。
MCS 规格参数


MCD/MCRD 双向质量流量控制器

MCD双向质量流量控制器

全球首创控制双向气体流量的质量流量控制器,量程范围:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm,另有”Whisper”低压损双向流量系列(MCDW)及耐腐蚀双向流量系列(MCDS)可选。

MCD 规格参数 MCD双向质量流量控制器


MCE 半导体行业专用质量流量控制器

艾里卡特MCE半导体行业专用质量流量控制器

MCE系列设计用于取代老化陈旧或性能不佳的热式流量控制器。设备结构、安装模式、功能等无任何差异,方便用户快速、简易地进行替换,并可定制引脚分配使之与用户端的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业国际标准,最大量程:0-20 slpm,另有316L不锈钢结构的耐腐蚀系列(MCES)可选。
MCE 产品手册 MCE 规格参数


MCV 真空应用质量流量控制器

艾里卡特MCV真空应用质量流量控制器

设计用于高真空应用的MCV系列是在上述MCE系列的基础上另增加一集成式气动截止阀,有效杜绝设定值为零时气体进入真空腔体,最大量程:0-20 slpm,另有316L不锈钢结构的耐腐蚀系列(MCVS)可选。
MCV 产品手册 MCV 规格参数


常用选配项

点击这里查看其它选配项。

LC/LCR 液体流量控制器

艾里卡特LC液体流量控制器

以最快的控制响应速度(100毫秒)控制液体流量,量程范围:0~5 ccm 至 0~5 lpm。

液体流量控制器


MC/MCR 规格参数MCW 规格参数MCS 规格参数MCE 规格参数MCV 规格参数MCD 规格参数

精度

  • 标准精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
  • 高精度 (选配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
  • 以上精度适用于所有预置气体及通过气体编辑器(COMPOSER™)生成的自定义气体

响应速度

  • 标准质量流量控制器响应时间常数: 50 毫秒
  • 大流量质量控制器响应时间常数: 100 毫秒 (MCR/MCRW/MCRS系列)

气体


量程范围

  • 满量程范围: 0-0.5 sccm 至 0-3000 slpm
  • 常规设备线性范围: 0.5-100% F.S, 量程可调比 200:1
  • 316L结构设备线性范围: 1-100% F.S, 量程可调比 100:1 (MCS, MCES, MCVS)

压力

  • 最大允许管路压力: 145 psig (标准) / 50 psig (低压损MCW/MCRW)
  • 常规设备满量程压损: 1-29 psi, 取决于流量范围
  • “Whisper” 低压损系列(MCW/MCRW)满量程压损: 0.06-0.69, 取决于流量范围

通讯方式

  • 标准通讯方式: RS-232数字通讯和0-5v模拟通讯
  • 选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模拟输出信号可选
  • 选配通讯协议: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
  • 通讯接口: 8针mini-DIN
  • 选配通讯接口: 9针或15针D-sub接口, 可定制引脚分配

屏幕显示

  • 动态显示设定值、质量流量、体积流量、绝对压力和温度等参数
  • 标准显示屏: 2.1″ 单色LCD数字式触摸显示屏
  • 选配显示屏: 2.1″ 背光彩色TFT数字式触摸显示屏

质保期

  • 有条件的终身质保
  • 对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感

气体选择(Gas Select™)功能5.0兼容气体列表 — 适用于所有艾里卡特质量流量计&质量流量控制器

所有艾里卡特设备已将完整的NIST Ref Prop 9 系列气体性能数据融入预置的130种兼容气体列表,供用户实时选择、校准。用户可在预置的气体列表范围内随时切换气体,并无需对设备进行再校准,所有预置气体的校准均具有设备应有的NIST可溯源校准精度。 (详见各项产品规格参数)

