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气体流量控制器

用于控制气体流量

适用于任何数字泵

CODA KF 系列

您自选和自备泵
测量质量流量、密度和温度
自定义测距
量程：40g/h至300kg/h
有效控制范围：满量程的5% – 100%
控制响应时间：< 200 ms ，取决于泵的规格

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40 g/h – 300 kg/h

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CODA 泵和控制器手册

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一体化系统，非常适合加样

CODA KG 系列

我们提供泵
测量质量流量、密度和温度
自定义测距
量程：1 – 100 kg/h
有效控制范围：满量程的2% – 100%
控制响应时间：< 1500 ms
包括旁通阀，以帮助调节过剩的供应

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CODA 泵和控制器手册

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用于精确的液体质量流量控制

CODA KC 系列

科里奥利测量技术
量程：40 g/h – 300 kg/h
最大耐压： 4,000 PSIA
具有耐腐蚀特性
精度：高达±读数的 0.2% 或 ± 满量程的 0.05%，以较大者为准
与水、纯液体和浆液兼容
最大粘度： 200 cP

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40 g/h – 300 kg/h

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操作手册（最新）

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操作手册（2021）

耐腐蚀真空质量流量控制器

MCVS 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 1% – 100%
精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
重复性：满量程的± 0.2%

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0.5 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制

MCES 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
128+ 预装气体（校准可选）
重复性：±满量程的 0.2%
工作温度：−10°C 至 +60°C

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0.5 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

在真空压力下控制气体，采用 SEMI 标准外形尺寸

SFF 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
98 种预装的可选气体校准
工作温度： −10°C 至 +60°C
机械加工配件，减少密封面
替代 MCE 系列控制器

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10 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

真空质量流量控制器

MCV 系列

量程：0.5 SCCM – 20 SLPM （可选）
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
98 种预装的可选气体校准
集成气动阀
气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
重复性优于 ± (0.1% 读数 + 0.02% 满量程)

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10 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

在两种气流之间切换

MCT 系列

98 种气体
量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
可参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列的产品规格，性能相同。但由于增加了阀门，尺寸会发生变化。

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

用于双向流动应用

MCDW 系列

量程：0.5 SCCM – 500 SLPM （可选）
最大工作压力：60 PSIA
精度：高达 ± 总量程的 0.4%（从正满量程到负满量程）
控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 的量程比）
控制响应时间：100 ms
控制密闭腔体中的压力，测量流速，可用于泄漏检测

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0.5 SCCM 至 500 SLPM

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Whisper 系列手册

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操作手册 9v 固件（2021）

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双向控制流量

MCD 系列

量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
可以参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列产品的参考规格。性能相同，但增加阀门后尺寸会变化。

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MC 系列手册

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应用

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支持

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CODA KG 系列

CODA KC 系列

MCVS 系列

MCES 系列

SFF 系列

MCV 系列

MCT 系列

MCDW 系列

MCD 系列

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