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M系列气体质量流量计

M系列气体质量流量计 可同时测量98种以上气体的质量流量、体积流量、气体压力和气体温度,量程比0.01%到100%。
规格、特性和自定义选项

标准规格

  • 满量程范围:所有气体0.5 SCCM至5,000 SLPM(氢气10,000 SLPM)
  • 测量范围:满量程的0.01% – 100%
  • 精度:读数的±0.6%或满量程的±0.1%,以较高者为准
  • 可选高精度:读数±0.5%或满量程±0.1%,以较大者为准
  • 重复性:读数的0.1%和满量程的0.02%
  • 响应时间:< 10ms
  • 工作温度:-10℃~ +60℃
  • 满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)

规格表

特点及附件
  • 同时测量体积流量,质量流量,气体压力,气体温度。
  • 现场可调的工程单位和STP/NTP条件。
  • 可从98+预加载NIST可追溯气体校准选择过程气体。
  • 定义和存储多达5种成分气体的20种定制气体混合物。
  • 使用集成触摸板从背光显示和控制配置中读取测量值。
  • 可选集成流量累加器和报警器。

探索设备特性

配件

电源,电缆和配件单独出售

构成和性能选项
  • 通信: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
  • 过程连接 :NPT, SAE, AN, BSPP/G,压缩,VCR, VCO
  • 显示屏 : 背光单色或彩色;集成或面板;无
  • 密封圈: F-KM、F-KM、EPDM、硅树脂
  • 校准: 标准或高精度;定制校准点

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