更快的泄漏检查

更快的泄漏检查

许多过程需要一种快速、准确和可靠的方法来检查组件的泄漏。这可以通过使用Alicat M系列气体质量流量计和Alicat PC3系列绝压和表压压力控制器(带远程传感)来实现。

Alicat M系列气体质量流量计的全量程可小至0.5 SCCM,真正的关断比为100:1,这意味着流量可低至5微升(0.005 SCCM)。

如图所示,压力控制在被测装置的入口(DUT)。

通过针形阀的持续排放,压力控制器可以精确地控制DUT上的压力,确保旁路阀关闭后通过仪表的任何流量都是由于泄漏或DUT体积的冷却造成的。

如果DUT的温度是恒定的,仪表上报告的流量将是DUT的泄漏率。减小流量计与DUT之间的死体积以及DUT本身的体积,可以减小温度变化的影响,使检漏过程更快。

注:此工艺可能不适用于允许泄漏接近于零的较大体积的泄漏试验,因为较大体积上的微小温差可能产生大于允许泄漏率的实际流量。同样的物理问题也会通过压力衰减影响泄漏检查。

Leak Check Setup with Pressure Controller

压力控制器的泄漏检测设置

更多产品信息请查看质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器

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