纯气
生物反应混合气
腐蚀性纯气
• 乙炔 (C2H2)
• 空气
• 氩气 (Ar)
• 异丁烷 (i-C4H10)
• 正丁烷 (n-C4H10)
• 二氧化碳 (CO2)
• 一氧化碳 (CO)
• 氘气 (D2)
• 乙烷 (C2H6)
• 乙烯 (C2H4)
• 氦气 (He)
• 氢气 (H2)
• 氪气 (Kr)
• 甲烷 (CH4)
• 氖气 (Ne)
• 氮气 (N2)
• 一氧化二氮 (N2O)
• 氧气 (O2)
• 丙烷 (C3H8)
• 六氟化硫 (SF6)
• 氙气 (Xe)
• 5% CH4 95% CO2
• 10% CH4 90% CO2
• 15% CH4 85% CO2
• 20% CH4 80% CO2
• 25% CH4 75% CO2
• 30% CH4 70% CO2
• 35% CH4 65% CO2
• 40% CH4 60% CO2
• 45% CH4 55% CO2
• 50% CH4 50% CO2
• 55% CH4 45% CO2
• 60% CH4 40% CO2
• 65% CH4 35% CO2
• 70% CH4 30% CO2
• 75% CH4 25% CO2
• 80% CH4 20% CO2
• 85% CH4 15% CO2
• 90% CH4 10% CO2
• 95% CH4 5% CO2
*须使用 MS/MCS系列设备
• 氨气 (NH3)
• 丁烯 (1-Butene)
• 顺丁烯 (cis-2-Butene)
• 异丁烯
• 反丁烯
• 硫化羰 (COS)
• 氯气 (Cl2) *仅限用于流量计
• 二甲基乙醚 (CH3OCH3)
• 硫化氢 (H2S)
• 三氟化氮 (NF3)
• 氧化一氮 (NO)
• 丙烯 (C3H6)
• 硅烷 (SiH4)
• 二氧化硫 (SO2) *仅限用于流量计
呼吸气体 燃烧混合气 制冷剂
• EAN-32 (32% O2+68% N2)
• EAN-36 (36% O2+64% N2)
• EAN-40 (40% O2+60% N2)
• EA-40 (40% O2+60% Air)
• EA-60 (60% O2+40% Air)
• EA-80 (80% O2+20% Air)
• Heliox-20 (20% O2+80% He)
• Heliox-21 (21% O2+79% He)
• Heliox-30 (30% O2+70% He)
• Heliox-40 (40% O2+60% He)
• Heliox-50 (50% O2+50% He)
• Heliox-60 (60% O2+40% He)
• Heliox-80 (80% O2+20% He)
• Heliox-99 (99% O2+1% He)
• Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar)
煤气 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4
吸热型气体 75% H2+25% N2
HHO 66.67% H2+33.33% O2
LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10
LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10
天然气 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2
天然气 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2
天然气 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2
合成气体 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4
合成气体 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4
合成气体 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4
合成气体 83% H2+14% CO+3% CH4
*须使用MS/MCS系列设备
• R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F)
• R-14 Tetrafluoromethane (CF4)
• R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2)
• R-23 Trifluoromethane (CHF3)
• R-32 Difluoromethane (CH2F2)
• R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5)
• R-116 Hexafluoroethane (C2F6)
• R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4)
• R-125 Pentafluoroethane (C2HF5)
• R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3)
• R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2)
• R-143A Trifluoroethane (C2H3F3)
• R-152A Difluoroethane (C2H4F2)
• RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8)
• R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A)
• R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A)
• R-410A (50% R-32+50% R-125)
• R-507A (50% R-125+50% R-143A)
色谱气体 氧浓缩器混合气
• P-5 (5% CH4+95% Ar)
• P-10 (10% CH4+90% Ar)
• 89% O2+7% N2+4% Ar
• 93% O2+3% N2+4% Ar
• 95% O2+1% N2+4% Ar
焊接气体 烟气 激光气体
• C-2 (2% CO2+98% Ar)
• C-8 (8% CO2+92% Ar)
• C-10 (10% CO2+90% Ar)
• C-15 (15% CO2+85% Ar)
• C-20 (20% CO2+80% Ar)
• C-25 (25% CO2+75% Ar)
• C-50 (50% CO2+50% Ar)
• C-75 (75% CO2+25% Ar)
• He-25 (25% He+75% Ar)
• He-50 (50% He+50% Ar)
• He-75 (75% He+25% Ar)
• He-90 (90% He+10% Ar)
• A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2)
• Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2)
• 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar
• 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar
• 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar
• 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar
• 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar
• 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar
• 4.5% CO2+13.5% N2+82% He
• 6% CO2+14% N2+80% He
• 7% CO2+14% N2+79% He
• 9% CO2+15% N2+76% He
• 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He
• 9% Ne+91% He

客户提问:艾里卡特质量流量控制器到底有多快?

稳定、精确的流量取决于快速的控制响应。艾里卡特控制响应速度为行业最高水平!以下视频为您演示了从零到满量程直至流量稳定的整个过程仅用了不到30毫秒的时间。

全球最快的流量控制器生产商

为什么艾里卡特称自己是全球最快的流量控制器生产商? 该视频即向您全方位展示了艾里卡特如何帮助您提高效率、节省时间。。。

艾里卡特量程可调比

艾里卡特质量流量计&质量流量控制器标准量程可调比为200:1。但仅仅如此吗?在下面视频中您可以看到,我们用一台满量程5slpm(即5000sccm)的质量流量控制器控制1sccm的流量,结果得到了5000:1惊人的量程可调比!

