PCX 系列压力控制器现已上市

总部位于亚利桑那州图森市的 Alicat® Scientific公司扩展了其 PCX系列压力控制器的选配方案,新增金属密封件选项,以减少接液材料接触并采用 SEMI标准外形尺寸。通过这一扩展,用户可将接液材料限定为 316L不锈钢,并搭配 PCTFE、FFKM或 EPDM等密封材质,这意味着该系列产品可与多种腐蚀性气体兼容。所有流量规格的设备均符合 SEMI设备标准的外形尺寸,便于半导体设备的改造、翻新和升级。

通信选项包括模拟 4-20mA信号及其他方式,或数字控制与报告功能。数字解决方案支持 MODBUS RTU、多种基于以太网的工业协议(如EtherNet/IP和EtherCAT),以及最新的低成本附加选项 IO-Link。PCX 系列压力控制器配备Alicat 多元 LCD 显示屏和手动控制界面。凭借强劲可靠的性能,这些仪器可控制气体压力范围从500 TorrA至100 PSIA,并具备 1e-10 atm cc/sec He的外部高泄漏完整性。高精度选项下,仪器的精度可达满量程的 0.125%,重复性可达满量程的 0.025%。PCX系列产品线享有 Alicat 提供的终身有限保修服务.

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产品类别:气体和液体质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

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