精确的质量流量控制器改善真空镀膜

Alicat  MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器确保真空室中最佳的涂层环境,保持涂层和溅射过程中产品的完整性。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可用于取代传统的工业质量流量控制器。这两个系列的质量流量控制器与一般的工业质量流量控制器具有相同的适用空间,易于集成到现有系统中。在使用中,它们提供快速、准确的过程控制,以实现过程的匀称性和质量。

MCV and MCE mass flow controllers for vacuum coating

Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm,高至0-20 slpm,控制响应时间为50 – 100毫秒。快速反应时间可以大大提高真空镀膜的质量,有助于消除目标物中毒。集成气动切断阀为常闭式,提供最大氦气流量为1 x 10-9 atm sccm/sec的正切断。

MCE系列真空气体质量流量控制器可以用来替代传统型号MKS 1179A Mass-Flo®,而MCV系列真空气体质量流量控制器可以替代已经停产的型号MKS 2179A Mass-Flo®。Alicat质量流量控制器运行在通用12-30 VDC电源上,Alicat将匹配9针或15针D-sub连接器上的任何现有引脚,便于更换。单元可以安装在任何方向,甚至颠倒,无需重新校准,进一步简化安装。

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器测量98种气体的质量流量、体积流量、绝对压力和温度,并进行全温度和压力补偿。单元可以直接通过仪表键盘进行编程,也可以通过RS-232 (RS-485也可以)进行远程编程。

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器采用了专利层流差压(DP)技术,该技术在许多Alicat流量设备中都有,并提供NIST可追溯认证,并带有CE标志。

艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器解决方案。

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