Alicat质量流量控制器为MDC的XpressStick气体输送模块供电

气体连接模块得益于Alicat的MCE的高精度流量控制

Alicat Scientific的MCE系列真空气体质量流量控制器已经集成到MDC真空产品的XpressStick™MFC气体棒中。Alicat的MCE系列真空气体质量流量控制器可以精确控制高达20SLPM的气体流量和板载显示,为气体连接模块提供气体编程功能,将压力气体输入连接到真空室。
Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。通过20到50毫秒的控制响应时间来改变设定值,MCE系列真空气体质量流量控制器改善了真空镀膜终端产品,并有助于消除目标中毒。

XpressStick MFC气体棒的一体化设计消除了复杂的硬件规格,包括特殊气体、压力、精确调节和真空的组合。其简单的编程和精确的气体控制系统,让用户从瓶到处理在一个简单的步骤。专为满足超高纯度的工艺要求,XpressStick也提供用于腐蚀性环境的不锈钢模型。
随着MCE系列真空气体质量流量控制器的零预热时间,XpressStick可以在一秒钟内控制工艺流程,实时质量流、体积流、绝对压力和温度数据,完全补偿温度和压力。气体模块直接通过MCE的集成显示进行编程,使用车载气体校准可以轻松地更改气体类型。
“在为我们的XpressStick选择MFC仪器时,快速响应时间、准确性和可靠性都是关键的标准,”MDC负责工程和技术的副总裁James Moore解释说。“根据Alicat过去的经验,我们知道他们可以提供这三种产品,集成的显示器使我们的一体化设计成为可能。”
Alicat质量流量控制器、压力控制器和真空控制器在世界各地的真空镀膜系统中得到广泛应用。

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