应用案例 |Alicat助推 Inchfab纳米级制造系统

消除微粉化和纳米化

在过去60多年中，人们对计算能力的需求不断增长，导致电子产品的复杂性和产量都呈指数级增长。纳米级制造的高成本和高灵活性已成为开发创新产品的主要障碍。

Inchfab的超低成本、高性能制造工具的新颖平台通过将先进的处理能力与大尺寸的基板分离，从而消除了这一障碍。此外，Inchfab已经证明，使用较小的基板也可以提高性能，并优于现有的商用工具。

 Inchfab一直致力于完善和扩展其微细加工和纳米加工能力，并不断寻找可以帮助实现这一目标的新技术。Alicat半导体专用压力控制器和MFC系列质量流量控制器为Inchfab提供了一个性能、可靠性和价格之间无需折衷的解决方案，这使其成为Inchfab系统的首选。

Inchfab 化学气相沉积系统中使用Alicat控制器的流程图