知识库

这些指南描述了我们的质量流量和压力解决方案,以帮助您选择最适合您用例的模型。

Alicat 设备的校准和精度规范

每个经过 Alicat 校准的设备都附有 NIST 可追溯的校准证书。这保证了设备的校准可以追溯到质量和压力等主要 SI 标准。因此,Alicat 设备将输出的质量流量与任何其他具有相同精度规格的类似 NIST 可追溯单元获得的测量值在相同的精度范围内。

在使用 NIST 可追溯传输标准校准设备时,过程的每个步骤都经过仔细控制,以确保读数可靠。可能导致校准错误的一些因素包括温度和压力变化、泄漏、设定点变化和控制不稳定。在对 Alicat 设备进行 NIST 可追溯校准期间,这些变量中的每一个都受到仔细监测和控制。这可确保您的设备经过校准,以输出精确、高精度的质量流量读数。

我的设备是如何校准的?

Alicat 校准评估设备满量程范围内五个点的读数:满量程的 0%、25%、50%、75% 和 100%。您还可以请求自定义校准,为此选择特定的校准点,并且可以使用 5 个以上的校准点。这些读数与我们内部流量或压力标准之一的读数进行比较。

校准报告告诉我什么?

每份报告都包含三个部分:被测设备、使用的设备和校准。

被测设备

此部分包含有关您的设备以及设备校准条件的信息。

  • 范围:装置的满量程范围。对于大多数设备,这将与部件号中的主体尺寸相匹配。配置了自定义范围(包括 RANGE 加法器代码)的设备将校准为自定义范围。
  • 工艺气体:从气体菜单中预先选择的气体。这可以使用前面板、任何通信协议或在重新校准期间进行更改。
  • 校准气体:用于校准设备的气体。Alicat 校准使用空气,除非特别要求使用不同的校准气体。
  • 温度:用于校准设备的气体温度。
  • 湿度:校准时 Alicat 设施的环境湿度。
  • 控制算法(P/D/I 值):对于控制器,默认调整设置。大多数设备只有 P 和 D 设置。
  • 校准程序/修订版 #:用于校准设备的标准程序和修订版。

被测设备

制造者:艾利卡特科学公司湿度:31%
客户:艾利卡特科学公司控制算法:P=75 D=7500 I=0
服务顺序:R39321软件版本:8v10.0-R23
序号:206797压力范围:160.00 磅/平方英寸
型号:MC-5SLPM-D压力精度:读数的 ±0.5%
加法器代码:厘米,10 英寸,气体:N2,范围 (4 NLPM),P1:80 PSIG,P2:0 PSIG温度精度:±0.75°C
范围:4.0000 美元/分钟标准温度和压力:25.00°C,14.69595 PSIA
工艺气体:N2(可选)正常温度和压力:0.00°C,14.69595 PSIA
校准气体:空气校准程序:DOC-AUTOCAL-GASFLOW/修订版 94
温度:25.98°C证书编号:325158

使用的设备

本节提供有关 Alicat 技术人员用于校准设备的工具的信息。

  • 类型: 执行的校准类型。
  • 工具名称: 用于校准的工具。
  • 制造商/型号: 校准工具的制造商和型号,通常包括 Alicat 设备。
  • 不确定性: 校准工具的不确定性。
  • 期限: 应对工具执行 NIST 可追溯校准的下一个日期。
类型工具名称制造商/型号不确定性期限
工具流70艾利卡特 – MCM-5SLPM-D±0.32% 读数或 ±0.02% 满量程,以较大者为准。2020-12-30
温度工具温度15ASL – F200-A-2+探头±0.02°C2020-11-13
电压工具-AIOC12艾利猫 – AIOC±2.5mV和4μA2021-09-11

校准

本节包含有关校准结果的信息,以及用于解释这些读数的工具。

首先,有关于校准条件和参数的信息。

  • 准确性: 测量的不确定度(见下文)。
  • 满量程范围: 正在校准的设备的满量程范围。
  • 校准压力: 执行校准的压力。
  • 阀门调节: 对于控制器,用于调整阀门的入口压力 (P1) 和出口压力 (P2)。

校准

准确性:读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准
满量程范围:4.0000 美元/分钟
计算压力:14.95 PSIA

阀门调节

P1:80 磅/平方英寸
P2:0 磅起重

接下来,还有有关您设备的现成和剩余数据的信息——校准前后的读数。这表明设备在到达校准时是否在规格范围内,如果不是,哪些点超出了公差。所有返回重新校准的设备都将具有原样数据。

  • 表明: Alicat 设备的读数,单位与满量程范围相同(此处为 NLPM)。
  • 实际: 执行校准的设备读数,单位与满量程范围相同(此处为 NLPM)。
  • 在公差中: 指示测量点是在公差范围内还是在公差之外。
  • 输出: 您设备的模拟输出。
输出 1 配置输出 2 配置输出 3 配置
8 针 mini-DIN – 引脚 #18 针 mini-DIN – 引脚 #28 针 mini-DIN – 引脚 #6

发现状态

表明实际在公差中
0.00000.0000是的
0.99410.9985是的
1.99111.9989是的
2.98982.9998是的
3.99273.9983是的

表明实际在公差中输出 1输出 2输出 3
0.00000.0000是的4.00毫安5.120伏直流电0.000伏直流电
0.99920.9997是的8.00毫安5.120伏直流电1.249伏直流电
1.99811.9990是的11.99毫安5.120伏直流电2.498伏直流电
2.99863.0000是的15.99毫安5.120伏直流电3.748伏直流电
4.00093.9990是的20.00毫安5.120伏直流电5.001伏直流电

最近的校准报告还包括错误和控制响应图表。

  • 误差图:参考公差值的原样和左边数据。
  • 控制响应图: 对于控制器,阀门响应相对于设定值的阶跃变化,使用阀门调整表中指定的 P1 和 P2。
Mass flow controller calibration error chart

精度规格告诉我什么?

在视频中,我们查看了 5 SLPM 器件的示例,其精度规格为读数的 ±0.8% 和满量程的 ±0.2%。0.8% 的读数随着流量的减少而降低:当仪表以满量程的 100% 流动时,读数的 0.8% 为 40 SCC M,而满量程的 0.2% 为 10 SCCM。满量程误差是这些值的总和,即 ±50 SCCM。

But 在满量程的 0.5% 时,读数的 0.8% 为 0.2 SCCM,而满量程的 0.2% 为 10 SCCM。同样,错误是这些值相加,或 ±10.2 SCCM。

有哪些校准选项可用?

  • 双向:用于流量、表压和差压装置。
  • 高精度校准:适用于大多数质量流量和压力设备。有关可用性,请参阅相应的规格表
  • FP-25: Alicat FP-25 设备接受 NIST 可追溯的质量流量、温度和气压校准。流量校准精度为读数的 1%。
  • 第三方 17025 校准服务: Alicat 与第三方校准机构合作进行 17025 校准。17025 校准后,您将收到标准的 Alicat NIST 可追溯校准文档和第三方提供的 17025 合格证书。17025 校准可获得 LAB 或 A2LA 认证。

如何重新校准我的设备?

建议对大多数 Alicat 设备进行年度重新校准。您可以在设备背面找到其最近校准的日期,或存储在菜单>关于>设备信息中。

要安排 Alicat 重新校准服务,请填写服务申请表。收到您的请求后,Alicat 将向您发出 RMA(退货授权)并向您发送运输说明。