MCD系列标准规格

• 量程: 0.5-3000SLPM
• 量程比: 0.01%至100%
• 精度:0.6%读数或+0.1%F.S. ,以两者中较大者为准
• 可选高精度: 0.5%读数或0.1% F.S. ,以较大者为准
• 重复性: ±(0.1% of reading + 0.02% of full scale)
• 响应时间: 快至30毫秒
• 预热时间: < 1s
• 工作温度: –10°C to +60°C
• 工作压力: 160 PSIA

规格表

• 0.5 SCCM full scale to 5 SCCM full scale ranges
• 10 SCCM full scale to 20 SLPM full scale ranges
• 50 SLPM to 3,000 SLPM full scale ranges

综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .

包括每个装置

• 多参数 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 可使用的测量单位: 改变压力、流量或温度的测量单位 工程单位名单 .
• 气体选择: 98+种内置气体，可现场自由切换而无需返厂校准。  气体清单 .
• Composer™: 定义20种自定义气体混合物,最多可使用5种成分气体 Composer ™ 进行气体混合。
• 背光显示屏:  使用 背光显示屏 和控制配置与集成触摸板。
• 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制：配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程，设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。
• 可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改STP条件 不需要再校准。
• 阀门开合: 利用警报快速释放您的系统或停止所有流动所需。

标配功能

• 标配流量累加器和批处理控制: 流量累加器 质量流每1M精确跟踪总流量随时间和使用批处理控制分配精确的体积。

购买时提出的要求|额外费用

• 可选集成电位器控制: 使用 集成电位计 用简单的旋钮转动调整SET点。

组成和构成选择

• 通信协议: Analog, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU or TCP/IP, PROFIBUS, PROFINET
• 显示 : 背光单色或彩色;集成或面板-安装
• 过程连接 : 不扩散条约、SAE、AN、BSPP/G、压缩、录像机或VCO配件
• 密封圈: 维顿、FFKM、EPDM、硅树脂
• 校准: 高精度;定制校准点

阀门选项和PID 调整

您的质量流控制器可以根据下列阀门选项之一进行定制,以确保在预期的工况下的更佳性能。

• MCD: 小比例控制阀,适用于流量范围20SLPM及以下
• MCD with PCA designation会: 高性能控制阀,用于一些高压应用
• MCPD: 小型比例控制阀(不适用于腐蚀性配置)
• MCRD: 几乎无摩擦的大型罗拉米特比例阀,流量在50SLPM及以上

定制的PID 阀门确保能符合您的工艺条件.

配饰|分开销售

• 加工端口配件和过滤器
• 电源
• 通信电缆和转换电缆
• BB3和BB9多点集线器