上游压力控制提高了真空镀膜应用的稳定性和速度

大多数传统的真空沉积工具使用下游压力控制来维持真空室中气体的压力。安装节流阀可能要花费数千美元。它还需要一个单独的控制模块来驱动阀门,提供PID数据和设置点功能。节流阀设置也可以造成延迟时,改变气体或在等待室中的气体解决。
在燃烧室上游放置一个控制仪表,使用快速作用的比例控制阀,可以提供更快的响应时间和更好的稳定性。上游的方法也不需要额外的阀门,切割设备的需要和设置成本。Alicat仪器提供了这种选择。

PCD系列双阀绝压和表压压力控制器

Alicat PC-EXTSEN-series pressure controller with external sensor connector

PCD系列双阀绝压和表压压力控制器

对于较大规模或OEM项目,Alicat PCD系列双阀绝压和表压压力控制器能够控制真空水平,而安装在上游的商会。本系列用于工艺压力处于高真空或超高真空状态,需要外接仪表的场合。PC-EXTSEN从传感器获取模拟信号,并使用比例阀提供闭环控制。

通过增加一个外部压力传感器,可以更精确地保持腔室压力,同时允许用户独立于真空沉积系统整体改变或调整使用的气体。这允许在涂层环境中更快地应用中性气体、改进控制和稳定的压力水平。

Alicat集成真空控制器(IVC)

PC系列绝压和表压压力控制器

对于没有现有真空计的小型实验和项目,PC系列绝压和表压压力控制器是解决方案。与PC-EXTSEN一样,它省去了传统节流阀压力控制方法的体积、复杂性和费用。IVC包括一个直接集成到设备中的真空传感器,使其能够直接控制真空室的压力。这些传感器能够在低范围内高精度工作,低至10毫托。IVC还包括直接来自设备的PID控制,以及一个气动隔离传感器——与市场上的其他解决方案相比,确保更高的精度——具有精确的燃烧室测量和气体独立性。
在真空镀膜应用中,将压力控制装置置于真空镀膜室的上游,可以节省时间、成本和提高真空镀膜工具的精度。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

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