更快的泄漏检查
许多过程需要一种快速、准确和可靠的方法来检查组件的泄漏。这可以通过使用Alicat M系列气体质量流量计和Alicat PC3系列绝压和表压压力控制器（带远程传感）来实现。
Alicat M系列气体质量流量计的全量程可小至0.5 SCCM，真正的关断比为100:1，这意味着流量可低至5微升(0.005 SCCM)。
如图所示，压力控制在被测装置的入口(DUT)。
通过针形阀的持续排放，压力控制器可以精确地控制DUT上的压力，确保旁路阀关闭后通过仪表的任何流量都是由于泄漏或DUT体积的冷却造成的。
如果DUT的温度是恒定的，仪表上报告的流量将是DUT的泄漏率。减小流量计与DUT之间的死体积以及DUT本身的体积，可以减小温度变化的影响，使检漏过程更快。
注:此工艺可能不适用于允许泄漏接近于零的较大体积的泄漏试验，因为较大体积上的微小温差可能产生大于允许泄漏率的实际流量。同样的物理问题也会通过压力衰减影响泄漏检查。
压力控制器的泄漏检测设置
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
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