高精度、实时、多参数测量

同时测量质量流量、体积流量、压力及温度,多至130种预置气体,或通过气体编辑器COMPOSER™自定义混合气…一台艾里卡特质量流量计集成了所有功能,无论过程系统怎样多变,都能确保测量过程的精确可靠。

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岂止于快

  • 内置COMPOSER气体编辑器允许用户自定义混合气体!
  • 5毫秒快速响应
  • 瞬间启动、无需预热
  • 独立工作:无需连接电脑或PLC
  • 屏幕显示多种测量参数:质量流量、体积流量、绝对压力和温度
  • 数字信号及模拟量信号输出

艾里卡特气体质量流量计


 

M 标准质量流量计

艾里卡特M质量流量计

艾里卡特M系列模拟/数字式质量流量计精度高、重复性高、可定制化,设计用于各类不同应用,量程范围为2.5微升 ~ 4000升每分钟,采用专利的层流压差技术,测量速度极快,线性范围0.5%~100%。
M 规格参数


MW 低压损质量流量计

艾里卡特Whisper低压损质量流量计

最大限度减小压损对系统的影响,满量程压损最低仅为4mbar(0.06 psid)。 艾里卡特Whisper低压损系列质量流量计可测量压力接近大气压的气体的流量,是航空航天、环境气体分析等应用的完美选择,最大量程:0-500 slpm。
MW 规格参数 点击这里访问低压损系列


MS 耐腐蚀质量流量计

艾里卡特MS耐腐蚀质量流量计

采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体, “主要参数”栏目下方可查看设备预置腐蚀性气体列表,量程范围:0~0.5 sccm 至 0~4000 slpm。
MS 规格参数


MB / PCU 便携式流量标定仪

艾里卡特便携式流量标定仪

内置可充电锂电池,允许用户随时随地进行实验室级别的流量标定!可定制”Whisper” 低压损系列(MWB) 及耐腐蚀系列(MBS)。艾里卡特便携式流量校准仪(PCU)在一靠电池供电的工业箱内集成了三个高精度、带有流量累加功能(TOT)的质量流量计,用于个量程段的流量校准。
MB 规格参数 PCU 规格参数 点击这里访问便携式系列


常用选配项

点击这里查看其它选配项。

L 液体流量计

艾里卡特L液体流量计

以最快的响应速度(20毫秒)测量液体流量;量程范围:0-10 lpm。

点击这里访问液体流量计


M 规格参数MW 规格参数MS 规格参数MB 规格参数

精度

  • 标准精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
  • 高精度 (选配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
  • 以上精度适用于所有预置气体及通过气体编辑器(COMPOSER™)生成的自定义气体

响应速度

  • 典型质量流量计响应时间常数: 5 毫秒 (超低流量下可能为10毫秒)

气体


量程范围

  • 满量程范围: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
  • 常规设备线性范围: 0.5-100% F.S, 量程可调比 200:1
  • 316L结构设备线性范围: 1-100% F.S, 量程可调比 100:1 (MS系列)

压力

  • 最大允许管路压力: 145 psig (标准) / 50 psig (MW低压损系列)
  • 常规设备满量程压损: 1-9 psi, 取决于流量范围
  • “Whisper” 低压损系列(MW)满量程压损: 0.06-0.69 psi, 取决于流量范围

通讯方式

  • 标准通讯方式: RS-232数字通讯和0-5v模拟通讯
  • 选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模拟输出信号可选
  • 选配通讯协议: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
  • 通讯接口: 8针mini-DIN
  • 选配通讯接口: 9针或15针D-sub接口, 可定制引脚分配

屏幕显示

  • 动态显示质量流量、体积流量、绝对压力和温度等过程参数
  • 标准显示屏: 2.1″ 单色LCD数字式触摸显示屏
  • 选配显示屏: 2.1″ 背光彩色TFT数字式触摸显示屏

质保期

  • 有条件的终身质保
  • 对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感

气体选择(Gas Select™)功能5.0兼容气体列表 — 适用于所有艾里卡特质量流量计&质量流量控制器

所有艾里卡特设备已将完整的NIST Ref Prop 9 系列气体性能数据融入预置的130种兼容气体列表,供用户实时选择、校准。用户可在预置的气体列表范围内随时切换气体,并无需对设备进行再校准,所有预置气体的校准均具有设备应有的NIST可溯源校准精度。 (详见各项产品规格参数)

