Anwendungshinweis: Flüssigkeitsabgabe mit Druckregelung
In dieser Anwendung wird eine genaue Steuerung der Abgabe einer Flüssigkeit durch Steuerung des Kopfdrucks auf eine Flüssigkeitskammer unter Verwendung eines Alicat Zweiventildruckreglers erreicht.
Typischerweise wird Stickstoff als das Prozessgas verwendet und durch das stromabwärts gelegene Ventil der PCD in die Atmosphäre entlüftet. Der auf die Flüssigkeit ausgeübte Druck ermöglicht eine präzise Dosierung durch Aktivierung eines Solenoid- oder Nadelventils. Stabilität so hoch wie 1 Teil in 5000 (0,02% von FS) kann erreicht werden.
Mit Alicats "Nur RAM" -Option können Benutzer den Kopfdruck in der Kammer kontinuierlich erhöhen, wenn der Flüssigkeitsstand abnimmt. Mit Verarbeitungszeiten im Bereich von 400 Mikrosekunden können sehr genaue Druckänderungen angewendet werden. Dieser Prozess wird häufig in Silizium-Wafer-Poliersystemen für die Halbleiterindustrie sowie in einigen Biotech-Anwendungen eingesetzt.
Flüssigkeitsabgabe mit Druckregelung