气体传感器特性和校准的质量流量控制

这篇“Alicats in the Wild”的文章是由Alicat在英国的分销商Premier Control Technologies提供的。

Cambridge CMOS Sensors剑桥CMOS传感器是传感器技术的行业领导者。他们的专利CMOS MEMS气体传感器使用微热板技术,为监测空气质量和有害气体提供更低的功耗和更快的响应时间。需要一个测试平台来表征和校准传感器,在此期间,将一氧化碳、乙醇或挥发性有机化合物(VOCs)与每个传感器一起泵入测试室。

Cambridge CMOS Sensors testing and characterization assembly

剑桥CMOS传感器测试和表征组装

因为他们自己的传感器速度很快,剑桥CMOS传感器需要一个质量流量控制系统,它也能快速响应,在测试室内产生不同的气体浓度。每次测试都需要不同浓度的气体,流速从0.1 ml/min到500 ml/min不等。为了收集瞬态数据并对测试室进行泄漏测试,快速流动稳定化也是必要的。

Alicat mass flow control system in situ at Cambridge CMOS Sensors

剑桥CMOS传感器的Alicat质量流量控制系统

一流的控制技术对这些要求作出了反应,灵活的Alicat质量流量控制系统。设置点变化的50毫秒阀门响应时间确保测试气体浓度快速达到并在每次测试期间保持稳定。Alicat的机载多重气体校准和宽200:1的下降比显著降低了设置传感器测试平台的设备成本。每个0.1-500 ml/min的流量范围可以由两个Alicat质量流量控制器(500-ml/min和10-ml/min模型)覆盖,通过局部管道连接,可以选择高流量或低流量。

Alicat mass flow control system, showing (front to back) the BB9 distribution box, 3 standard mass flow controllers, 2 anti-corrosive controllers and an anti-corrosive mass flow meter

Alicat质量流量控制系统,显示(从前到后)BB9配电箱,3个标准质量流量控制器,2个防腐控制器和1个防腐质量流量计

选择了两对质量流量控制器:一组用于一氧化碳和乙醇,另一组用于挥发性有机化合物,其结构为耐腐蚀的316L这四个控制器与第五个控制器配对,用于稀释到清洁空气中,以及一个用于从测试室监控泄漏率的防腐质量流量计。这六种仪器都采用了Alicat的气体选择系统,该系统可以提供30多种气体和气体混合物的气体特性数据。这使得该设备具有“抗未来性”,并能适应新气体的额外测试。

所有6个仪器都通过Alicat的BB9-USB配电箱接收电力和通信,该配电箱可以通过一个USB连接和电源将9个质量流量或压力仪器连接到计算机上。剑桥CMOS传感器能够使用touchpad接口在本地操作控制器,这意味着它们能够完成初步测试,而不必通过计算机对单元进行编程。现在他们的自动化测试平台已经就位,他们可以使用他们的专有软件控制系统通过多点RS-232控制所有的单元。

艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器解决方案。

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