客户提问:如何快速精确地实现流体批量分配?

艾里卡特精密批量控制模式即在原先原先选配流量累计功能(TOT)的气体&液体质量流量控制器基础上增加了批量分配处理。以下视频即为您演示了流体批量分注过程是多么简单!

客户提问:什么是压损?

压损是指气体通过仪器管道时损失的压力。在下面的视频中,我们为您演示了压损在气体流动过程中的重要性以及艾里卡特Whisper低压损质量流量计&控制器如何将流量测量与控制过程中的压损降到最低。

客户提问:艾里卡特质量流量计到底有多坚固? (质量流量计抛落试验)

以下视频中,一台1SLPM便携式质量流量计从1米、2米、3米、4米直至5米高处被扔向水泥地,并于每次着地后用设定值同为1SLPM的质量流量控制器检验其精度。

客户提问:怎样控制两个方向的流量?

艾里卡特推出全球首款双向质量流量控制器: 双阀门MCD系列,可独立控制正反两个方向气体的质量流量、体积流量及压力,预置气体多达128种,量程可调比200:1,或用于控制密闭系统内的流量或压力且无需额外排气装置。MCD为全球通用性最强的流量控制器。

设备图片

艾里卡特MC质量流量控制器(选配背光彩色显示屏)

MC 质量流量控制器 (选配背光彩色显示屏)

 

艾里卡特MCR大流量质量流量控制器

MCR 大流量质量流量控制器

 

艾里卡特MCRW低压损大流量质量流量控制器

MCRW 低压损大流量质量流量控制器(上图为阀门后置)

 

艾里卡特MCS耐腐蚀质量流量控制器15针D-sub通讯接口

MCS 耐腐蚀质量流量控制器(上图为15针D-sub通讯接口)

 

艾里卡特MCE 半导体行业专用质量流量控制器9针D-sub通讯接口

MCE 半导体行业专用质量流量控制器 (上图为9针D-sub通讯接口)

 

艾里卡特MCV高真空应用专用质量流量控制器 后置气动截止阀

MCV 高真空应用专用质量流量控制器(后置气动截止阀)

 

艾里卡特MCD双向质量流量控制器  集成式电位计控制IPC

MCD 双向质量流量控制器(上图选配集成式电位计控制IPC)

包装清单

可选配附件

气体喷射控制pH值

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制流量以符合不断变化的应用需要,PLC或PC端实时反馈数字信号,允许用户对设定值进行即时修正以实现最佳过程控制。阅读全文

艾里卡特质量流量控制器用于气体喷射控制二氧化碳pH值

艾里卡特质量流量控制器用于气体喷射控制二氧化碳pH值

定制配气系统

艾里卡特质量流量控制器极其适合用来自创配气系统,设备本身固有的灵活性与适应性在此类应用中发挥着关键作用。
阅读全文

艾里卡特质量流量控制器用于定制化配气

艾里卡特质量流量控制器用于定制化配气


高温气体的质量流量控制

艾里卡特分离式电子部件(选配)将电子部件与传感器及质量流量控制器本体分离,从而保证了设备应用于高温气体的同时电子部件不受损。
阅读全文

艾里卡特分离式电子部件专用于进行高温气体的质量流量控制

采用艾里卡特分离式电子部件进行高温气体的质量流量控制

真空溅射

以50毫秒控制响应速度精确控制真空腔内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度,良好的分辨率保证了适当的原子释放,气动截止阀确保无流量时的正向切断。阅读全文

艾里卡特MCV质量流量控制器(配气动截止阀)用于真空溅射反应

MCV质量流量控制器(配气动截止阀)用于真空溅射反应


大气采样与分析

常见于气体分析应用中的低压损系列质量流量控制器在精密控制气体流量的同时降低了对气源压力的要求,艾里卡特Whisper低压损系列极其适用于大气采用与分析,大流量质量流量控制器采用无摩擦滚轴阀门对大流量进行稳定的控制。阅读全文

艾里卡特Whisper低压损质量流量控制器用于大气采用与分析

艾里卡特Whisper低压损质量流量控制器用于大气采用与分析

OEM气体分析仪校准

艾里卡特质量流量控制器无需启动预热、对振动不敏感、对安装方向无要求,从而成为了理想的CEMS及其它气体分析系统的现场校准仪。
阅读全文

艾里卡特质量流量控制器用于OEM气体分析仪校准

艾里卡特质量流量控制器用于OEM气体分析仪校准