使用 Alicat 质量流量控制器控制压力
闭环压力是指使用基于压力而不是质量流量的反馈回路。质量流量控制器( MFC) 通常会测量质量流量并调节阀门以将质量流量增加或减少至设定值。
当控制压力时，阀门将根据压力测量进行调整。例如，想象一下，您正在控制 Alicat 下游的压力并希望达到 100 PSIA。如果压力为 80 PSIA，MFC 将进一步打开阀门，直到压力达到设定值。
这对于您想要同时控制压力和测量流量的应用非常有用。一些示例包括泄漏测试和流量/质量检查，您必须保持特定的流量与压力曲线。
观看下面的视频，聆听应用工程师 Alyssa Jenkins 详细介绍压力控制回路功能。
应用：使用 Alicat MFC 校准转子流量计
转子流量计测量体积流量，通常以标准升每分钟 (SLPM) 或标准立方厘米每分钟 (SCCM) 为单位。虽然这些单位表明输出是质量流量，但这实际上仅在转子流量计调整的压力下才是正确的。
相比之下，艾里卡特 MFC 具有压力传感器，可在压力变化时调整读数，并在任何温度或压力下提供准确的质量流量。与压力控制回路相结合，Alicat MFC 可用于转子流量计校准。
基本步骤如下：
- 连接转子流量计下游的 Alicat 设备。
- 设置压力设定点以匹配转子流量计调谐时的压力。
- 将 Alicat 设备上的流量读数与转子流量计上的读数进行比较。
- 调整转子流量计以匹配 Alicat 上的质量流量读数。