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气体流量计

用于测量气体流量

预加载气体列表

在较高压力下测量流速

MQ 系列

  • 量程：10 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
  • 工作压力：11.5 – 320 PSIA
  • 精度：±读数的 0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
  • 重复性：满量程的± 0.1%
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10 SCCM – 20 SLPM
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50 SLPM – 12,000 SLPM
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M 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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操作手册 8v 固件 （2020）

在耐腐蚀条件下用于气体测量

MS 系列

  • 可选130 种气体，包括腐蚀性气体
  • 量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM
  • 工作压力：11.5 – 160 PSIA
  • 精度：± 0.4% 的读数和 ± 0.2% 的满量程
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0.5 SCCM – 12,000 SLPM
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M 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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操作手册 8v 固件 （2020）

适用于大多数气体测量

层流 M 系列

  • 量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
  • 工作压力：11.5 – 160 PSIA
  • 精度：高达 ±读数的 0.5%
  • 重复性：±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）
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0.5 SCCM – 5 SCCM
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10 SCCM – 20 SLPM
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50 SLPM – 12,000 SLPM
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M 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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操作手册 8v 固件 （2020）

超紧凑，适合 OEM 应用

热式 Basis 系列

  • 9 种气体可选
  • 量程：100 SCCM – 100 SLPM
  • 工作压力： 0 – 145 PSIG
  • 可用作歧管充气阵列
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100 SCCM – 100 SLPM
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BASIS 手册
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操作手册 BASIS 2
📄
操作手册 BASIS

应用

航空航天和国防
用于空气动力学测试的压力控制
使用化学气相沉积法生产实验室培育钻石
利用化学气相沉积法生产实验室合成钻石
Alicat 仪表和控制器在气相色谱系统中的应用。
气相色谱的流量和压力控制
用于灵活生物制剂可扩展性的混合设备
用于灵活生物制剂可扩展性的混合设备

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支持

MQ 系列

MS 系列

层流 M 系列

热式 Basis 系列

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