改进的质量流量计和控制器的精度规范

Alicat的最新质量流量计和质量流量控制器拥有前所未有的流量精度新水平。通过改进的温度和压力补偿,我们的流量测量更能抵抗温度和压力变化带来的影响。电路板全部重新设计,增加了信噪比,并大大提高了原始传感器数据采样的分辨率。这些改进使得本就非常出色的Alicat质量流量仪表成为市场上最精确的差压流量测量系统之一。

Alicat设备现在比以往任何时候都更加精确

Alicat质量流量仪表的校准精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.,两者以较大者为准(高精度校准精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)

而我们老版本的流量仪表,标准校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.),高精度校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。

量程比和分辨率规格从200:1和4位总数字提高到10000:1和5位总数字,并进行了补偿改进,使流量分辨率规格提高了10倍。

图一 Alicat 新老版本精度对比

用一个Alicat流量设备替换多个不同量程热式MFC

我们的可用量程范围明显高于竞争对手;由于量程范围限制,在其他热式流量计/控制器的系统中可能需要两台MFC,但Alicat只用一台就可以覆盖全量程。例如,如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之间的氧气流量,一个Alicat MFC可以在整个范围内提供精确的、可重复的控制。大多数基于热式的MFC则需要两个或多个MFC才能完成相同的任务。我们能为客户实现:

  • 降低总的硬件成本
  • 降低运营成本
  • 减少备件和库存资金
  • 不再基于单一气体测量,内置98+预置气体,无需额外校准,减少备件需要
  • 简化设置
  • 方便随时更换

精度的提高意味着工艺的改进:

  • 气体混合更精确,减少气体浪费
  • 研发实验中的测量更精确,在扩大生产规模时做出更好的生产决策
  • 更高的精度可以为其他流量设备的校准提供更高的标准

分辨率的提高意味着更精细的控制:

  • 生物反应器,制药,激光等敏感应用可以依赖Alicat来实现精细控制。

精度计算示例:

要使用新规范计算Alicat仪表的精度,您需要了解流量仪表的量程及其读数。

假设一个标准校准的M系列质量流量计的全量程为10 SLPM,读数为5 SLPM。对于标准精度规范,16.7%的满量程值是一个转折点。当读数低于满量程的16.7%时,用满量程的0.1%来计算误差更大一些。当读数高于满量程的16.7%时,用读数值的0.6%来计算误差更大一些。由于5SLPM的流量高于满量程的16.7%,故精度计算基于流量的实际读数:

精度= ±0.6%的读数值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM

如果流量读书低于满量程的16.7%,如0.5SLPM,此时精度计算是基于满量程值:

精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

对于高精度规范,转折点是满量程的20%。采用前一个例子来计算,结果如下:

读数为5SLPM时,精度= ±0.5% 的读数值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM

读数为0.5SLPM时,精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

图二 新版本较老版本精度提升比例

实用术语:

满量程:设备最大的校准读数。对于双向流设备,请参阅相关规范表以了解完整的规格说明。

分辨率: 读取/控制变量的最小位数。

% Rd取决于实际读数值的精度指标,与满量程无关。用该数值乘以实际读数值就能得到在某一特定读数时的精度。

% F.S.取决于满量程值的精度指标,与实际读数值无关。用该数值乘以设备校准的满量程值就能得到特定设备的精度。注意:双向流设备可能具有不同的满量程值,详细信息请参阅各个规格表。

准备好用Alicat的设备来改善您的工艺了吗?

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