Alicat质量流量计的压力控制回路特性

在化学反应器中,我们的质量流量控制器被用来控制压力,确保过程是可重复的。
Alicat质量流量控制器可以测量体积流量、质量流量、温度和压力,也可以在测量时控制压力。

其他的大多数质量流控制器缺乏灵活性,只允许控制质量流量。例如,采用压力衰减方法来执行泄漏检查,您将使用压力控制器来设置压力、停止流量并等待压力下降。然后,您可以基于确切的气体体积计算。如果你有一个连接质量流量计的压力控制器,一旦压力稳定下来,你就会立即看到泄漏率。这也为您节省了时间和物理空间。

什么是闭环压力?

闭环压力是基于压力而不是质量流量的反馈回路的术语。质量流量控制器通常会测量质量流量,控制阀门,将质量流量调节到所需的水平。当控制压力时,阀门将根据压力测量进行调整。例如,假设你控制着Alicat下游的压力想要达到100 psi。如果你现在的压力是80 psi,质量流量控制器会打开阀门,直到压力达到你的设定值。这在需要控制压力和确定流量的应用中非常有有效。

MCD与CLP和累加器

Alicat带有两个阀门、闭环压力和累加器质量流量控制器是一个双向控制器,有三个端口(进口、过程、出口)和两个阀门:一个带有进口流量和另一个带有独立的排气阀。它可以控制压力的闭合量,可以用阀门来调节流量,也可以在压力过大的情况下排到大气或真空泵中。累加器测量已经发生的流量。有四种不同的方法来确定总流量使用这些双向表:

  1. 增加正流量,减去负流量,让总流量变为负流量
  2. 加正流量,减负流量,不允许总流量变为负流量
  3. 增加正流量,忽略负流量
  4. 正流量相加,负流量相减,达到0时复位

你会知道在任何给定的时间、特定的体积里有多少气体,如果你想测量进入系统的气体流量,这是很重要的。

使用Alicat质量流量计与转子流量计

转子流量计测量体积流量,它们在特定的压力下进行调节,从而得出质量流量。虽然它们可以标记为标准升/分钟(slpm)或标准立方厘米/分钟(sccm),但该读数仅在调谐转子流量计的压力下有效。另一方面,Alicat质量流量计在任何时候都是有效的,因为它有一个压力传感器,可以在压力变化时调整读数。比较转子流量计和Alicat质量流量计就像比较苹果和橘子,因为它们测量的是不同的东西,除非转子流量计处在非常特定的校准压力下。然而,既然我们可以用Alicat质量流量装置来控制压力,为什么不控制到转子流量计调到的压力呢?
我们通常设置转子流量计下游的压力,所以这只是简单地把Alicat质量流量计放在下游,阀门在另一边,这样你就可以通过Alicat质量流量计和转子流量计来控制阀门的背压。然后你可以同时在Alicat质量流量计和转子流量计上直接测量流量。当然,你必须确保Alicat质量流量计选择转子流量计的气体和标准条件。它们在转子流量计上是不可调的,但在Alicat质量流量计上是可调的。您可以从数百种气体中选择,以及用户选择的标准温度和压力。

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