使用压力控制的液体分配

使用压力控制的液体分配

在这种应用中,通过使用AlicatPCD系列双阀绝压和表压压力控制器控制液体腔上的压头压力来实现对流体输送的精确控制。

通常,氮气用作工艺气体,并通过PCD的下游阀门排放到大气中。施加在液体上的压力可以通过激活电磁阀或针形阀来实现精确分配。稳定性高达1 / 5000(。可以达到f)的02%。

使用Alicat的“RAM only”选项,用户可以随着液位的降低而不断增加腔内的水头压力。处理时间在400微秒范围内,可以应用非常精确的压力变化。这种工艺通常用于半导体工业的硅片抛光系统以及一些生物技术应用。

Fluid Dispensing Using Pressure Control

使用压力控制的液体分配

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