遥感线压力控制

遥感线压力控制

压力控制与感觉端口

采用带外压口的Alicat PC3系列绝压和表压压力控制器(带远程传感)闭室的工艺压力。

由于进入气室的流量可能相当高,因此在工艺流程中可能会发生显著的流动诱导压降。

如果使用内部压力传感器,这将导致指示的和实际的室压明显不同。

采用单独的压力传感器线直接连接到工艺室,消除了这种误差来源。

Pressure Control with Sense Port

压力控制与感觉端口

艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器解决方案。

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