设备的定制范围从 0.5 SCCM 满量程到 20 SLPM 满量程，可控范围为满量程的 1% 到 100%。

• 有关所有 MCVS 系列设备的规格，请参阅 MCVS 系列设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读质量流量控制器操作手册。

每个设备都包含

• 多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
• 气体可选性：从我们气体列表中的 130 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体。
• Gas Select COMPOSER™：使用我们的 Gas Select Composer™ 固件，定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
• 带集成触摸板的单色背光 LCD：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。
• 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡率允许根据需要控制过程变量的快或慢，可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点更改。
• 用户可调节的标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。
• 阀门关闭和打开：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

购买时的要求 | 免费

• 可选的集成累加器和批次控制：每 1 毫秒汇总一次质量流量，以便随着时间的推移精确跟踪总流量，并使用批次控制来分配精确的体积。

购买时的要求 | 附加费用

• 可选的集成电位器控制：使用集成电位器只需转动旋钮即可调整设定值。

构建和性能选项

• Communication protocols: Analog, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU or TCP/IP, PROFIBUS
• Displays: Backlit monochrome or color; integrated or panel–mount
• Process connections: Compression, VCR, or VCO fittings
• Wetted materials: 303, 316L, and 430FR stainless steel; FFKM
• Calibration: High-accuracy; custom calibration points

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

• MCV：安装在内部的小型比例控制阀，外加一个位于下游的外部安装气动截止阀

定制 PID 阀门调节可确保在您的特定过程条件下发挥最大性能。

配件|| 分开售卖

• 工艺端口配件和过滤器
• 电源
• 通信电缆和转换电缆
• BB3 和 BB9 多点分线盒