Conductor系列集成真空压力控制器

压力控制器&压力传感器
Conductor系列集成真空压力控制器

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Conductor系列真空压力控制器旨在快速控制抽真空过程的压力，支持内置真空传感器或外接真空计，具有较宽的真空压力测量/控制范围（0.01 Torr至1000Torr）。

Conductor系列控制器集成了多种电容膜片真空计（CDG）用于测量系统的绝对压力。通过调节被抽出真空系统的气流量与进入系统的气流量达到平衡，从而调节系统真空度。

上游控制的计算示例：

真空泵的抽速：每秒2升

维持腔体压力：10 TorrA

所需流量：实际压力÷标况压力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

使用Alicat艾里卡特真空控制器在单独气体供应装置的上游进行压力控制时，您无需扩大流量，只需使用较小的控制阀，即可提高控制性能并减少泄漏。

即使面对快速变化的过程工况（例如流量或温度的波动），Alicat 艾里卡特Conductor系列真空压力控制器也能迅速控制并保持压力稳定在设定值。Alicat应用工程师将协助您选择合适的阀门和传感器，以确保您的控制器能够快速稳定的运行。

- 快速响应。快速响应的阀门和特殊的PID控制算法构成了1毫秒的控制回路。控制精准。精度可溯源至NIST。
- 通讯连接。通过以下方式轻松与您的工业网络协议集成：
- Alicat艾里卡特独特的多点RS-232串口通讯
-RS-485串口
- Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)
- Modbus TCP/IP
- DeviceNet
- EtherCAT
- EtherNet/IP
- Profibus
- 背压控制。后置阀选项可以让你的Conductor控制器控制过程腔体和真空泵之间的流量。将控制器安装在过程腔体和真空泵之间，用于限制真空泵的抽气流量，从而控制腔体的压力上升或下降或维持稳定。如果你无法在系统上游安装压力控制器，但又想精确控制系统压力，就可以使用后置阀门的背压控制器。

概况

压力量程(有关库存范围，请参见“零件编号”标签)

– 绝压量程(以高真空为基准)

– 10、100和1000 TorrA单传感器模块

– 1000＆10 TorrA双传感器模块

性能

– 工作范围（量程比）≅1000：1

– 常规精度校准，可溯源NIST：+/- 0.5％满量程(零点漂移可通过真空去皮调整)

– 典型控制响应时间：≥50ms(可调)

– 传感器响应时间：2毫秒

– 显示响应时间：<10毫秒

– 传感器预热时间：完全的预热时间-2小时

– 适用于大部分用途的-15分钟

运行条件Operating Conditions

– 气体兼容性：与多种气体兼容，包括大部分具有腐蚀性的气体。

– 关于腐蚀性气体可参阅Alicat气体清单，查看接液材料的兼容性。此真空压力控制器不适用于液态水。

– 接液材料：302、303、304和430FR不锈钢，黄铜，FKM和FFKM，氧化铝，可选316L不锈钢主体。

– 工作温度：+10至+ 50°C

– 传感器损坏压力：6 kTorrG(116 PSIG)

包装清单In the Box

– 压力控制器(电源另售)

– NIST可追溯校准证书

– Alicat操作手册

定制型号

– 背压配置(带后置阀)
– 外接压力传感器配置(PC-EXTSEN)
– 独立压力感应端口(PC3)
– 双阀配置，用于密闭腔体(仅适用于小体积)
– 监测质量流量同时控制真空压力(MC3)

外部压力传感器配置(PC-EXTSEN)

如果我们内置的CDG真空传感器无法满足你的量程或性能的需求，并且想使用你自己的真空传感器，那么PC-EXTSEN压力控制器将是您的优选。使用此配置，您可以通过专用的工业传感器连接头（ISC）将外部高真空传感器连接到Conductor控制器。此配置尤为适用于真空镀膜应用。

阀门选件

控制阀

Alicat Conductor系列标准真空控制器集成了PCA系列阀门，这些高性能控制阀具有极低的泄漏率和良好的耐腐蚀性。这些阀门具有各种不同的孔径规格，可适用于从每分钟几微升到每分钟几十升的流量范围。

后置阀门控制器通常配备Alicat独家Rolamite阀门，这些高性能阀门流量可达每分钟5,000升。

请与Alicat 中国代表处联系以获得应用帮助和阀门选件报价。

腐蚀性气体

Conductor系列控制器适用于腐蚀性气体，有些腐蚀性气体在整个过程中都需要316L不锈钢，在这种情况下，我们可以将流体升级到316L，以达到20 slpm或更小的全量程流量范围。Alicat压力控制器上的标配阀均由316L不锈钢制成，并使用FFKM作为弹性体。

后置Rolamite阀门可兼容大多数（但不是全部）腐蚀性气体。

请与Alicat艾里卡特中国代表处联系，为您特殊应用提供专业方案。

Build Options组成部件

– 通讯协议：Communications protocols:

– Alicat的独家Multi-Drop RS-232序列

– RS-485串行

– Modbus RTU（通过RS-232或RS-485）

– Modbus TCP / IP

– 设备网

– 以太网猫

– 以太网/ IP

– Profibus

– 显示：

– 背光单色LCD带集成键盘

– 带集成键盘的彩色TFT显示屏

– 可以为远程面板安装设置两种配置

– 工艺连接件：

– Compression

– SAE

– 世伟洛克®(包括管，VCO®和VCR®)

– 电气接头：

– 6针锁紧型工业接头

– 标准8针mini-DIN接头

– 8针螺纹型M12接头

– 9针引脚

– 15针引脚

内置压力传感器

– PC-10TORRA-D-PCAxx
– PC-100TORRA-D-PCAxx
– PC-1000TORRA-D-PCAxx
– PC-1000.10TORRA-D-PCAxx

独立压力传感端口

– PC3-10TORRA-D-PCAxx
– PC3-100TORRA-D-PCAxx
– PC3-1000TORRA-D-PCAxx
– PC3-1000.10TORRA-D-PCAxx

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