流量测量与控制

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什么介质? 气体还是液体?

  • 液体 — L-系列液体流量计(量程范围从0-0.5 ccm 至 0-10 lpm)或LC-系列液体流量控制器(量程范围0-5 ccm 至 0-5 lpm)。
  • 气体 — 什么气体? 以下兼容气体列表(Gas Select™)所列纯气与混合气为艾里卡特质量流量计&质量流量控制器标准预置气体。若为腐蚀性气体,须采用耐腐蚀系列设备。
    • 气体选择(Gas Select™ 5.0)列表

      气体选择(Gas Select™)功能5.0兼容气体列表 — 适用于所有艾里卡特质量流量计&质量流量控制器

      所有艾里卡特设备已将完整的NIST Ref Prop 9 系列气体性能数据融入预置的130种兼容气体列表,供用户实时选择、校准。用户可在预置的气体列表范围内随时切换气体,并无需对设备进行再校准,所有预置气体的校准均具有设备应有的NIST可溯源校准精度。 (详见各项产品规格参数)

      纯气
      生物反应混合气
      腐蚀性纯气
      • 乙炔 (C2H2)
      • 空气
      • 氩气 (Ar)
      • 异丁烷 (i-C4H10)
      • 正丁烷 (n-C4H10)
      • 二氧化碳 (CO2)
      • 一氧化碳 (CO)
      • 氘气 (D2)
      • 乙烷 (C2H6)
      • 乙烯 (C2H4)
      • 氦气 (He)
      • 氢气 (H2)
      • 氪气 (Kr)
      • 甲烷 (CH4)
      • 氖气 (Ne)
      • 氮气 (N2)
      • 一氧化二氮 (N2O)
      • 氧气 (O2)
      • 丙烷 (C3H8)
      • 六氟化硫 (SF6)
      • 氙气 (Xe)
      • 5% CH4 95% CO2
      • 10% CH4 90% CO2
      • 15% CH4 85% CO2
      • 20% CH4 80% CO2
      • 25% CH4 75% CO2
      • 30% CH4 70% CO2
      • 35% CH4 65% CO2
      • 40% CH4 60% CO2
      • 45% CH4 55% CO2
      • 50% CH4 50% CO2
      • 55% CH4 45% CO2
      • 60% CH4 40% CO2
      • 65% CH4 35% CO2
      • 70% CH4 30% CO2
      • 75% CH4 25% CO2
      • 80% CH4 20% CO2
      • 85% CH4 15% CO2
      • 90% CH4 10% CO2
      • 95% CH4 5% CO2
      *须使用 MS/MCS系列设备
      • 氨气 (NH3)
      • 丁烯 (1-Butene)
      • 顺丁烯 (cis-2-Butene)
      • 异丁烯
      • 反丁烯
      • 硫化羰 (COS)
      • 氯气 (Cl2) *仅限用于流量计
      • 二甲基乙醚 (CH3OCH3)
      • 硫化氢 (H2S)
      • 三氟化氮 (NF3)
      • 氧化一氮 (NO)
      • 丙烯 (C3H6)
      • 硅烷 (SiH4)
      • 二氧化硫 (SO2) *仅限用于流量计
      呼吸气体 燃烧混合气 制冷剂
      • EAN-32 (32% O2+68% N2)
      • EAN-36 (36% O2+64% N2)
      • EAN-40 (40% O2+60% N2)
      • EA-40 (40% O2+60% Air)
      • EA-60 (60% O2+40% Air)
      • EA-80 (80% O2+20% Air)
      • Heliox-20 (20% O2+80% He)
      • Heliox-21 (21% O2+79% He)
      • Heliox-30 (30% O2+70% He)
      • Heliox-40 (40% O2+60% He)
      • Heliox-50 (50% O2+50% He)
      • Heliox-60 (60% O2+40% He)
      • Heliox-80 (80% O2+20% He)
      • Heliox-99 (99% O2+1% He)
      • Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar)
      煤气 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4
      吸热型气体 75% H2+25% N2
      HHO 66.67% H2+33.33% O2
      LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10
      LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10
      天然气 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2
      天然气 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2
      天然气 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2
      合成气体 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4
      合成气体 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4
      合成气体 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4
      合成气体 83% H2+14% CO+3% CH4
      *须使用MS/MCS系列设备
      • R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F)
      • R-14 Tetrafluoromethane (CF4)
      • R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2)
      • R-23 Trifluoromethane (CHF3)
      • R-32 Difluoromethane (CH2F2)
      • R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5)
      • R-116 Hexafluoroethane (C2F6)
      • R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4)
      • R-125 Pentafluoroethane (C2HF5)
      • R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3)
      • R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2)
      • R-143A Trifluoroethane (C2H3F3)
      • R-152A Difluoroethane (C2H4F2)
      • RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8)
      • R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A)
      • R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A)
      • R-410A (50% R-32+50% R-125)
      • R-507A (50% R-125+50% R-143A)
      色谱气体 氧浓缩器混合气
      • P-5 (5% CH4+95% Ar)
      • P-10 (10% CH4+90% Ar)
      • 89% O2+7% N2+4% Ar
      • 93% O2+3% N2+4% Ar
      • 95% O2+1% N2+4% Ar
      焊接气体 烟气 激光气体
      • C-2 (2% CO2+98% Ar)
      • C-8 (8% CO2+92% Ar)
      • C-10 (10% CO2+90% Ar)
      • C-15 (15% CO2+85% Ar)
      • C-20 (20% CO2+80% Ar)
      • C-25 (25% CO2+75% Ar)
      • C-50 (50% CO2+50% Ar)
      • C-75 (75% CO2+25% Ar)
      • He-25 (25% He+75% Ar)
      • He-50 (50% He+50% Ar)
      • He-75 (75% He+25% Ar)
      • He-90 (90% He+10% Ar)
      • A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2)
      • Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2)
      • 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar
      • 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar
      • 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar
      • 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar
      • 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar
      • 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar
      • 4.5% CO2+13.5% N2+82% He
      • 6% CO2+14% N2+80% He
      • 7% CO2+14% N2+79% He
      • 9% CO2+15% N2+76% He
      • 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He
      • 9% Ne+91% He

