混合气体再测试

混合气体再测试

一些生产过程通过混合气体重新计量获得了实质性的质量和产量改善。从历史上看,很少有技术能够支持混合气体重新计量,特别是在20SLPM以下的流量或低压下运行时。一种解决方案是使用Alicat的质量流量计结合Wilke半经验方法计算混合气体粘度。

混合气体重新计量不同于混合气体校准。在混合气体的校准中,使用实际的混合气体可以获得足够的精度(±1% f.s.)。在混合气体的重新计量中,实际的混合气体作为生产过程的一部分是不断变化的。

Gas Mix Composer

气体混合设计

图中展示了三个质量流量控制器(MFCs),它们将单个容器中的气体调节到一个简单的混合管中。接下来用质量流量计(MFM)重新测量气体混合物。使用气体选择屏幕,将每个质量流量控制器设置为适当的纯气体校准。质量流量控制器通过PC接收其波动的流量控制比。将MFM设置为N2作为校准基准点。压力控制器读取MFM的指示流量,并执行一些简单的比例校正,以确定混合物的实际气体流量。

为了进行比例校正,压力控制器使用MFC的设定值s来确定混合气体中每种气体的百分比。然后,利用威尔克方程计算理论气体混合物粘度。

最后,压力控制器通过对所示流量进行简单的粘度比修正来确定实际气体流量:

实际流量=氮气粘度指示流量/计算混合粘度

实验室测试表明,该技术的总体阅读精度为±3%。Alicat 公司的工程师们有电子表格,其中包含适当的威尔克计算和粘度查找表,以便将这种方法简化到现有的现场PC中。值得注意的是,威尔克的方法在125PSIG和50℃以下的气体中效果最好。对于重新计量系统,可以使用威尔克方程以外的方法。如果使用Alicat的质量流设备,关键是交替的数学模型解决粘度,而不是热系数。

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

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