管路过滤器用于防止大颗粒物进入测量与控制设备的本体,艾里卡特质量流量计、质量流量控制器最大允许颗粒物尺寸如下:

  • 设备满量程≤1 sccm: 最大允许颗粒尺寸为5微米
  • 设备满量程2 sccm ~ 1 slpm: 最大允许颗粒尺寸为20微米
  • 设备满量程≥1 slpm: 最大允许颗粒尺寸为50微米

#10-32 UNF 管路过滤器

备件号: 510053, 510054

#10-32 UNF 管路过滤器适用于满量程 ≤ 50 sccm(Whisper低压损系列 ≤ 20 sccm)的质量流量计&质量流量控制器,直接拧入质量流量计&质量流量控制的#10-32 UNF螺纹接口,不可拆卸,型号如下:

  • 510053: 5 微米, 用于满量程≤1 sccm的质量刘流量计&质量流量控制器
  • 510054: 20 微米, 用于满量程范围在2 sccm ~ 50 sccm间的质量流量计&质量流量控制器

*注: 如您要在#10-32 UNF转1/8″ NPT接头的设备上加装过滤器,请在设备本体与#10-32 UNF接头之间加装#10-32 UNF过滤器,而非1/8″ NPT过滤器。

10-32 UNF 管路过滤器

#10-32 UNF 管路过滤器

ILF 系列管路过滤器

备件号: ILF-1/8-20, ILF-1/4-40, ILF-1/2-40, ILF-3/4-40

ILF系列管路过滤器含可拆卸过滤元件,方便用户自行更换,尺寸从1/8″到3/4″,适用于满量程 ≥ 100 sccm(Whisper系列 ≥ 50 sccm)的质量流量计、质量流量控制器,直接拧入质量流量计、质量流量控制的NPT螺纹接口。

型号如下:

  • ILF-1/8-20: 1/8″ NPT, 20 微米, 适用于100 sccm ~ 20 slpm质量流量计、质量流量控制器
  • ILF-1/4-40: 1/4″ NPT, 40 微米, 适用于50 ~ 100 slpm质量流量计、质量流量控制器
  • ILF-1/2-40: 1/2″ NPT, 40 微米, 适用于250 slpm质量流量计、质量流量控制器
  • ILF-3/4-40: 3/4″ NPT, 40 微米, 适用于500 ~ 2000 slpm质量流量计、质量流量控制器
ILF-1/4-20 1/4 NPT 管路过滤器

ILF-1/4-20 1/4″ NPT 管路过滤器

ILF-1/8-20 1/8 NPT 管路过滤器

ILF-1/8-20 1/8″ NPT 管路过滤器

ILF-3/4-40 3/4 NPT 管路过滤器

ILF-3/4-40 3/4″ NPT 管路过滤器

ILF-1/2-40 1/2 NPT 管路过滤器

ILF-1/2-40 1/2″ NPT 管路过滤器

ILFE 系列管路过滤器元件

备件号: ILFE20, ILFE40, ILFE40L

ILF系列管路过滤器元件为ILF系列管路过滤器的可替换部件,由过滤芯及密封圈组成。

型号如下:

  • ILFE20: 20 微米, 适用于管路过滤器ILF-1/8-20
  • ILFE40: 40 微米, 适用于管路过滤器ILF-1/4-40
  • ILFE40L: 40 微米, 适用于管路过滤器ILF-1/2-40、ILF-3/4-40
ILFE40 管路过滤器元件

ILFE40 管路过滤器元件

ILFE20、ILFE40 管路过滤器元件

ILFE20 管路过滤器元件

ILFE40L 管路过滤器元件

ILFE40L 管路过滤器元件