设备的定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范围为满量程的 1% 到 100%。

• 有关所有设备范围的规格，请参阅 MCDS 系列设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读质量流量控制器操作手册。

每个设备都包含

• 多参数测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
• 气体可选性：从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体。
• Gas Select COMPOSER™：使用我们的 Gas Select Composer™ 固件，定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
• 带集成触摸板的单色背光 LCD：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。
• 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制：配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程，设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。
• 可调节的标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。
• 阀门开合：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

标配 | 免费

• 流量累加器和批次控制：每 1 毫秒汇总一次质量流量，以便随着时间的推移精确跟踪总流量，并使用批次控制来分配精确的体积。

购买时的要求 |另外费用

• 可选的集成电位器控制：使用集成电位器只需转动旋钮即可调整设定点。

构建和性能选项

• 通讯协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS
• 显示器：背光单色或彩色； 集成或面板安装
• 过程连接：NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, or VCO fittings
• 接液材质：Viton, FFKM, EPDM, Silicone
• 校准：高精度； 自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

• MCD：用于 20 SLPM 及以下流量范围的小型比例控制阀
• 带PCA的MCD：高性能比例控制阀，用于某些具有较高压力的应用
• MCPD: 小比例控制阀(不适用于腐蚀性配置)
• MCRD：用于 50 SLPM 及以上流量的几乎无摩擦的大型 Rolamite 比例阀

注意：某些气体（包括 SO2 和 Cl2）需要带有 PCA 名称的 MCD。

定制 PID 阀门调节可确保在您的特定过程条件下发挥卓越性能。

配件|| 分开售卖

• 工艺端口配件和过滤器
• 电源
• 通信电缆和转换电缆
• BB3 和 BB9 多点集线盒