产品参数

产品参数和图纸

气体质量流量计

• M/MB-Series:  标准/便携式质量流量计
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 5,000 SLPM
• MW-Series (Whisper™):  低压损质量流量计
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 100 SLPM
  • 250 SLPM to 1,000 SLPM
• MWB-Series (Whisper™):  低压损便携式质量流量计
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 100 SLPM
  • 250 SLPM to 1,000 SLPM 
• MS/MBS-Series:  耐腐蚀/耐腐蚀便携式质量流量计
  • 0.5 SCCM to 5,000 SLPM
• MQ/MBQ-Series:  耐高压/耐高压便携式式质量流量计
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 3,000 SLPM
• BIO-Series:  生物行业专用质量流量计
  • 1 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 500 SLPM 
• FP-25:  颗粒物监测大气校准仪
  • Up to 25 SLPM
• KM-Series:  高精度CODA科里奥利质量流量计
  • 40 g/h to 100,000 g/h
• KMO-Series:  标准CODA科里奥利质量流量计
  • 40 g/h to 100,000 g/h

质量流量控制器

• MC/MCP/MCR-Series:  质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 5,000 SLPM
• MCW-Series (Whisper™):  低压损质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 100 SLPM
  • 250 SLPM to 1,000 SLPM
• MCS/MCRS-Series:  耐腐蚀质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5,000 SLPM
• MCQ-Series:  耐高压质量流量控制器
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 3,000 SLPM
• MCE-Series:  半导体专用质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
• MCES-Series:  耐腐蚀半导体专用质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 20 SLPM
• MCV-Series:  真空质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
• MCVS-Series 耐腐蚀真空系列质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 20 SLPM
• BIO-Series:  生物行业专用质量流量控制器
  • 1 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 500 SLPM
• MCD/MCRD-Series:  双阀双向质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 5 SCCM
  • 10 SCCM to 20 SLPM
  • 50 SLPM to 3,000 SLPM
• MCDW-Series:  低压损双向质量流量控制器
  • 0.5 SCCM to 500 SLPM
• BC-Series (BASIS™):  OEM 质量流量控制器
  • 100 SCCM to 50 SLPM
• KC-Series:  高精度科里奥利质量流量控制器
  • 40 g/h to 100,000 g/h
• KCO-Series:  标准科里奥利质量流量控制器
  • 40 g/h to 100,000 g/h

液体流量计和控制器

• L/LS/LB/LBS-Series:  液体流量计
  • 0.5 CCM to 10 LPM
• LC/LCS  液体流量计
  • 0.5 CCM to 10 LPM
• CODA   科里奥利
  • 流量计
    • KM-系列高精度: 40 g/h to 100,000 g/h
    • KMO-系列标准 &高精度: 40 g/h to 100,000 g/h
  • 控制器
    • KC-系列高精度: 40 g/h to 100,000 g/h
    • KCO-系列标准 &高精度: 40 g/h to 100,000 g/h

压力控制器和传感器

• PC/PCS-Series: Pressure controllers for flowing processes
• PCD/PCDS-Series: Dual-valve controllers for closed volumes
• EPC/EPCD-Series: OEM electronic pressure controllers
• EP-Series: OEM electronic pressure transducers
• P/PS-Series: Pressure transducers
• IVC/IVCD-Series: Integrated vacuum controllers

附件和仪器选项图纸

• RD cut-out: Remote display template for panel
• RDE cut-out: Remote display enclosure for panel

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