测量、控制还是校准气体流量?

  • 测量流量M-系列质量流量计(量程范围从0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm)或自带电池且可充电的MB-系列便携式质量流量计。如您的应用系统压损较低(小于1 psi),请参考Whisper低压损系列(MW),满量程压损最小仅为0.06 psi (4 mbar)。 (注:M系列最大工作压力为145 psig,而MW低压损系列仅为45 psig。)
  • 控制流量MC-系列质量流量控制器,量程范围从0-0.5 sccm至0-3000 slpm。如您的应用要求气体正向进入系统后再反向流出,MCD-系列双向质量流量控制器可轻松实现。如您的应用系统压损较低(小于1 psi),请选择Whisper低压损系列(MCW/MCDW),满量程压损最小仅为0.06 psi (4 mbar)。 (注:MC系列最大工作压力为145 psig,而MCW低压损系列仅为45 psig。)
  • 控制流量(真空)MCV-系列真空型质量流量控制器,量程范围从0-0.5 sccm至0-20 slpm,MCV系列含一集成式气动截止阀,有效杜绝设定值为零时气体进入真空腔体。
  • 校准流量 — 可充电的MB-便携式流量标定仪是最快、最简单实现项目现场流量校准的设备,量程范围从0-0.5 sccm至0-4000 slpm。若要校准的最小流量及最大流量之间超过200:1(比如:1-200 sccm),请选用PCU便携是流量标定仪,其集成了3台高精度流量标定仪,可校准最大、最小流量之间相差1000000:1的流量范围。
  • 校准体积流量或低压损(小于1 psi)的气体流量,请选用Whisper系列低压损流量标定仪MWB或PCUW),满量程压损仅为0.06 psi (4 mbar)。(注:低压损系列流量标定仪的最大工作压力仅为45 psig。)

压力测量与控制

绝压、表压还是差压?

  • 如您的应用压力相对大气压而言,请选用表压压力设备,即型号中带有”PSIG”,艾里卡特表压设备量程范围:0-2 inH2O(G) 至 0-500 psi(G),负压量程至 -15 psi(G)。
  • 如您的应用压力相对于真空而言,请选用绝压压力设备,即型号中带有”PSIA”,艾里卡特绝压设备量程范围:0-30 psi(A) 至 0-500 psi(G)。绝压设备不受大气压变化的影响,例如:暴风雨时气压计读数的波动十分大。
  • 如您需测量或控制两点间压力,请选用差压压力设备,即型号中带有”PSID”,该系列压力设备含两个独立的压力测量端,并各自指向一压差传感器。艾里卡特差压设备量程范围:0-2 inH2O(D) 至 0-150 psi(D)

测量还是控制压力?

  • 测量压力P-系列数字式压力计,若介质为腐蚀性气体或液体,请用316L不锈钢结构的PS系列。
  • 控制压力请继续往下

控制管路压力还是密闭系统内压力?

  • 管路压力 PC-系列单阀压力控制器,如被控压力点距离压力控制器有一定距离,请选PC3系列,其包含一远端压力测量端口,可测量压力控制器上游或下游任意点压力。(差压压力控制器本身已包含两个远程测量端。) 如需控制压力的同时进行流量测量,请选 MC-系列质量流量控制器,可控最大绝对压力为160 psi(A)。该系列所有设备均可设置为背压控制或真空控制。
  • 密闭系统内压力 PCD-系列双阀压力控制器,如被控密闭系统距离压力控制器有一定距离,请选PCD3系列,其包含一远程压力测量端口,可测量压力控制器上游或下游任意点压力。(差压压力控制器本身已包含两个远程测量端。) 如需控制压力的同时进行流量测量,请选MCD-系列双向质量流量控制器,可控绝对压力最大为160 psi(A)。该系列所有设备均可设置为背压控制。