遥感线压力控制

遥感线压力控制

压力控制与感觉端口

采用带外压口的Alicat PC3系列绝压和表压压力控制器（带远程传感）闭室的工艺压力。

由于进入气室的流量可能相当高，因此在工艺流程中可能会发生显著的流动诱导压降。

如果使用内部压力传感器，这将导致指示的和实际的室压明显不同。

采用单独的压力传感器线直接连接到工艺室，消除了这种误差来源。

压力控制与感觉端口

艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。

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