纯气
生物反应混合气
腐蚀性纯气
• 乙炔 (C2H2)
• 空气
• 氩气 (Ar)
• 异丁烷 (i-C4H10)
• 正丁烷 (n-C4H10)
• 二氧化碳 (CO2)
• 一氧化碳 (CO)
• 氘气 (D2)
• 乙烷 (C2H6)
• 乙烯 (C2H4)
• 氦气 (He)
• 氢气 (H2)
• 氪气 (Kr)
• 甲烷 (CH4)
• 氖气 (Ne)
• 氮气 (N2)
• 一氧化二氮 (N2O)
• 氧气 (O2)
• 丙烷 (C3H8)
• 六氟化硫 (SF6)
• 氙气 (Xe)
• 5% CH4 95% CO2
• 10% CH4 90% CO2
• 15% CH4 85% CO2
• 20% CH4 80% CO2
• 25% CH4 75% CO2
• 30% CH4 70% CO2
• 35% CH4 65% CO2
• 40% CH4 60% CO2
• 45% CH4 55% CO2
• 50% CH4 50% CO2
• 55% CH4 45% CO2
• 60% CH4 40% CO2
• 65% CH4 35% CO2
• 70% CH4 30% CO2
• 75% CH4 25% CO2
• 80% CH4 20% CO2
• 85% CH4 15% CO2
• 90% CH4 10% CO2
• 95% CH4 5% CO2
*须使用 MS/MCS系列设备
• 氨气 (NH3)
• 丁烯 (1-Butene)
• 顺丁烯 (cis-2-Butene)
• 异丁烯
• 反丁烯
• 硫化羰 (COS)
• 氯气 (Cl2) *仅限用于流量计
• 二甲基乙醚 (CH3OCH3)
• 硫化氢 (H2S)
• 三氟化氮 (NF3)
• 氧化一氮 (NO)
• 丙烯 (C3H6)
• 硅烷 (SiH4)
• 二氧化硫 (SO2) *仅限用于流量计
呼吸气体 燃烧混合气 制冷剂
• EAN-32 (32% O2+68% N2)
• EAN-36 (36% O2+64% N2)
• EAN-40 (40% O2+60% N2)
• EA-40 (40% O2+60% Air)
• EA-60 (60% O2+40% Air)
• EA-80 (80% O2+20% Air)
• Heliox-20 (20% O2+80% He)
• Heliox-21 (21% O2+79% He)
• Heliox-30 (30% O2+70% He)
• Heliox-40 (40% O2+60% He)
• Heliox-50 (50% O2+50% He)
• Heliox-60 (60% O2+40% He)
• Heliox-80 (80% O2+20% He)
• Heliox-99 (99% O2+1% He)
• Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar)
煤气 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4
吸热型气体 75% H2+25% N2
HHO 66.67% H2+33.33% O2
LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10
LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10
天然气 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2
天然气 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2
天然气 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2
合成气体 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4
合成气体 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4
合成气体 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4
合成气体 83% H2+14% CO+3% CH4
*须使用MS/MCS系列设备
• R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F)
• R-14 Tetrafluoromethane (CF4)
• R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2)
• R-23 Trifluoromethane (CHF3)
• R-32 Difluoromethane (CH2F2)
• R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5)
• R-116 Hexafluoroethane (C2F6)
• R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4)
• R-125 Pentafluoroethane (C2HF5)
• R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3)
• R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2)
• R-143A Trifluoroethane (C2H3F3)
• R-152A Difluoroethane (C2H4F2)
• RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8)
• R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A)
• R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A)
• R-410A (50% R-32+50% R-125)
• R-507A (50% R-125+50% R-143A)
色谱气体 氧浓缩器混合气
• P-5 (5% CH4+95% Ar)
• P-10 (10% CH4+90% Ar)
• 89% O2+7% N2+4% Ar
• 93% O2+3% N2+4% Ar
• 95% O2+1% N2+4% Ar
焊接气体 烟气 激光气体
• C-2 (2% CO2+98% Ar)
• C-8 (8% CO2+92% Ar)
• C-10 (10% CO2+90% Ar)
• C-15 (15% CO2+85% Ar)
• C-20 (20% CO2+80% Ar)
• C-25 (25% CO2+75% Ar)
• C-50 (50% CO2+50% Ar)
• C-75 (75% CO2+25% Ar)
• He-25 (25% He+75% Ar)
• He-50 (50% He+50% Ar)
• He-75 (75% He+25% Ar)
• He-90 (90% He+10% Ar)
• A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2)
• Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2)
• 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar
• 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar
• 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar
• 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar
• 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar
• 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar
• 4.5% CO2+13.5% N2+82% He
• 6% CO2+14% N2+80% He
• 7% CO2+14% N2+79% He
• 9% CO2+15% N2+76% He
• 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He
• 9% Ne+91% He

艾里卡特量程可调比

在下面视频中,您将看到艾里卡特不可思议的5000:1量程可调比!一台满量程5slpm(即5000sccm)的质量流量控制器控制1sccm的流量!

客户提问: 什么是压损?

压损是指气体通过仪器管道时损失的压力。在下面的视频中,我们为您演示了压损在气体流动过程中的重要性以及艾里卡特Whisper低压损质量流量计、质量流量控制器如何将流量测量与控制过程中的压损降到最低。

客户提问:艾里卡特质量流量计到底有多坚固? (质量流量计抛落试验)

下面视频中,一台1SLPM便携式质量流量计从1米、2米、3米、4米直至5米高处被扔向水泥地,并于每次着地后用设定值同为1SLPM的质量流量控制器检验其精度。

设备图片

气体质量流量计

M 质量流量计

MW低压损质量流量计 上图选配背光彩色显示屏

MW 低压损质量流量计(上图选配背光彩色显示屏)

Whisper低压损质量流量计

MW 大流量低压损质量流量计(上图选配背光彩色显示屏)

艾里卡特M大流量质量流量计 4000 slpm

M 大流量质量流量计(4000 slpm)

包装清单

可选配附件

过滤器性能测试

采用压力控制器将通过过滤器的气体维持在一压差下,用以绘制过滤器的流量与压损曲线图,质量流量计显示的流量读数即为克服压损所需要的流量。
阅读全文

压差压力控制器和质量流量计用于过滤器性能测试

由艾里卡特差压压力控制器与质量流量计组成的过滤器性能测试装置

快速泄漏测试

采用艾里卡特质量流量计和带有远程压力传感端的PC3系列压力控制器,将泄漏测试系统控制在一稳定的压力下,从而精确测量目标设备的压力。该方法消除了质量流量计本体压损对泄漏率测试产生的影响,泄漏测试响应仅需5毫秒。阅读全文

质量流量计与远程压力控制器用于快速泄漏测试

由质量流量计与PC3远程压力控制器组成的泄漏测试装置