外部离子表真空控制系统
涉及分解有机成分的隔离室的研究项目通常使用转子流量计。外部离子表真空控制系统采用特殊配置的Alicat单阀压力控制器。Alicat的外置离子表真空控制器是专门为真空镀膜行业设计的。
这一创新绕过了我们的压力传感器的低端范围，并允许控制涂层室的极端真空条件。
该控制器基于一个线性0-10伏输出压力的离子表真空传感器提供的数据提供闪电快速控制。控制器转换信号并精确控制过程腔内的极端真空压力。
在这个应用中，0-10V信号与0-0.5 Torr相关。该控制器利用离子压力计的压力信号精确控制涂层室的极端真空条件。
压力控制器上游的质量流量计不受真空条件的影响，测量精确的进入腔内的质量流量、体积流量和总的气体质量。
设置点可以通过模拟信号或RS-232串行连接本地发送到控制器。
请联系销售工程师讨论您的外部离子测量系统的应用。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
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