质量流量计&质量流量控制器

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MCT系列换流型气体质量流量控制器

利用成比例流量控制功能完成换流

多向气体质量流量控制器中,MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。

  • 多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCT系列)或130种(MCTS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

包装清单

型号变体

  • 切换阀位于上游的型号(MCT)
  • 切换阀位于下游的型号(加法器码中带DS的MCT)
  • 切换阀位于上游和下游的型号(MCT4)
  • 腐蚀性气体专用型号(MCTS系列,见下文)

阀门选项

您可为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持最佳性能。

  • MCT系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCPT系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCRT系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCTS系列)

MCT标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCTS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

艾里卡特MCT系列换流型气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体

MCT-0.5SCCM-D
MCT-1SCCM-D
MCT-2SCCM-D
MCT-5SCCM-D
MCT-10SCCM-D
MCT-20SCCM-D
MCT-50SCCM-D
MCT-100SCCM-D
MCT-200SCCM-D
MCT-500SCCM-D
MCT-1SLPM-D
MCT-2SLPM-D
MCT-5SLPM-D
MCT-10SLPM-D
MCT-20SLPM-D

艾里卡特MCTS系列换流型气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体

MCTS-0.5SCCM-D
MCTS-1SCCM-D
MCTS-2SCCM-D
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MCTS-10SCCM-D
MCTS-20SCCM-D
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MCTS-100SCCM-D
MCTS-200SCCM-D
MCTS-500SCCM-D
MCTS-1SLPM-D
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装瓶过程持续运行

MCT系列换流型气体质量流量控制器上游配置型号可用于持续运行气瓶送气过程系统。瓶压低于规定阈值时,只需将输入切换至另一流线及其装满的气瓶。当该气瓶为过程系统送气时,您可将第一条流线上的空气瓶替换为另一个装满的气瓶。

分析仪多气源校准

通过在进口处换流,实现对用于测量大气污染物浓度的气体分析仪的校准。三个已校准的独立气瓶和温室气体混合物由MCT系列换流型气体质量流量控制器的三个进气阀控制。出口侧的另一个比例阀用于控制各流线流量(分析仪有需要时)。

 

单个气源为多个分析过程系统送气

MCT系列换流型气体质量流量控制器下游配置型号可用于从单个气源处为两个完全独立的分析过程系统送气。您可对大气进行采样,轮流将其送至两个独立的分析仪。或者,您可从同一个氮气瓶为两个独立的过程系统(各系统均配有完全成比例的流量控制器)送气。

 

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