压力控制器&压力传感器

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Conductor系列集成真空压力控制器

Conductor系列真空压力控制器旨在快速控制抽真空过程的压力, 支持内置真空传感器或外接真空计,具有较宽的真空压力测量/控制范围(0.01 Torr至1000Torr)。

Conductor系列控制器集成了多种电容膜片真空计(CDG)用于测量系统的绝对压力。通过调节被抽出真空系统的气流量与进入系统的气流量达到平衡,从而调节系统真空度。

上游控制的计算示例:

真空泵的抽速:每秒2升

维持腔体压力:10 TorrA

所需流量:实际压力÷标况压力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

使用Alicat艾里卡特真空控制器在单独气体供应装置的上游进行压力控制时,您无需扩大流量,只需使用较小的控制阀,即可提高控制性能并减少泄漏。

 

即使面对快速变化的过程工况(例如流量或温度的波动),Alicat 艾里卡特Conductor系列真空压力控制器也能迅速控制并保持压力稳定在设定值。Alicat应用工程师将协助您选择合适的阀门和传感器,以确保您的控制器能够快速稳定的运行。

快速响应。快速响应的阀门和特殊的PID控制算法构成了1毫秒的控制回路。 控制精准。精度可溯源至NIST。

通讯连接。 通过以下方式轻松与您的工业网络协议集成::

Alicat艾里卡特独特的多点RS-232串口通讯

RS-485串口

Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)

Modbus TCP/IP

DeviceNet

 – EtherCAT

 – EtherNet/IP

Profibus

背压控制。后置阀选项可以让你的Conductor控制器控制过程腔体和真空泵之间的流量。将控制器安装在过程腔体和真空泵之间,用于限制真空泵的抽气流量,从而控制腔体的压力上升或下降或维持稳定。如果你无法在系统上游安装压力控制器,但又想精确控制系统压力,就可以使用后置阀门的背压控制器。

 

概况

压力量程(有关库存范围,请参见“零件编号”标签)

绝压量程(以高真空为基准)

10、100和1000 TorrA单传感器模块

1000&10 TorrA双传感器模块

 

性能

工作范围(量程比)≅1000:1

常规精度校准,可溯源NIST:+/- 0.5%满量程(零点漂移可通过真空去皮调整)

典型控制响应时间:≥50ms(可调)

传感器响应时间:2毫秒

显示响应时间:<10毫秒

传感器预热时间:完全的预热时间-2小时

 

适用于大部分用途的-15分钟

运行条件Operating Conditions

气体兼容性:与多种气体兼容,包括大部分具有腐蚀性的气体。

关于腐蚀性气体可参阅Alicat气体清单,查看接液材料的兼容性。此真空压力控制器不适用于液态水。

接液材料:302、303、304和430FR不锈钢,黄铜,FKM和FFKM,氧化铝,可选316L不锈钢主体。

工作温度:+10至+ 50°C

传感器损坏压力:6 kTorrG(116 PSIG)

 

包装清单In the Box

压力控制器(电源另售)

NIST可追溯校准证书

Alicat操作手册

 

定制型号

背压配置(带后置阀)

外接压力传感器配置(PC-EXTSEN)

独立压力感应端口(PC3)

双阀配置,用于密闭腔体(仅适用于小体积)

监测质量流量同时控制真空压力(MC3)

 

外部压力传感器配置(PC-EXTSEN)

如果我们内置的CDG真空传感器无法满足你的量程或性能的需求,并且想使用你自己的真空传感器,那么PC-EXTSEN压力控制器将是您的最佳选择。使用此配置,您可以通过专用的工业传感器连接头(ISC)将外部高真空传感器连接到Conductor控制器。此配置尤为适用于真空镀膜应用。

 

阀门选件

控制阀

Alicat Conductor系列标准真空控制器集成了PCA系列阀门,这些高性能控制阀具有极低的泄漏率和良好的耐腐蚀性。这些阀门具有各种不同的孔径规格,可适用于从每分钟几微升到每分钟几十升的流量范围。

后置阀门控制器通常配备Alicat独家Rolamite阀门,这些高性能阀门流量可达每分钟5,000升。

请与Alicat 中国代表处联系以获得应用帮助和阀门选​​件报价。

 

腐蚀性气体

Conductor系列控制器适用于腐蚀性气体,有些腐蚀性气体在整个过程中都需要316L不锈钢,在这种情况下,我们可以将流体升级到316L,以达到20 slpm或更小的全量程流量范围。Alicat压力控制器上的标配阀均由316L不锈钢制成,并使用FFKM作为弹性体。

后置Rolamite阀门可兼容大多数(但不是全部)腐蚀性气体。

请与Alicat艾里卡特中国代表处联系,为您特殊应用提供专业方案。

 

Build Options组成部件

通讯协议:Communications protocols:

Alicat的独家Multi-Drop RS-232序列

RS-485串行

Modbus RTU(通过RS-232或RS-485)

Modbus TCP / IP

设备网

以太网猫

 – 以太网/ IP

    Profibus

显示

 – 背光单色LCD带集成键盘

 – 带集成键盘的彩色TFT显示屏

可以为远程面板安装设置两种配置

工艺连接

 – Compression

SAE

世伟洛克®(包括管,VCO®和VCR®)

电气接头:

 – 6针锁紧型工业接头

标准8针mini-DIN接头

8针螺纹型M12接头

 – 9针引脚

 – 15针引脚

 

内置压力传感器

PC-10TORRA-D-PCAxx

PC-100TORRA-D-PCAxx

PC-1000TORRA-D-PCAxx

PC-1000.10TORRA-D-PCAxx

独立压力传感端口

PC3-10TORRA-D-PCAxx

PC3-100TORRA-D-PCAxx

PC3-1000TORRA-D-PCAxx

PC3-1000.10TORRA-D-PCAxx

 

薄膜沉积和合成金刚石制造(PC3)中的真空控制

在腔室内保持准确而稳定的真空度,以确保有效且可重复的气相化学沉积过程。

 

在真空条件下使用氦气进行晶圆抛光应用(PCPC3)

现代晶圆冷却工艺流程离不开精确的温度控制,真空下氦气因特有性质已实际应用在许多晶圆处理程序步骤中.

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