Alicat将工业自动化协议添加到真空流量控制仪表中

以太网/IP和DeviceNet选项将质量流仪表集成到涂层和溅射过程控制中

Alicat Scientific在其真空镀膜应用的质量流控制器生产线上扩展了通信协议,增加了以太网/IP和DeviceNet。Alicat的mce系列和mcv系列质量流量控制器确保了真空室中最佳的涂层环境,保持了产品在真空沉积中的完整性。
Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。

Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。
新的工业自动化协议使实时数据——包括质量流量、容积流量、绝对压力和温度,以及全温度和压力补偿——由PLC集中读取,用于管理MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器。用户可以通过设备网或启用以太网/IP的PLC或计算机来更改设定值或气体选择,并向Alicat仪器发出其他命令。
Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。快速反应时间可以大大提高真空镀膜成品的质量,有助于消除目标物中毒。集成的气动关闭阀通常是关闭的,提供1 x 10^9 atm-sccm/sec氦气max的正关闭。
除了新的以太网/IP和DeviceNet协议之外,Alicat还提供了Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。mce -系列和mcv -系列可能被用来取代传统的和中断的MKS仪器。这两个系列的控制器与一般的工业质量流量控制器具有相同的适用空间,易于集成到现有系统中。所有Alicat仪器都有NIST-traceable校准,全面的技术支持和终身保修。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

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