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气体流量控制器

用于控制气体流量

连续爆炸性气体环境中的高压质量流量控制

ISMCQ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
量程：10 SCCM – 2 SLPM
工作压力：11.5 – 320 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
请参阅下面的证书

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10 SCCM – 2 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

连续爆炸性气体环境中的超低压降质量流量控制

ISMCW Whisper™ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
量程：0.5 SCCM – 50 SLPM
工作压力：60 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
最小压降：0.7 PSID

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0.5 SCCM – 50 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

耐腐蚀流量控制器

MCS 系列

预装多达 130 种腐蚀性和非腐蚀性气体校准
量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
控制范围：满量程的 1 – 100%
控制响应速度：最快 30 ms

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0.5 SCCM – 12,000 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制

ISMCS 系列

预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
精度：高达 ±读数的 0.4% 加上 ± 满量程的 0.2%

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0.5 SCCM – 250 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

用于连续爆炸性气体环境中的气体流量控制

ISMC 系列

预装 98 种气体校准
量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准

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0.5 SCCM – 250 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

用于低压降的气体控制

MCW 系列

量程：0.5 SCCM – 1,000 SLPM （可选）
最大工作压力：60 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
有效控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 的量程比）
控制响应速度：30 ms

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10 SCCM – 100 SLPM

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250 – 1000 SLPM

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Whisper 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

在较高压力下控制气体流量

MCQ 系列

量程：10 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 320 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
有效控制范围：满量程的0.5% – 100%（200：1 的量程比）
控制响应速度：100 ms

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10 SCCM – 20 SLPM

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50 – 12,000 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

Alicat的旗舰控制器

常规MC系列

量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM（可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
控制范围：0.01% – 100% 满量程（量程比为10,000：1 ）
控制响应速度：最快 30 ms

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10 SCCM – 20 SLPM

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50 – 12,000 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

紧凑型质量流量控制器

热式BASIS系列

MEMS热式质量流量控制器
9 种气体
量程：100 SCCM – 100 SLPM
工作压力： 0 – 145 PSIG
精度：可达读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
集成比例控制阀
控制响应速度：高达 100 毫秒
方便的LED显示状态
轻松自动化

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100 SCCM – 100 SLPM

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操作手册 BASIS 2

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操作手册 BASIS

使用多个设备节省空间

BASIS系列紧凑型集成阀组

MEMS热式质量流量控制器
9 种气体
量程：100 SCCM – 100 SLPM
工作压力： 0 – 145 PSIG
精度：可达读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
集成比例控制阀
控制响应速度：高达 100 毫秒
方便的 LED显示状态
根据您的工艺流程定制
轻松连接到 PC 或 PLC

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100 SCCM – 100 SLPM

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操作手册 BASIS 2

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操作手册 BASIS

应用

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支持

ISMCQ 系列

ISMCW Whisper™ 系列

MCS 系列

ISMCS 系列

ISMC 系列

MCW 系列

MCQ 系列

常规MC系列

热式BASIS系列

BASIS系列紧凑型集成阀组

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