遥感线压力控制

遥感线压力控制

压力控制与感觉端口

采用带外压口的Alicat PC3系列绝压和表压压力控制器(带远程传感)闭室的工艺压力。

由于进入气室的流量可能相当高,因此在工艺流程中可能会发生显著的流动诱导压降。

如果使用内部压力传感器,这将导致指示的和实际的室压明显不同。

采用单独的压力传感器线直接连接到工艺室,消除了这种误差来源。

Pressure Control with Sense Port

压力控制与感觉端口

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